物品收存設備的制造方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及物品收存設備，所述物品收存設備具備:物品收存擱架，以在上下方向及擱架橫寬方向上排列的狀態具備多個收存物品的收存部；物品輸送裝置，向上述收存部輸送物品；和控制裝置，控制上述物品輸送裝置的動作；上述多個收存部分別具備載置支承物品的支承體；上述控制裝置構成為，執行控制上述物品輸送裝置的動作以在物品支承部與上述收存部之間輸送物品的物品輸送控制。
【背景技術】
[0002]在特開2013 - 133193號公報(專利文獻I)中記載有上述那樣的物品收存設備的一例。在這樣的物品收存設備中，物品以載置支承在支承體上的狀態收存在收存部中，而如果支承體相對于水平方向傾斜，則載置支承在該支承體上的物品也相對于水平方向傾斜，所以收存在收存部中物品容易從支承體落下。此外，因支承體傾斜，支承體的位置上下偏移，所以當用物品輸送裝置將物品向收存部收存時或將物品從收存部取出時，物品有可能與支承體干涉。此外，物品是收容半導體基板的F0UP，構成為當載置支承在收存部的支承體上時通過物品的載荷將惰性氣體供給裝置的吐出部向物品連接，在此情況下，因物品相對于水平方向傾斜而物品的重心偏倚，有可能吐出部不再恰當地連接到物品。因此，在支承體中發生了傾斜的情況下，需要將該傾斜的支承體修正為適當的設置狀態。
[0003]鑒于此，以往在新設置了物品收存擱架的情況下等，作業者使用水平器計測支承體的傾斜，在該計測出的支承體的傾斜相比適當的設置狀態傾斜了容許角度以上的情況下，將該傾斜的支承體修正為適當的設置狀態。
[0004]但是，由于在物品收存擱架中以在上下方向及擱架橫寬方向上排列的狀態具備多個收存部，所以作業者在如上述那樣使用計測器計測支承體的傾斜的情況下，將梯凳升降來計測在上下方向上排列的多個收存部中的支承體的傾斜，并使該梯凳在擱架橫寬方向上移動而計測在擱架橫寬方向上排列的收存部中的支承體的傾斜。這樣，在計測多個收存部中具備的支承體的傾斜的情況下，作業者需要將梯凳升降及使該梯凳在擱架橫寬方向上移動，所以在計測多個收存部中的支承體的傾斜上花費時間。
[0005]鑒于此，希望實現計測物品收存擱架中具備的多個收存部中的支承體的傾斜的計測時間的縮短。此外，希望在這樣實現計測時間的縮短的情況下、抑制成本的增加并實現計測時間的縮短。
[0006]鑒于此，要求有能夠在實現計測時間的縮短的同時抑制伴隨著它的成本的增加的物品收存設備。
[0007]鑒于上述的物品收存設備的特征結構在于，具備物品收存擱架、物品輸送裝置和控制裝置；上述物品收存擱架以在上下方向及擱架橫寬方向上排列的狀態具備多個收存物品的收存部；上述物品輸送裝置向上述收存部輸送物品；上述控制裝置控制上述物品輸送裝置的動作；上述多個收存部分別具備支承體，上述支承體載置支承物品；上述控制裝置構成為，執行物品輸送控制，在上述物品輸送控制中，控制上述物品輸送裝置的動作，以在物品支承部與上述收存部之間輸送物品；具備計測用夾具，上述計測用夾具在載置支承在上述支承體上的狀態下計測該支承體相對于水平方向的傾斜；上述控制裝置構成為，執行傾斜計測控制，在上述傾斜計測控制中，將上述多個收存部的全部或一部分作為計測對象的收存部，控制上述物品輸送裝置的動作，以便以以下方式將上述計測用夾具向多個上述計測對象的收存部依次輸送，即，在將上述計測用夾具輸送以成為被上述計測對象的收存部中的上述支承體載置支承的狀態后，將該計測用夾具輸送以成為被在預先設定的設定順序中接著設定的上述計測對象的收存部中的上述支承體載置支承的狀態的方式。
[0008]根據該特征結構，通過控制裝置執行傾斜計測控制，將計測用夾具通過物品輸送裝置向多個計測對象的收存部依次輸送。并且，由于被輸送到計測對象的收存部的計測用夾具被輸送以成為被支承體載置支承的狀態，所以在依次被輸送的檢測對象的收存部的各自中，能夠用計測用夾具計測支承體相對于水平方向的傾斜。作業者能夠基于計測用夾具的計測結果，將傾斜的支承體修正為適當的設置狀態。
[0009]這樣，通過用物品輸送裝置將計測用夾具輸送而計測多個計測對象的收存部中的支承體的傾斜，與作業者一邊將梯凳升降或使該梯凳在擱架橫向上移動一邊計測的情況相比，能夠實現計測時間的縮短。
[0010]此外，通過在計測用夾具的輸送中利用為了輸送物品而設置的物品輸送裝置，不需要另外準備用來輸送計測用夾具的裝置，所以能夠抑制伴隨著實現計測時間的縮短的成本的增加。
【附圖說明】
[0011 ]圖1是物品收存設備的側視圖。
[0012]圖2是表示物品收存擱架的一部分的主視圖。
[0013]圖3是表示支承著容器的狀態的支承體的俯視圖。
[0014]圖4是表示支承著計測用夾具的狀態的支承體的俯視圖。
[0015]圖5是表示升降臺位于卸下用升降停止位置的狀態的側視圖。
[0016]圖6是表示升降臺位于抄取用升降停止位置的狀態的側視圖。
[0017]圖7是控制框圖。
[0018]圖8是全擱架計測控制的流程圖。
[0019]圖9是夾具收存擱架的主視圖。
【具體實施方式】
[0020]以下，基于【附圖說明】物品收存設備的實施方式。
[0021 ] 如圖1所示，在物品收存設備中，具備:物品收存擱架2，具備多個收存作為物品的容器W的收存部I ;作為物品輸送裝置的堆裝起重機3，輸送容器W ;壁體K，將設置物品收存擱架2及堆裝起重機3的設置空間覆蓋；出入庫輸送機4，以將壁體K貫通的狀態配設，將容器W載置輸送。
[0022]如圖1所示，物品收存擱架2以對置的狀態具備一對。如圖1及圖2所示，在一對物品收存擱架2的一方(圖1中的右側的物品收存擱架2)中，具備用來向收存在收存部I中的容器W供給作為惰性氣體的氮氣的氮氣供給裝置6，該一方的物品收存擱架2構成為凈化用的物品收存擱架2。此外，如圖1所示，在一對物品收存擱架2的另一方的物品收存擱架2 (圖1中的左側的物品收存擱架2)中不具備氮氣供給裝置6，該另一方的物品收存擱架2構成為非凈化用的物品收存擱架2。
[0023]如圖1及圖2所示，在一對物品收存擱架2的各自中，以在上下方向及擱架橫寬方向上排列的狀態具備多個收存部I。并且，如圖3所示，在多個收存部I的各自中，具備將收存的容器W載置支承的支承體7。另外，所謂多個收存部1，是在一對物品收存擱架2中具備的全部的收存部I。
[0024]如圖3所示，支承體7具備板狀的板部件8和3個定位突起9。另外，定位突起9相當于以預先設定的適當姿勢將容器W載置支承的多個支承用部件。
[0025]板部件8形成為從矩形狀切掉了一部分的形狀，以俯視觀察形成為有棱角的U字狀。此外，板部件8其擱架前后方向的后端部連結在構成物品收存擱架2的部件上而設置。定位突起9以從板部件8的上表面向上方突出的狀態裝備在板部件8的缺口的周緣部的3處。
[0026]如圖3所示，在容器W的底面上，具備向上方凹入的3個凹部10、用來由氮氣供給裝置6向容器W內注入氮氣的供氣口(未圖示)、和用來將容器W內的氣體排出的排氣口(未圖示)。
[0027]并且，在容器W收存在收存部I中的狀態下，為定位突起9從下方卡合在該容器W的凹部10中的狀態，容器W被卡合在凹部10中的3個定位突起9限制向水平方向的位置偏移，并且被卡合在凹部10中的3個定位突起9載置支承。
[0028]此外，在容器W收存在凈化用的物品收存擱架2的收存部I中的狀態下，容器W被3個定位突起9載置支承，并且氮氣供給裝置6的吐出氮氣的吐出部被連接到供氣口。
[0029]另外，在本實施方式中，將收容半導體基板的F0UP(Front Opening Unified Pod ；正面開口標準箱)作為容器W。此外，3個定位突起9的上端的高度是相同高度的狀態為支承體7的適當的設置狀態。
[0030]如圖1所示，出入庫輸送機4構成為，在位于壁體K的外側的外部移載部位4a與位于壁體K的內側的內部移載部位4b之間將容器W載置輸送。對于設置在較高的位置處的出入庫輸送機4的外部移載部位4a，頂棚輸送車B進行容器W的載卸，對于設置在較低的位置處的出入庫輸送機4的外部移載部位4a，作業者進行容器W的載卸。
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