。又,引導(dǎo)面GP通過引導(dǎo)軸axg。
[0150]本實(shí)施形態(tài)中,如圖6所示,引導(dǎo)面GP在與支承被測定物S的桌臺(tái)3的支承面3P正交的方向,通過檢測區(qū)域DR內(nèi)。桌臺(tái)3的支承面3P,當(dāng)檢測裝置I設(shè)置時(shí),是對(duì)鉛直方向、亦即重力作用的方向正交。因此,當(dāng)引導(dǎo)面GP與檢測區(qū)域DR的關(guān)系是如前述時(shí),桌臺(tái)3及桌臺(tái)支承體7等的荷重方向與引導(dǎo)面GP即正交。如此一來,第I引導(dǎo)裝置5A及第2引導(dǎo)裝置5B,由于軌道5AR、5BR與移動(dòng)體5AM、5BM能以較大面積的重疊部分承受前述荷重,因此較佳。
[0151]圖16及圖17是顯示檢測區(qū)域的圖。圖16顯示檢測器4的射入面4DP為長方形(含正方形)時(shí)的檢測區(qū)域DR。圖17則顯示檢測器4a的射入面4DPa為圓形時(shí)的檢測區(qū)域DRa。檢測器4的射入面4DP為長方形時(shí),檢測區(qū)域DR是藉由將圖1等所示的X線源2的發(fā)光區(qū)域(焦點(diǎn))XS及檢測器4接收X線的射入面4DP的外緣4E加以連結(jié)所形成的面P1、P2、P3、P4與射入面4DP圍成的區(qū)域。此場合,檢測區(qū)域DR是以射入面4DP為底面、以發(fā)光區(qū)域XS為頂點(diǎn)的四角錐。
[0152]如圖17所示,當(dāng)檢測器4a的射入面4DPa為圓形時(shí),檢測區(qū)域DRa是將圖1等所示的X線源2的發(fā)光區(qū)域XS及檢測器4a接收X線的射入面4DPa的外緣4Ea加以連結(jié)所形成的面Pa與射入面4DPa圍成的區(qū)域。此場合,檢測區(qū)域DRa是以射入面4DPa為底面、發(fā)光區(qū)域XS為頂點(diǎn)的圓錐。射入面4DP可以是長方形以外的多角形、例如三角形或六角形等的多角形,射入面4DPa可以是圓形以外的楕圓形等。
[0153]圖18是顯示檢測區(qū)域與引導(dǎo)面的關(guān)系的圖。本實(shí)施形態(tài)中,如圖6所示,第I引導(dǎo)裝置5A與第2引導(dǎo)裝置5B是夾著光軸Zr配置,將略U字形狀的桌臺(tái)支承體7支承于支承體6。此場合,引導(dǎo)面GP是通過第I引導(dǎo)裝置5A的第I引導(dǎo)面GPl的至少一部分與第2引導(dǎo)裝置5B的第2引導(dǎo)面GP2的至少一部分的平面。圖6所示的檢測裝置I中,第I引導(dǎo)面GPl與第2引導(dǎo)面GP2是在桌臺(tái)旋轉(zhuǎn)軸Yr方向或Y軸方向,于同一位置。此場合,引導(dǎo)面GP是與第I引導(dǎo)裝置5A的第I引導(dǎo)面GPl及第2引導(dǎo)裝置5B的第2引導(dǎo)面GP2平行、且包含此等的平面。亦即,引導(dǎo)面GP是通過第I引導(dǎo)面GPl及第2引導(dǎo)面GP2的全部的平面。第I引導(dǎo)面GPl及第2引導(dǎo)面GP2,如使用圖13及圖14所說明。
[0154]圖6所示的檢測裝置I,引導(dǎo)面GP(或包含引導(dǎo)面GP、且與引導(dǎo)面GP平行的平面)通過檢測器4的穿透X線的檢測區(qū)域DR內(nèi)、并包含光軸Zr且與光軸Zr平行。引導(dǎo)面GP只要通過檢測區(qū)域DR內(nèi)即可。只要滿足此條件,則無需如圖18所示的引導(dǎo)面GPa般包含光軸Zr、亦無需如引導(dǎo)面GPb般與光軸Zr平行。
[0155]圖19是顯示比較例中的檢測區(qū)域與引導(dǎo)面的關(guān)系的圖。圖20是顯示本實(shí)施形態(tài)中的檢測區(qū)域與引導(dǎo)面的關(guān)系的圖。圖19及圖20中的符號(hào)DPH、DPL代表檢測器4的射入面4DP的檢測中心。此例中,檢測中心DPH、DPL存在于光軸Zr上。設(shè)從引導(dǎo)面GP至檢測中心DPH的距離(最短距離)為LH、從引導(dǎo)面GP至檢測中心DPL的距離(最短距離)為LL。
[0156]比較例,是引導(dǎo)面GP配置在檢測區(qū)域DR外,兩者不交會(huì)。本實(shí)施形態(tài)中,引導(dǎo)面GP通過檢測區(qū)域DR內(nèi)。本實(shí)施形態(tài)中,進(jìn)一步的,引導(dǎo)面GP配置成包含光軸Zr、且與光軸Zr平行。圖19及圖20中放大顯示了引導(dǎo)面GP。引導(dǎo)面GP,是以第I引導(dǎo)裝置5A及第2引導(dǎo)裝置5B所具備的軌道5AR、5BR的移動(dòng)體5AM、5BM側(cè)的表面加以規(guī)定。軌道5AR、5BR的表面,有可能因加工誤差等而未成為設(shè)計(jì)的尺寸及形狀。因此,以軌道5AR、5BR的表面規(guī)定的引導(dǎo)面GP,巨觀下雖為平面,但微觀下則非平面。從而,引導(dǎo)面GP,如圖19及圖20所示,微觀下于Z軸方向其Y軸方向的位置相異。
[0157]引導(dǎo)面GP,是規(guī)定移動(dòng)體5AM、5BM、安裝于此等的桌臺(tái)支承體7及桌臺(tái)支承體7支承的桌臺(tái)3的移動(dòng)的平面。當(dāng)引導(dǎo)面GP的Y軸方向位置于Z軸方向相異時(shí),被引導(dǎo)面GP規(guī)定其移動(dòng)的桌臺(tái)3,如圖6所示的支承面3P即相對(duì)X軸傾斜、亦即相對(duì)XZ平面傾斜。其結(jié)果,被桌臺(tái)3的支承面3P支承的被測定物S,亦相對(duì)X軸傾斜。檢測中心DPH、DPL通過被桌臺(tái)3的支承面3P支承的被測定物S。因此,當(dāng)被測定物S相對(duì)X軸傾斜時(shí),被測定物S的位置偏移原來位置的結(jié)果,圖6所示的檢測裝置I的檢測精度即降低。
[0158]依據(jù)阿貝原理,桌臺(tái)3的支承面3P的傾斜導(dǎo)致的被測定物S的位置偏移,是隨著引導(dǎo)面GP與檢測中心DPH、DPL的距離LH、LL越大而越大。從引導(dǎo)面GP至檢測中心DPH、DPL的距離LH、LL,于本實(shí)施形態(tài)較比較例小。因此,本實(shí)施形態(tài),可以使因引導(dǎo)面GP的Y軸方向位置于Z軸方向相異而引起的被測定物S的位置偏移,較比較例小。其結(jié)果,本實(shí)施形態(tài),可抑制檢測裝置I的檢測精度的降低。
[0159]本實(shí)施形態(tài)中,引導(dǎo)面GP通過檢測區(qū)域DR。此場合,引導(dǎo)面GP可以是通過線性編碼器24A、24B的編碼器讀頭24AE、24BE讀取線性標(biāo)尺24AS、24BS的位置(以下,適當(dāng)?shù)姆Q編碼器讀取位置)。如此一來,可降低編碼器讀取位置與引導(dǎo)面GP分離而導(dǎo)致的編碼器讀頭24AE、24BE讀取線性標(biāo)尺24AS、24BS時(shí)的誤差。因此,檢測裝置1,可抑制控制裝置9根據(jù)編碼器讀頭24AE、24BE的測量結(jié)果控制桌臺(tái)支承體7的移動(dòng)時(shí)精度降低。其結(jié)果,檢測裝置I可抑制檢測精度的降低。
[0160]圖21是顯示本實(shí)施形態(tài)中的檢測區(qū)域與引導(dǎo)面的關(guān)系的圖。圖21所示的例中,于光軸Zr方向的X線源2的發(fā)光區(qū)域XS與檢測器4的射入面4DP間的距離為Lz。本實(shí)施形態(tài)中,引導(dǎo)面GP只要是通過檢測區(qū)域DR內(nèi)即可。圖20所示例中,引導(dǎo)面GP雖是配置成包含光軸Zr、且與光軸Zr平行,但只要引導(dǎo)面GP通過檢測區(qū)域DR內(nèi)的話,并不一定要以此方式配置引導(dǎo)面GP。圖21所示的引導(dǎo)面GPl、GP2雖與光軸Zr平行,但不包含光軸Zr。引導(dǎo)面GPl、GP2,由于是通過檢測區(qū)域DR內(nèi),因此此種配置亦是可能的。
[0161]檢測器4無法檢測檢測區(qū)域DR外的物體。因此,若是引導(dǎo)面GPl的情形時(shí),在檢測被測定物S位于與X線源2的發(fā)光區(qū)域XS的距離在Lzl的范圍內(nèi)的場合,檢測中心會(huì)位在離開引導(dǎo)面GPl的位置。例如,引導(dǎo)面GPl的情形時(shí),檢測器4檢測距發(fā)光區(qū)域XS的距離位在Lzl的位置DPl的被測定物S時(shí),被測定物S是在檢測區(qū)域DR內(nèi)。是以,由于可使引導(dǎo)面GPl至測定中心的距離為O,故可抑制因引導(dǎo)面GPl的Y軸方向位置于Z軸方向變化而引起的被測定物S的位置偏移。
[0162]檢測器4檢測距發(fā)光區(qū)域XS的距離位在Lz2的位置DP2的被測定物S時(shí),當(dāng)是引導(dǎo)面GPl的情形時(shí),被測定物S必須是在檢測區(qū)域DR內(nèi)。因此,由于引導(dǎo)面GPl至測定中心至少必須有A Yl的距離,因此引導(dǎo)面GPl的Y軸方向位置于Z軸方向變化而引起的被測定物S的位置偏移有可能變大。亦即,引導(dǎo)面GPl的情形時(shí),距檢測器4的射入面4DP的距離在Lz — Lzl的區(qū)域中,能有效抑制被測定物S的位置偏移。
[0163]弓丨導(dǎo)面GP2,至光軸Zr的距離較引導(dǎo)面GPl近。引導(dǎo)面GP2的情形時(shí),檢測器4于檢測距發(fā)光區(qū)域XS的距離位在Lz2(<Lzl)的位置DP2的被測定物S時(shí),被測定物S是在檢測區(qū)域DR內(nèi)。是以,由于可使引導(dǎo)面GP2至測定中心的距離為0,因此,能使因引導(dǎo)面GP2的Y軸方向位置于Z軸方向變化而引起的被測定物S的位置偏移,較引導(dǎo)面GPl的情形時(shí)小。
[0164]引導(dǎo)面GP2的情形時(shí),檢測器4于檢測距發(fā)光區(qū)域XS的距離較Lz2接近XS的Lz3的位置DP3的被測定物S時(shí),被測定物S是在檢測區(qū)域DR外。因此,引導(dǎo)面GP2至測定中心至少不須有A Y2的距離。其結(jié)果,有可能無法充分抑制因引導(dǎo)面GP2的Y軸方向位置于Z軸方向變化而引起的被測定物S的位置偏移。亦即,引導(dǎo)面GP2的情形時(shí),在距檢測器4的射入面4DP的距離位于Lz — Lz2的區(qū)域中,能有效抑制被測定物S的位置偏移。
[0165]藉由將引導(dǎo)面GP作成包含光軸Zr、且與光軸Zr平行,在檢測器4檢測距發(fā)光區(qū)域XS的距離位于Lz3的位置DP3的被測定物S時(shí),可使引導(dǎo)面GP至測定中心的距離為O。其結(jié)果,可使因引導(dǎo)面GP的Y軸方向位置于Z軸方向變化而引起的被測定物S的位置偏移,較引導(dǎo)面GP2的情形時(shí)小。亦即,將引導(dǎo)面GP作成包含光軸Zr、且與光軸Zr平行時(shí),在距檢測器4的射入面4DP的距離到Lz為止的區(qū)域、亦即、理論上在全檢測區(qū)域DR內(nèi),可有效抑制被測定物S的位置偏移。
[0166]如以上所述,藉由使引導(dǎo)面GP接近光軸Zr,在距離檢測器4的射入面4DP的距離到較遠(yuǎn)的區(qū)域?yàn)橹?,皆能有效抑制被測定物S的位置偏移。距檢測器4的射入面4DP的距離越大,依據(jù)檢測器4所檢測的穿透X線的被測定物S的像越被放大。亦即,檢測裝置I可以高倍率檢測(測定)被測定物S的像。因此,使引導(dǎo)面GP接近光軸Zr,檢測裝置I即能從低倍率至高倍率檢測(測定)被測定物S的像,因此較佳。亦即,引導(dǎo)面GP與光軸Zr位在大致同一位置或?qū)嵸|(zhì)同一位置較佳,而與光軸ZH立在同一位置更佳。又,亦可將引導(dǎo)面GP配置在由發(fā)光區(qū)域XS、與具有較射入面4DP的面積大約10%程度的區(qū)域所形成的區(qū)域內(nèi)。檢測區(qū)域DR中,光軸Zr近旁的區(qū)域,可以是指以光軸Zr為中心的XY平面內(nèi)、具有射入面4DP的例如5 %、1 %、15%程度的面積的區(qū)域。又,亦可使光軸Zr近旁的區(qū)域,于X線源2的近旁為以光軸Zr為中心的XY平面內(nèi)的區(qū)域、且是具有射入面4DP的5%程度的面積的區(qū)域,而于射入面4DP的近旁則為以光軸Zr為中心的XY平面內(nèi)的區(qū)域、且具有射入面4DP的15%程度的面積的區(qū)域。亦即,可改變沿Z軸方向的近旁范圍的面積。
[0167]圖22是顯示本實(shí)施形態(tài)的檢測區(qū)域與引導(dǎo)面間的關(guān)系的變形例的圖。圖22中,顯示了通過檢測區(qū)域DR的多個(gè)引導(dǎo)面GP、GPc、GPd、GPe。引導(dǎo)面GP包含光軸Zr、且與光軸Zr平行。引導(dǎo)面GPc與光軸Zr及X軸平行但不包含光軸Zr。引導(dǎo)面GPcUGPe與光軸Zr平行但不包含光軸Zr、并與X軸交叉。引導(dǎo)面GPcUGPe斜向橫切過檢測器4的射入面4DP。如以上所述,只要弓丨導(dǎo)面GP、GPc、GPd、GPe是通過檢測區(qū)域DR的話,即能有效抑制因引導(dǎo)面GP、GPc、GPd、GPe的Y軸方向位置于Z軸方向相異(變化)而引起的被測定物S的位置偏移。
[0168]圖23是顯示桌臺(tái)支承體的變形例的圖。此桌臺(tái)支承體7a是將第I構(gòu)件7Aa及第2構(gòu)件7Ba的兩端部分別以第3構(gòu)件7Ca與第4構(gòu)件7D加以連結(jié)的構(gòu)造。桌臺(tái)支承體7a,是在以第I構(gòu)件7Aa、第2構(gòu)件7Ba、第3構(gòu)件7Ca、及第4構(gòu)件7D圍繞的部分,配置桌臺(tái)3及檢測器4的檢測區(qū)域DR。第I構(gòu)件7Aa,于兩端部之間具有朝外側(cè)延伸的第I突緣部7AFa。第2構(gòu)件7Ba,于兩端部之間具有朝外側(cè)延伸的第2突緣部7BFa。于第I突緣部7AFa安裝有第I引導(dǎo)裝置5A,于第2突緣部7BFa安裝有第2引導(dǎo)裝置5B。桌臺(tái)支承體7a是通過第I引導(dǎo)裝置5A及第2引導(dǎo)裝置5B安裝于支承體6。與實(shí)施形態(tài)的桌臺(tái)支承體7同樣的,此變形例的桌臺(tái)支承體7a,亦是將桌臺(tái)
3、桌臺(tái)本體3B、第I可動(dòng)構(gòu)件11、基臺(tái)12及第2可動(dòng)構(gòu)件14藉由2個(gè)引導(dǎo)機(jī)構(gòu)15、15,安裝于第I構(gòu)件7Aa及第2構(gòu)件7Ba。
[0169]此桌臺(tái)支承體7a,是將第I構(gòu)件7Aa與第2構(gòu)件7Ba分別以第3構(gòu)件7Ca與第4構(gòu)件7D加以連結(jié)的略O(shè)字形狀的構(gòu)造體。實(shí)施形態(tài)的桌臺(tái)支承體7,則是將第I構(gòu)件7A與第2構(gòu)件7B以第3構(gòu)件7C加以連結(jié)的略U字形狀的構(gòu)造體。藉由此種構(gòu)造上的差異,此桌臺(tái)支承體7a與實(shí)施形態(tài)的桌臺(tái)支承體7相較,具有剛性更高的優(yōu)點(diǎn)。其結(jié)果,桌臺(tái)支承體7a,能有效抑制因桌臺(tái)3及被測定物S等的荷重造成的變形,因此能提升桌臺(tái)3的定位精度。具備此桌臺(tái)支承體7a的檢測裝置Ia,其檢測精度能更為提升。
[0170]圖24是顯示桌臺(tái)支承體的變形例的圖。此桌臺(tái)支承體7b,是以第I構(gòu)件7Ab與第2構(gòu)件7Bb實(shí)質(zhì)正交的方式,將第I構(gòu)件7Ab的一端部與第2構(gòu)件7Bb的一端部加以連結(jié)的略L字形狀的構(gòu)造體。于第I構(gòu)件7Ab的另一端部設(shè)有第I突緣部7AFb。與第2構(gòu)件7Bb的另一端部設(shè)有第2突緣部7BFb。于第I突緣部7AFb安裝有第I引導(dǎo)裝置5A、于第2突緣部7BFb安裝有第2引導(dǎo)裝置5B。桌臺(tái)支承體7b通過第I引導(dǎo)裝置5A及第2引導(dǎo)裝置5B安裝于支承體6b。桌臺(tái)3及檢測器4的檢測區(qū)域DR配置在第I構(gòu)件7Ab與第2構(gòu)件7Bb之間。
[0171]此桌臺(tái)支承體7b是以2個(gè)引導(dǎo)裝置5A、5B安裝于支承體6b。安裝在第I突緣部7AFb的第I引導(dǎo)裝置5A的第I引導(dǎo)面GPl、與安裝在第2突緣部7BFb的第2引導(dǎo)裝置5B的第2引導(dǎo)面GP2彼此正交。以此方式配置的2個(gè)引導(dǎo)裝置5A、5B中,引導(dǎo)面GP是通過第I引導(dǎo)面GPl及第2引導(dǎo)面GP2、并與此等交叉的平面。亦即,本變形例中的引導(dǎo)面GP是通過第I引導(dǎo)面GPl的一部分與第2引導(dǎo)面GP2的一部分的平面。
[0172]引導(dǎo)面GP,如圖24所示,通過檢測器4的檢測區(qū)域DR。因此,裝備了桌臺(tái)支承體7b的檢測裝置lb,可減小因引導(dǎo)面GP的位置在與引導(dǎo)面GP正交的方向于Z軸方向變化而引起的被測定物S的位置偏移。其結(jié)果,檢測裝置Ib能抑制檢測精度的降低。
[0173]圖25是顯示桌臺(tái)支承體的變形例的圖。前述桌臺(tái)支承體7、7a、7b皆是使用第I引導(dǎo)裝置5A及第2引導(dǎo)裝置5B的合計(jì)2個(gè)來引導(dǎo)光軸Zr方向的移動(dòng)。本變形例的桌臺(tái)支承體7c,則是以I個(gè)引導(dǎo)裝置5來引導(dǎo)光軸Zr方向的移動(dòng)。桌臺(tái)支承體7c,是將第I構(gòu)件7Ac、第2構(gòu)件7Bc、第3構(gòu)件7Cc、第4構(gòu)件7Dc分別于兩端部加以連結(jié)的略O(shè)字形狀的構(gòu)造體。桌臺(tái)支承體7c,是在以第I構(gòu)件7Ac、第2構(gòu)件7Bc、第3構(gòu)件7Cc與第4構(gòu)件7Dc圍繞的部分,配置桌臺(tái)3及檢測器4的檢測區(qū)域DR。第4構(gòu)件7Dc,于兩端部之間具有朝外側(cè)延伸的突緣部7F。于突緣部7F安裝有引導(dǎo)裝置5。與實(shí)施形態(tài)的桌臺(tái)支承體7同樣的,此變形例的桌臺(tái)支承體7c,是亦將桌臺(tái)3、桌臺(tái)本體3B、第I可動(dòng)構(gòu)件11、基臺(tái)12及第2可動(dòng)構(gòu)件14以2個(gè)引導(dǎo)機(jī)構(gòu)15、15,安裝于第I構(gòu)件7Ac及第2構(gòu)件7Bc。
[0174]引導(dǎo)裝置5的軌道5R安裝在支承體6c。引導(dǎo)裝置5的移動(dòng)體5M安裝在桌臺(tái)支承體7c的突緣部7F。引導(dǎo)裝置5的引導(dǎo)面GP是與光軸Zr平行、且規(guī)定桌臺(tái)3的移動(dòng)的平面,此例中是與X軸正交。包含引導(dǎo)面GP、與引導(dǎo)面GP平行的平面GPN,亦即引導(dǎo)面GP,如圖25所示,通過檢測器4的檢測區(qū)域DR。因此,裝備了桌臺(tái)支承體7c的檢測裝置lc,可減小引導(dǎo)面GP的位置在與引導(dǎo)面GP正交方向于Z軸方向變化而引起的被測定物S的位置偏移。其結(jié)果,檢測裝置Ic可抑制檢測精度的降低。又,由于桌臺(tái)支承體7c是將第I構(gòu)件7Ac、第2構(gòu)件7Bc、第3構(gòu)件7Cc、第4構(gòu)件7Dc分別與兩端部加以連結(jié)的構(gòu)造,因此可作成具有高剛性。其結(jié)果,由于桌臺(tái)支承體7c可有效抑制因桌臺(tái)3及被測定物S等的荷重造成的變形,因此裝備了此桌臺(tái)支承體7c的檢測裝置lc,可更為提升桌臺(tái)3的定位精度及檢測精度。
[0175]圖26是顯示第I引導(dǎo)裝置及第2引導(dǎo)裝置的配置的變形例的圖。前述實(shí)施形態(tài),如圖7所示,第I引導(dǎo)裝置5A的軌道5AR與第2引導(dǎo)裝置5B的軌道5BR皆是與光軸Zr平行配置。亦即,兩者是平行配置。本實(shí)施形態(tài)中,由于第I引導(dǎo)裝置5A及第2引導(dǎo)裝置5B只要是配置在光軸Zr的兩側(cè)且檢測器4的檢測區(qū)域DR的外側(cè)即可,因此兩者無須平行。此例中,第I引導(dǎo)裝置5A的軌道5AR配置成與規(guī)定檢測區(qū)域DR的面P2平行,第2引導(dǎo)裝置5B的軌道5BR配置成與規(guī)定檢測區(qū)域DR的面P4平行。檢測區(qū)域DR,是以X線源2的發(fā)光區(qū)域XS為頂點(diǎn)、以檢測器4的射入面4DP為底面的四角錐區(qū)域。因此,第I引導(dǎo)裝置5A的軌道5AR與第2引導(dǎo)裝置5B的軌道5BR,隨著從X線源2的發(fā)光區(qū)域XS朝向檢測器4,兩者的間隔漸大。
[0176]桌臺(tái)支承體7d,其第I構(gòu)件7Ad安裝于第I引導(dǎo)裝置5A、第2構(gòu)件7Bd安裝于第2引導(dǎo)裝置5B。第I構(gòu)件7Ad與第2構(gòu)件7Bd,其一端部以第3構(gòu)件7Cd連結(jié)。在第I構(gòu)件7Ad與第I引導(dǎo)裝置5A之間及第2構(gòu)件7Bd與第2引導(dǎo)裝置5B之間,分別安裝有可伸縮的連結(jié)機(jī)構(gòu)7AE、7BE。連結(jié)機(jī)構(gòu)7AE、7BE,是第I構(gòu)件7Ad與第I引導(dǎo)裝置5A間的距離及第2構(gòu)件7Bd與第2引導(dǎo)裝置5B間的距離變大時(shí)伸展、前述距離變小時(shí)收縮的機(jī)構(gòu)。連結(jié)機(jī)構(gòu)7AE、7BE,吸收隨著桌臺(tái)支承體7d往光軸Zr方向移動(dòng)而變化的前述距離。藉由此種構(gòu)造,即使是在將軌道5AR、5BR配置成從X線源2的發(fā)光區(qū)域XS朝檢測器4,第I引導(dǎo)裝置5A的軌道5AR與第2引導(dǎo)裝置5B的軌道5BR間的間隔變大時(shí),桌臺(tái)支承體7d亦能往光軸Zr方向移動(dòng)。
[0177]圖27是顯示實(shí)施形態(tài)的變形例的檢測裝置的圖。此檢測裝置le,是于實(shí)施形態(tài)的檢測裝置I所具備的支承體6的第2側(cè)壁6SB安裝多個(gè)腳6F,將檢測裝置I橫置。腳6F,與圖1所示的腔室構(gòu)件8的底部8B接觸。第2側(cè)壁6SB與腔室構(gòu)件8的底部8B方向相對(duì)配置。如以上所述,檢測裝置le,是第2側(cè)壁6SB為設(shè)置側(cè)、亦即作為設(shè)置對(duì)象的腔室構(gòu)件8的底部SB側(cè)。第2側(cè)壁6SB配置在下方,與第2側(cè)壁6SB方向相對(duì)的第I側(cè)壁6SA配置在上方。又,亦可于第I側(cè)壁6SA安裝多個(gè)腳6F,將第I側(cè)壁6SA配置在下方。
[0178]支承體6的開口部6HU配置在側(cè)邊、亦即配置在X軸側(cè)。桌臺(tái)3及桌臺(tái)本體3B,通過第I可動(dòng)構(gòu)件lie、基臺(tái)12、第2可動(dòng)構(gòu)件14、桌臺(tái)支承體7、第I引導(dǎo)裝置5A及第2引導(dǎo)裝置5B安裝并支承于支承體6。桌臺(tái)支承體7的第I構(gòu)件7A及第2構(gòu)件7B,從支承體6的開口部6HU往底部6B延伸。支承桌臺(tái)3及桌臺(tái)本體3B的第I可動(dòng)構(gòu)件Ile是往Y軸方向移動(dòng)。第2可動(dòng)構(gòu)件14往X軸方向移動(dòng)。桌臺(tái)支承體7往光軸Zr方向移動(dòng)。以第I引導(dǎo)裝置5A與第2引導(dǎo)裝置5B規(guī)定的引導(dǎo)面GP,通過檢測器4的檢測區(qū)域DR。如以上所述,實(shí)施形態(tài)的檢測裝置I,可如變形例的檢測裝置Ie般橫置。
[0179]圖28及圖29是顯示實(shí)施形態(tài)的變形例的檢測裝置的圖。此檢測裝置If,具備支承體6f、支承被測定物S的桌臺(tái)3、支承桌臺(tái)3的桌臺(tái)支承體7f、檢測器4、以及圖29所示的X線源
2。支承體6f,具有底部6Bf、以及從底部6Bf往上延伸彼此方向相對(duì)的一對(duì)側(cè)壁6Sf、6Sf。于側(cè)壁6Sf安裝有多個(gè)腳6F。多個(gè)腳6F,與圖1所示的腔室構(gòu)件8的底部8B接觸。支承體6f通過桌臺(tái)支承