經過了 5秒以上之后，優選為80°C以上，更優選為 100°C以上。此外，作為上限，優選為300°C以下，更優選為250°C以下。
[0096] 為了穩定地得到非晶態狀態的合金薄帶，冷卻輥30的對合金熔液的冷卻速度優 選為1 X 105°C /s以上，更優選為1 X 106°C /s以上。
[0097] 從噴出合金恪液到卷取（回收）Fe基非晶態合金薄帶的操作能夠連續地進行。由 此，例如能夠得到長度方向上的長度是3000m以上的縱長狀的Fe基非晶態合金薄帶。
[0098] 在冷卻輥30的表面附近（冷卻輥30的旋轉方向上的熔液噴嘴10的下游側）配 置有剝離氣體噴嘴50。由此，通過向與冷卻輥30的旋轉方向（箭頭P)相反的方向（圖6 中的虛線箭頭的方向）吹送剝離氣體（例如氮氣、壓縮空氣等高壓氣體），能夠更高效地自 冷卻輥30剝離Fe基非晶態合金薄帶22C。
[0099] 優選的是，在300°C~400°C的溫度范圍內對Fe基非晶態合金薄帶實施熱處理。優 選的是，在磁芯圓周方向上施加200A/m以上的磁場、更優選為400A/m以上的磁場來進行熱 處理。
[0100] -卷繞工序一
[0101] 本發明的卷繞工序通過卷繞已在凹部形成工序中形成有凹部的Fe基非晶態合金 薄帶來制作磁芯。
[0102] 在本工序中，通過在賦予預定的拉伸應力的同時卷繞在預定的芯材上來制作磁 芯。此時，卷繞時的拉伸應力通常能夠設為2N~20N的范圍，在更有效地起到本發明的效 果這一點上，優選的是在一定程度的應力下進行，具體地講，優選將卷繞時的拉伸應力設為 4N~12N的范圍。
[0103] 優選的是，在卷繞Fe基非晶態合金薄帶而做成卷繞磁芯之后，在300°C~400°C的 溫度范圍內進行熱處理。此外，優選的是，在熱處理時在磁芯圓周方向上施加200A/m以上 的磁場、更優選施加400A/m以上的磁場。
[0104] <卷繞磁芯>
[0105] 本發明的卷繞磁芯是通過卷繞對Fe基非晶態合金薄帶的寬度方向上的中央部實 施激光加工后的合金薄帶而制作的，其構成為，在Fe基非晶態合金薄帶的寬度方向上的中 央部設置由利用激光照射形成的多個凹部構成的凹部列，該中央部的該寬度方向上的長度 與該Fe基非晶態合金薄帶的該寬度方向上的整個幅寬之比是0. 2以上且0. 8以下。
[0106] 本發明的卷繞磁芯只要具有這樣的結構，就可以利用任一種方法制造出，優選的 是，利用上述本發明的卷繞磁芯的制造方法來制造。
[0107] 本發明的卷繞磁芯的形狀不僅是圓形，也可以是圖7所示的矩形。此外，本發明的 卷繞磁芯也可以由多片Fe基非晶態合金薄帶來制作。并且，本發明的卷繞磁芯也可以具有 搭接的接合部、對接的接合部。
[0108] 實施例
[0109] 以下，利用實施例更具體地說明本發明，但本發明只要不超出其主旨，就并不限定 于以下的實施例。
[0110] 一 Fe基非晶態合金薄帶的制作一
[0111] 通過在大氣中實施的單輯法，利用以下所示的方法制作寬度25mm、厚度24 ym的 縱長狀的Fesl.7Si2B16C a3^金薄帶（Fe基非晶態合金薄帶）。組成比的單位是"原子％ "。
[0112] 就各元素的測量而言，利用ICP發光分光分析法對Si和B進行測量，利用氧氣流 中燃燒-紅外線吸收法對C進行測量。此外，自100減去Si、B以及C的總量而求出Fe量。
[0113] 具體地講，準備了與圖6所示的制造裝置100同樣構成的Fe基非晶態合金薄帶制 造裝置。在此，使用了以下的冷卻輥。
[0114] 首先，在坩堝內調制了由Fe、Si、B、C以及不可避免的雜質構成的合金熔液（以下 也稱作Fe - Si - B - C系合金熔液。）。詳細地講，通過將由Fe、Si、B以及不可避免的雜 質構成的母合金熔化，向得到的熔液中添加碳并使其混合、熔化，來調制了用于制造上述組 成的Fe基非晶態合金薄帶的合金熔液。其次，將該Fe - Si - B - C系合金熔液從具有長 邊的長度25mmX短邊的長度0.6mm的矩形（狹縫形狀）的開口部的熔液噴嘴的開口部噴 出到旋轉的冷卻輥表面，使其驟冷凝固而制作了寬度25mm、厚度24 ym的Fe基非晶態合金 薄帶30kg。
[0115] 〈Fe基非晶態合金薄帶的制作條件〉
[0116] ?冷卻車昆：?材質：Cu - Be合金
[0117] ?直徑：400mm
[0118] ?冷卻輥表面的算術平均粗糙度Ra :0. 3 y m
[0119] ?合金熔液的噴出壓力：20kPa
[0120] ?冷卻輥的周速：25m/s
[0121] ?合金熔液溫度：1300 °C
[0122] ?熔液噴嘴頂端和冷卻輥表面之間的距離：200 y m
[0123] (實施例1)
[0124] 如圖1 一 A所示，以不向在薄帶寬度方向上距兩端預定距離的區域照射的方式自 光纖激光器并借助檢電掃描器（反射鏡）對上述得到的Fe s,7Si2B16Ca3合金薄帶的自由凝固 面進行波長：l〇65nm、脈沖寬度：550ns以及光束直徑：60 ym的脈沖激光的掃描，在薄帶寬 度方向上的中央部形成了凹部列。將此時的照射能量設為〇. 3mJ/Pulse或1. 26mJ/Pulse。 在此，就凹部例的形成而言，通過使照射能量變化兩種，制作了如圖1 一 A所示那樣在除了 距寬度方向兩端5mm的區域之外的中央部（長度與整個幅寬1之比：0. 6)形成有多個凹部 的試樣和作為比較用材料如圖1 一 B所示那樣在寬度方向整個范圍內形成有凹部的試樣合 計4種（薄帶試樣2~薄帶試樣4)。并且，作為比較用材料，準備了不進行激光處理的薄帶 試樣1。
[0125] 在像上述那樣形成凹部時，寬度方向上的凹部列的凹部之間的間隔（數密度）設 為6個/mm，薄帶長度方向上的凹部列之間的間隔DL設為5mm。此外，將在以凹部的深度 [ym]和1.26mJ/Pulse在薄帶寬度方向整個范圍內進行激光處理的情況下所需要的時間 設為100時在各條件下激光處理所需要的時間如下述表1所示。
[0126] 另外，圖5 - A中表示將照射能量設為0. 3mJ/Pulse時的凹部和其周圍的形狀，圖 5 - B中表示將照射能量設為1. 26mJ/Pulse時的凹部和其周圍的形狀。
[0127] [表 1]
[0128]
[0129] - Fe基非晶態合金薄帶的熱處理一
[0130] 針對像上述那樣準備的5種薄帶試樣1~薄帶試樣5,分別切斷為長度120mm，一 邊沿薄帶的長度方向施加2400mA/m的直流磁場一邊在340°C下進行了兩個小時的熱處理。
[0131] -薄帶的鐵損一
[0132] 針對熱處理后的各薄帶試樣（Fesl.7Si2B 16Ca3^金薄帶），測量了頻率：50Hz、磁通 密度B :1. 35(T)~1. 50(T)時的鐵損（W/kg)。在下述表2中表示測量結果。
[0133] [表 2]
[0134]
[0135] 如所述表2所示，進行了激光處理的薄帶試樣2~薄帶試樣5與未進行激光處理 的薄帶試樣1相比在各磁通密度中都顯示了低鐵損。
[0136] 在對向寬度方向整個范圍照射了激光的薄帶試樣2(0. 3mJ/Pulse)和薄帶試樣 4(1. 26mJ/PulSe)進行對比時，在各磁通密度中照射能量更大的薄帶試樣4都顯示了低鐵 損。此外，在對向除了距寬度方向兩端部5mm之外的中央部（長度與整個幅寬之比：0. 6)照 射了激光的薄帶試樣3(0. 3mJ/Pulse)和薄帶試樣5(1. 26mJ/Pulse)進行對比時，與上述同 樣，照射能量更大的薄帶試樣5顯示了低鐵損。
[0137] 另外，在按照各照射能量對比了鐵損的結果可知，在對向寬度方向整個范圍照射 了激光的薄帶試樣2、4和對除了距寬度方向兩端部5mm之外的中央部照射了激光的薄帶試 樣3、5進行對比時，如圖3所示，在薄帶試樣2和薄帶試樣3中，向中央部照射了激光的薄 帶試樣3大致顯示低鐵損，在薄帶試樣4和薄帶試樣5中，反而薄帶試樣5的鐵損較大。這 樣，在薄帶試樣的狀態下，無法確認僅向中央部照射了激光的情況相對于向寬度方向整個 范圍照射了激光的情況的優越性。
[0138] -卷繞磁芯的制作和其熱處理一
[0139] 接著，通過將所述表1所示的5種薄帶試樣1~薄帶試樣5分別卷繞在預定尺寸 的芯材上，來制作出內徑40mm、外徑45. 8mm的卷繞磁芯。對于各卷繞磁芯，一邊沿磁路長度 方向、即卷繞磁芯的圓周方向施加15