SW的撓曲，配置在第I側(cè)壁6SA及第2側(cè)壁6SB相反側(cè)的底部6B的肋部6R而被抑制于最小限。其結(jié)果，第I引導(dǎo)裝置5A及第2引導(dǎo)裝置5B于Y軸方向的位置偏移受到抑制。
[0119]第I引導(dǎo)裝置5A的軌道5AR與第2引導(dǎo)裝置5B的軌道5BR，如圖7所示，是延伸于與光軸Zr平行的方向。第I引導(dǎo)裝置5A的移動(dòng)體5AM與軌道5AR組合，藉由軌道5AR引導(dǎo)本身的移動(dòng)。第2引導(dǎo)裝置5B的移動(dòng)體5BM與軌道5BR組合，藉由軌道5BR引導(dǎo)本身的移動(dòng)。亦即，移動(dòng)體5AM與移動(dòng)體5BM是藉由軌道5AR及軌道5BR被引導(dǎo)于與光軸Zr平行的方向。
[0120]如圖6所示，設(shè)于桌臺(tái)支承體7的第I構(gòu)件7A的第I突緣部7AF，在第3構(gòu)件7C側(cè)的面7AFP安裝有第I引導(dǎo)裝置5A的移動(dòng)體5AM。設(shè)于桌臺(tái)支承體7的第2構(gòu)件7B的第2突緣部7BF，在第3構(gòu)件7C側(cè)的面7BFP安裝有第2引導(dǎo)裝置5B的移動(dòng)體5BM。第I引導(dǎo)裝置5A及第2引導(dǎo)裝置5B的軌道5AR、5BR，由于如前所述的是安裝于支承體6，因此桌臺(tái)支承體7是通過(guò)第I引導(dǎo)裝置5A及第2引導(dǎo)裝置5B安裝于支承體6。桌臺(tái)支承體7的第I構(gòu)件7A，是被第I引導(dǎo)裝置5A引導(dǎo)與光軸Zr平行的移動(dòng)。桌臺(tái)支承體7的第2構(gòu)件7B，是被第2引導(dǎo)裝置5B引導(dǎo)與光軸Zr平行的移動(dòng)。其結(jié)果，桌臺(tái)支承體7藉由第I引導(dǎo)裝置5A及第2引導(dǎo)裝置5B，往與光軸Zr平行的方向移動(dòng)。
[0121 ]如前所述，桌臺(tái)3是通過(guò)第I可動(dòng)構(gòu)件11及第2可動(dòng)構(gòu)件14等安裝于桌臺(tái)支承體7。因此，桌臺(tái)3是通過(guò)桌臺(tái)支承體7安裝于支承體6。而桌臺(tái)3可通過(guò)桌臺(tái)支承體7，藉由第I引導(dǎo)裝置5A及第2引導(dǎo)裝置5B往與光軸Zr平行的方向移動(dòng)。亦即，第I引導(dǎo)裝置5A是配置在檢測(cè)區(qū)域DR的外側(cè)，一邊支承桌臺(tái)3—邊引導(dǎo)桌臺(tái)3往與光軸Zr平行的方向移動(dòng)。第2引導(dǎo)裝置5B是配置在檢測(cè)區(qū)域DR的外側(cè)且與第I引導(dǎo)裝置5A不同的位置，一邊支承桌臺(tái)3—邊引導(dǎo)桌臺(tái)3往與光軸Zr平行的方向移動(dòng)。
[0122]如圖6所示，第I引導(dǎo)裝置5A，具有與光軸Zr平行、且規(guī)定X線源2、桌臺(tái)3及檢測(cè)器4中至少I(mǎi)者的移動(dòng)的平面第I引導(dǎo)面GP1。第2引導(dǎo)裝置5B，具有與光軸Zr平行、且規(guī)定X線源
2、桌臺(tái)3及檢測(cè)器4中至少I(mǎi)者的移動(dòng)的平面第2引導(dǎo)面GP2。本實(shí)施形態(tài)中，X線源2及檢測(cè)器4中至少一方可以是能移動(dòng)的。此場(chǎng)合，X線源2及檢測(cè)器4中至少一方的移動(dòng)，可以是以第I引導(dǎo)裝置5A及第2引導(dǎo)裝置5B加以引導(dǎo)。設(shè)通過(guò)第I引導(dǎo)面GPl的至少一部分、與第2引導(dǎo)面GP2的至少一部分的平面為引導(dǎo)面GP時(shí)，引導(dǎo)面GP通過(guò)檢測(cè)器4的穿透X線的檢測(cè)區(qū)域DR內(nèi)。本實(shí)施形態(tài)中，引導(dǎo)面GP是在與支承被測(cè)定物S的桌臺(tái)3的支承面3P正交的方向，通過(guò)檢測(cè)區(qū)域DR內(nèi)。圖6所示的例中，引導(dǎo)面GP是與第I引導(dǎo)面GPl及第2引導(dǎo)面GP2平行、且包含此等面的平面。引導(dǎo)面GP是規(guī)定桌臺(tái)3的移動(dòng)的平面。關(guān)于引導(dǎo)面GP，留待后述。
[0123]如圖6及圖7所示，桌臺(tái)支承體7，是于本身具有的螺帽7NT中螺入螺旋軸27。本實(shí)施形態(tài)中，螺帽7NT，如圖6及圖8所示，雖是設(shè)于桌臺(tái)支承體7的第I構(gòu)件7A，但螺帽7NT亦可以是設(shè)于第2構(gòu)件7B或第3構(gòu)件7C。螺旋軸27，是安裝在圖7所示的致動(dòng)器28的輸出軸。本實(shí)施形態(tài)中，致動(dòng)器28是電動(dòng)馬達(dá)。致動(dòng)器28使螺旋軸27旋轉(zhuǎn)。螺旋軸27是被支承體6、具體而言是被支承于支承體6的第I側(cè)壁6SA的軸承29A、29B支承為可旋轉(zhuǎn)。本實(shí)施形態(tài)中，螺旋軸27是以本身的軸線與光軸Zr實(shí)質(zhì)平行的方式，被軸承29A、29B支承。
[0124]當(dāng)致動(dòng)器28旋轉(zhuǎn)時(shí)，螺旋軸27亦旋轉(zhuǎn)。由于螺旋軸27是螺入在桌臺(tái)支承體7所具有的螺帽7NT，因此當(dāng)螺旋軸27旋轉(zhuǎn)時(shí)，桌臺(tái)支承體7即往光軸Zr方向移動(dòng)。本實(shí)施形態(tài)中，桌臺(tái)支承體7所具有的螺帽7NT與螺旋軸27之間設(shè)有滾珠。亦即，桌臺(tái)支承體7是藉由滾珠螺桿機(jī)構(gòu)往光軸Zr方向移動(dòng)。此時(shí)，如前所述，2條軌道5AR、5BR引導(dǎo)桌臺(tái)支承體7往光軸Zr方向的移動(dòng)。
[0125]支承體6具備多個(gè)(本實(shí)施形態(tài)中為2個(gè))線性編碼器24A、24B。支承體6具備的線性編碼器24A、24B的數(shù)量并無(wú)限定，可以是單數(shù)、亦可以是3個(gè)以上。桌臺(tái)支承體7的移動(dòng)量(光軸Zr方向的位置)是以線性編碼器24A及線性編碼器24B中的至少一方加以檢測(cè)。線性編碼器24A包含編碼器讀頭24AE與線性標(biāo)尺24AS。線性編碼器24B包含編碼器讀頭24BE與線性標(biāo)尺24BS。
[0126]作為第I標(biāo)尺的線性標(biāo)尺24AS及作為第2標(biāo)尺的線性標(biāo)尺24BS，具有排列于第I方向(本實(shí)施形態(tài)中為光軸Zr方向)的圖案。線性標(biāo)尺24AS是固定在支承體6所具有的第I側(cè)壁6SA的端面6SAT。作為第2標(biāo)尺的線性標(biāo)尺24BS則固定在支承體6所具有的第2側(cè)壁6SB的端面6SBT。作為第I測(cè)量裝置的編碼器讀頭24AE，檢測(cè)線性標(biāo)尺24AS的圖案以測(cè)量作為移動(dòng)物體的桌臺(tái)支承體7于第I方向(本實(shí)施形態(tài)中為光軸Zr方向)的位置。作為第2測(cè)量裝置的編碼器讀頭24BE，檢測(cè)線性標(biāo)尺24BS的圖案以測(cè)量作為移動(dòng)裝置的桌臺(tái)支承體7于第I方向的位置。本實(shí)施形態(tài)中，編碼器讀頭24AE、24BE，是配置在移動(dòng)裝置的可移動(dòng)區(qū)域中的與第I方向(本實(shí)施形態(tài)中為光軸Zr方向)交叉的第2方向(本實(shí)施形態(tài)中為X軸方向)。編碼器讀頭24AE，是安裝在與桌臺(tái)支承體7所具有的第I突緣部7AF的第2突緣部7BF相反側(cè)的側(cè)面7AFS。編碼器讀頭24BE，安裝在與桌臺(tái)支承體7所具有的第2突緣部7BF的第I突緣部7AF相反側(cè)的側(cè)面7BFS。如以上所述，編碼器讀頭24AE、24BE是被作為移動(dòng)裝置的桌臺(tái)支承體7支承。又，本實(shí)施形態(tài)中，編碼器讀頭24AE、24BE是夾著光軸Zr配置。2個(gè)線性編碼器24A、24B是夾著光軸Zr配置在其兩側(cè)、且檢測(cè)區(qū)域DR的外側(cè)。亦即，2個(gè)線性編碼器24A、24B是夾著檢測(cè)區(qū)域DR，配置在其外側(cè)且兩側(cè)。
[0127]線性編碼器24A、24B，測(cè)量桌臺(tái)支承體7相對(duì)支承體6于光軸Zr方向的移動(dòng)量。圖1所示的控制裝置9，例如，根據(jù)線性編碼器24A及線性編碼器24B中的至少一方測(cè)量的桌臺(tái)支承體7的移動(dòng)量，控制致動(dòng)器28的動(dòng)作以控制桌臺(tái)支承體7的移動(dòng)量。亦即，控制裝置9根據(jù)線性編碼器24A等所測(cè)量的桌臺(tái)支承體7的移動(dòng)量，控制桌臺(tái)3于光軸Zr方向的移動(dòng)量。
[0128]在檢測(cè)桌臺(tái)支承體7于光軸Zr方向的位置以控制桌臺(tái)3于光軸Zr方向的位置時(shí)，可藉由使用配置在檢測(cè)區(qū)域DR外側(cè)、且?jiàn)A著檢測(cè)區(qū)域DR配置的2個(gè)線性編碼器24A、24B的雙方，求出桌臺(tái)支承體7于桌臺(tái)旋轉(zhuǎn)軸Yr或繞Y軸的傾斜(桌臺(tái)支承體7相對(duì)ZY平面的傾斜)ο控制裝置9，藉由使用2個(gè)線性編碼器24A、24B的測(cè)量值，可正確的求出桌臺(tái)支承體7相對(duì)桌臺(tái)旋轉(zhuǎn)軸Yr或繞Y軸的傾斜所引起的被測(cè)定物S于光軸Zr方向的位置偏移，控制桌臺(tái)3的位置。其結(jié)果，控制裝置9能以良好精度控制被測(cè)定物S于光軸Zr方向的位置。如以上所述，檢測(cè)裝置1，較佳是在夾著光軸Zr的兩側(cè)具備線性編碼器24A、24B，控制裝置9根據(jù)兩者的測(cè)量結(jié)果控制桌臺(tái)3于光軸Zr方向的位置。
[0129]圖9及圖10是用以說(shuō)明使移動(dòng)于桌臺(tái)旋轉(zhuǎn)軸方向的構(gòu)造的圖。本實(shí)施形態(tài)中，如前所述，桌臺(tái)3及桌臺(tái)本體3B是通過(guò)第I可動(dòng)構(gòu)件11、基臺(tái)12及第2可動(dòng)構(gòu)件14被支承于桌臺(tái)支承體7。第2可動(dòng)構(gòu)件14是通過(guò)引導(dǎo)機(jī)構(gòu)15被支承于桌臺(tái)支承體7的第I構(gòu)件7A的側(cè)部7AS1與第2構(gòu)件7B的側(cè)部7BS1，因此，桌臺(tái)3是沿第I構(gòu)件7A及第2構(gòu)件7B移動(dòng)。
[0130]桌臺(tái)3，具有桌臺(tái)本體3B、第I可動(dòng)構(gòu)件11、安裝在第I可動(dòng)構(gòu)件11且螺入螺旋軸16的螺帽11NT、基臺(tái)12、軌道13R與移動(dòng)體13M，與安裝在基臺(tái)12的2個(gè)引導(dǎo)機(jī)構(gòu)13及第2可動(dòng)構(gòu)件14等的XY移動(dòng)機(jī)構(gòu)STxy—起，沿第I構(gòu)件7A及第2構(gòu)件7B移動(dòng)于Y軸方向。本實(shí)施形態(tài)中，為降低使此等移動(dòng)的圖6所示的致動(dòng)器21的負(fù)荷，桌臺(tái)支承體7具備配重(counter weight)30。配重30，配置在與第I構(gòu)件7A及第2構(gòu)件7B的側(cè)部7AS1、7BS1相反側(cè)的側(cè)部7AS2、7BS2側(cè)。
[0131]配重30，通過(guò)安裝在第I構(gòu)件7A及第2構(gòu)件7B各個(gè)的側(cè)部7AS2、7BS2的引導(dǎo)機(jī)構(gòu)31、31，安裝在第I構(gòu)件7A及第2構(gòu)件7B。于第I構(gòu)件7A的側(cè)部7AS2及第2構(gòu)件7B的側(cè)部7BS2，分別安裝有作為引導(dǎo)機(jī)構(gòu)31所具備的引導(dǎo)構(gòu)件的軌道31R、31R。軌道31R、31R，是朝著第I構(gòu)件7A及第2構(gòu)件7B延伸的方向、亦即、從第I突緣部7AF及第2突緣部7BF朝著第3構(gòu)件7C的方向沿第I構(gòu)件7A及第2構(gòu)件7B延伸。與軌道31R、31R組合并被此引導(dǎo)的移動(dòng)體31M、31M，是安裝在配重30。藉由此種構(gòu)造，配重30被引導(dǎo)機(jī)構(gòu)31、31引導(dǎo)，沿第I構(gòu)件7A及第2構(gòu)件7B移動(dòng)。
[0132]XY移動(dòng)機(jī)構(gòu)STxy與配重30以鋼索32連結(jié)。鋼索32，如圖10所示，通過(guò)第2構(gòu)件7B的第2突緣部7BF側(cè)，將XY移動(dòng)機(jī)構(gòu)STxy與配重30加以連結(jié)。于第2構(gòu)件7B的第2突緣部7BF，安裝有2個(gè)滑輪33A、33B、與支承此等的滑輪支承體33C。滑輪33A、33B分別藉由軸33SA、33SB安裝于滑輪支承體33C。將XY移動(dòng)機(jī)構(gòu)STxy與配重30加以連結(jié)的鋼索32，繞掛于滑輪33A、33B。
[0133]配重30的質(zhì)量與XY移動(dòng)機(jī)構(gòu)STxy的質(zhì)量為同程度。因此，分別配置在第I構(gòu)件7A及第2構(gòu)件7B的側(cè)部7ASU7BS1側(cè)與側(cè)部7AS2、7BS2側(cè)、且以鋼索32連結(jié)的XY移動(dòng)機(jī)構(gòu)STxy與配重30，在質(zhì)量上是平衡的。因此，在使XY移動(dòng)機(jī)構(gòu)STxy往Y軸方向移動(dòng)時(shí)，能以較少的力量使此移動(dòng)。其結(jié)果，由于降低了用以使XY移動(dòng)機(jī)構(gòu)STxy移動(dòng)的動(dòng)力，因此圖6所示的致動(dòng)器21的負(fù)荷獲得降低。又，由于用以使XY移動(dòng)機(jī)構(gòu)STxy移動(dòng)的動(dòng)力少，因此可使用小型且輸出小的致動(dòng)器21。
[0134]圖11是顯示支承桌臺(tái)的第2可動(dòng)構(gòu)件14的圖。支承桌臺(tái)3的第2可動(dòng)構(gòu)件14，是沿著桌臺(tái)支承體7的第I構(gòu)件7A及第2構(gòu)件7B移動(dòng)的板狀構(gòu)件。第2可動(dòng)構(gòu)件14包含第I板狀構(gòu)件14A與第2板狀構(gòu)件14B、14B。于第I板狀構(gòu)件14A安裝有引導(dǎo)機(jī)構(gòu)15、15的移動(dòng)體15M、15M。引導(dǎo)機(jī)構(gòu)15、15的軌道15R、15R分別安裝在第I構(gòu)件7A與第2構(gòu)件7B。亦即，第I板狀構(gòu)件14A是通過(guò)引導(dǎo)機(jī)構(gòu)15、15安裝在第I構(gòu)件7A及第2構(gòu)件7B。又，第I板狀構(gòu)件14A藉由引導(dǎo)機(jī)構(gòu)15、15沿第I構(gòu)件7A及第2構(gòu)件7B移動(dòng)。
[0135]本實(shí)施形態(tài)中，第I板狀構(gòu)件14A，與支承體6及桌臺(tái)支承體7同樣的，是以線膨脹系數(shù)小的材料(本實(shí)施形態(tài)中為不變鋼)制作。如前所述，此種材料非常昂貴。因此，本實(shí)施形態(tài)中，為減少線膨脹系數(shù)小的材料的使用量，是于第I板狀構(gòu)件14A組合以和第I板狀構(gòu)件14A不同材料制作的第2板狀構(gòu)件14B，作為第2可動(dòng)構(gòu)件14。具體而言，一對(duì)、亦即2片第2板狀構(gòu)件14B、14B安裝在第I板狀構(gòu)件14A的兩面。因此，一對(duì)第2板狀構(gòu)件14B、14B從兩面夾持第I板狀構(gòu)件14A。
[0136]藉由此方式，可在減少第I板狀構(gòu)件14A的厚度的同時(shí)、確保第2可動(dòng)構(gòu)件14所需的強(qiáng)度及剛性。本實(shí)施形態(tài)中，第2板狀構(gòu)件14B、14B是以碳鋼或不銹鋼等鋼材制作。此種鋼材較作為第I板狀構(gòu)件14A的材料的鎳基合金便宜。此外，此種鋼材強(qiáng)度及剛性亦高。因此，SP使在第2板狀構(gòu)件14B、14B使用碳鋼或不銹鋼等鋼材來(lái)減小第2板狀構(gòu)件14B、14B的厚度，亦能容易的確保第2可動(dòng)構(gòu)件14所需的強(qiáng)度及剛性。其結(jié)果，可抑制第2可動(dòng)構(gòu)件14的質(zhì)量増加，且確保第2可動(dòng)構(gòu)件14所需的強(qiáng)度及剛性。此外，亦能抑制第2可動(dòng)構(gòu)件14的制造成本。
[0137]第2板狀構(gòu)件14B、14B的材料，與第I板狀構(gòu)件14A的材料的線膨脹系數(shù)不同。具體而言，第2板狀構(gòu)件14B、14B的材料，其線膨脹系數(shù)較第I板狀構(gòu)件14A的材料大。本實(shí)施形態(tài)中，第2板狀構(gòu)件14B可安裝在第I板狀構(gòu)件14A的一面。然而，由于第I板狀構(gòu)件14A與第2板狀構(gòu)件14B的線膨脹系數(shù)有差異，因此當(dāng)將線膨脹系數(shù)較第I板狀構(gòu)件14A大的第2板狀構(gòu)件14B安裝于第I板狀構(gòu)件14A的一面時(shí)，有可能因溫度變化而使第2可動(dòng)構(gòu)件14彎曲。因此，本實(shí)施形態(tài)中，是在第I板狀構(gòu)件14A的兩面分別安裝第2板狀構(gòu)件14B、14B。藉由此種構(gòu)造，抑制因溫度變化引起的第2可動(dòng)構(gòu)件14的彎曲(變形)，以抑制桌臺(tái)3及被支承于此的被測(cè)定物S的位置偏移。
[0138]—對(duì)第2板狀構(gòu)件14B、14B，皆以相同材料制作較佳。此外，一對(duì)第2板狀構(gòu)件14B、14B，其形狀及尺寸皆同者較佳。如此，由于可使在第I板狀構(gòu)件14A兩面?zhèn)鹊囊驕囟茸兓鸬牡?板狀構(gòu)件14B、14B的伸縮大致相同，能更近一步抑制第2可動(dòng)構(gòu)件14的彎曲(變形)。
[0139]圖12是顯示配重的圖。配重30是將第I板狀構(gòu)件30A的兩面以一對(duì)、亦即2片第2板狀構(gòu)件30B夾持的構(gòu)造。于第I板狀構(gòu)件30A，安裝有被引導(dǎo)機(jī)構(gòu)31的軌道31R引導(dǎo)的移動(dòng)體31M。因此，由于能將因溫度變化引起的第I板狀構(gòu)件30A的變形抑制于最小限，第I板狀構(gòu)件30A是以線膨脹系數(shù)小的材料(本實(shí)施形態(tài)中為不變鋼)制成。
[0140]如前所述，由于線膨脹系數(shù)小的材料非常高價(jià)，因此若將配重30的全部以線膨脹系數(shù)小的材料制作時(shí)，配重30的制造成本將會(huì)増加。因此，是于第I板狀構(gòu)件30A安裝以較此便宜的材料制作的第2板狀構(gòu)件30B。此時(shí)，可藉由將以相同材料制作的一對(duì)第2板狀構(gòu)件30B、30B夾持第I板狀構(gòu)件30A，據(jù)以使在第I板狀構(gòu)件30A兩面的第2板狀構(gòu)件30B的變形相同。其結(jié)果，能在發(fā)揮配重30的功能的同時(shí)，抑制因溫度變化引起的配重30的彎曲(變形)。
[0141]又，亦能抑制配重30的制造成本。進(jìn)一步的，一對(duì)第2板狀構(gòu)件30B、30B以形狀及尺寸相同者較佳。如此，由于可使在第I板狀構(gòu)件30A兩面?zhèn)鹊囊驕囟茸兓鸬牡?板狀構(gòu)件30B、30B的伸縮進(jìn)一步相同，因此能更為抑制配重30的彎曲(變形)。
[0142]圖13、圖14及圖15是用以說(shuō)明引導(dǎo)裝置的引導(dǎo)面的圖。圖13及圖14顯不以和移動(dòng)體5M、5Ma的移動(dòng)方向、亦即與軌道5R、5Ra延伸方向正交的平面切開(kāi)時(shí)的剖面(以下，適當(dāng)?shù)姆Q(chēng)橫剖面)。本實(shí)施形態(tài)中，圖6、圖7及圖8等所示的引導(dǎo)桌臺(tái)支承體7所支承的桌臺(tái)3往光軸Zr方向的移動(dòng)的引導(dǎo)裝置5、亦即第I引導(dǎo)裝置5A與第2引導(dǎo)裝置5B，如圖6及圖13所示，分別具有第I引導(dǎo)面GPl與第2引導(dǎo)面GP2。第I引導(dǎo)面GPl及第2引導(dǎo)面GP2是規(guī)定移動(dòng)體5AM、5BM的移動(dòng)的平面。第I引導(dǎo)裝置5A及第2引導(dǎo)裝置5B的雙方通過(guò)圖6及圖7等所示的桌臺(tái)支承體7引導(dǎo)桌臺(tái)3的移動(dòng)時(shí)，第I引導(dǎo)面GPl及第2引導(dǎo)面GP2即成為規(guī)定桌臺(tái)3的移動(dòng)的平面(以下同)。
[0143]圖13所示的引導(dǎo)裝置5，亦即第I引導(dǎo)裝置5A及第2引導(dǎo)裝置5B，軌道5R(5AR、5BR)與移動(dòng)體5M(5AM、5BM)彼此接觸。引導(dǎo)裝置5，在移動(dòng)體5M與軌道5R之間具有2個(gè)接觸面SRl與接觸面SR2。移動(dòng)體5M與軌道5R的接觸面積中，接觸面SRl大于接觸面SR2。因此，于橫剖面中的接觸面SRl的接觸長(zhǎng)度Lw較接觸面SR2的接觸長(zhǎng)度Lh大(Lw>Lh)。以下，思考移動(dòng)體5M于移動(dòng)體5M的移動(dòng)方向、亦即相對(duì)與軌道5R延伸的方向平行的軸(以下，適當(dāng)?shù)姆Q(chēng)引導(dǎo)軸)axg，移動(dòng)體5M傾斜的情形。抑制此傾斜的作用，在橫剖面中接觸長(zhǎng)度Lw較接觸面SR2的接觸長(zhǎng)度Lh大的接觸面SRl，是較接觸面SR2大的。本實(shí)施形態(tài)中，引導(dǎo)裝置5、第I引導(dǎo)裝置5A及第2引導(dǎo)裝置5B的引導(dǎo)面GP、第I引導(dǎo)面GPl及第2引導(dǎo)面GP2，是指抑制移動(dòng)體5M、5AM、5BM于弓I導(dǎo)軸axg周?chē)鷥A斜的作用較大的接觸面SRl。
[0144]圖14所示的引導(dǎo)裝置5a、亦即第I引導(dǎo)裝置5Aa及第2引導(dǎo)裝置5Ba，是在軌道5Ra(5八!^、581^)與移動(dòng)體51^1(541^1、581^1)之間存在滾動(dòng)體(本例中為珠)51^1、5此2、5此3、5RL4。移動(dòng)體5Ma是通過(guò)滾動(dòng)體5RL1、5RL2、5RL3、5RL4被軌道5Ra引導(dǎo)。軌道5Ra，橫剖面的形狀為略長(zhǎng)方形。
[0145]橫剖面中，于軌道5Ra的長(zhǎng)邊側(cè)，設(shè)有相鄰的滾動(dòng)體5RL1與滾動(dòng)體5RL2。又，橫剖面中，于軌道5Ra的短邊側(cè)，設(shè)有相鄰的滾動(dòng)體5RL2與滾動(dòng)體5RL3、以及設(shè)有相鄰的滾動(dòng)體5RL1與滾動(dòng)體5RL4。橫剖面中，假設(shè)一條將滾動(dòng)體5RL1與移動(dòng)體5Ma的接觸部且最接近移動(dòng)體5Ma的較大的面(以下，適當(dāng)?shù)胤Q(chēng)第I面)5MP1的部分、和滾動(dòng)體5RL2與移動(dòng)體5Ma的接觸部且最接近第I面5MP1的部分加以連結(jié)的線段LI。將此線段LI與引導(dǎo)軸axg平行的展開(kāi)所形成的平面，設(shè)為平面VPl。
[0146]其次，于橫剖面，假設(shè)一條將滾動(dòng)體5RL2(或滾動(dòng)體5RL1)與移動(dòng)體5Ma的接觸部且最接近移動(dòng)體5Ma的較小的面(以下，適當(dāng)?shù)胤Q(chēng)第2面)5MP2的部分、和滾動(dòng)體5RL3 (或滾動(dòng)體5RL4)與移動(dòng)體5Ma的接觸部且最接近第2面5MP2的部分加以連結(jié)的線段L2。將此線段L2與引導(dǎo)軸axg平行的展開(kāi)所形成的平面，設(shè)為平面VP2。
[0147]平面VPl及平面VP2，是軌道5Ra規(guī)定移動(dòng)體5Ma的移動(dòng)的面。在移動(dòng)體5Ma與軌道5Ra重疊的部分，平面VPl較平面VP2的面積大。因此，平面VPl在橫剖面的長(zhǎng)度、亦即線段LI的長(zhǎng)度Lwa，較平面VP2在橫剖面的長(zhǎng)度、亦即較線段L2的長(zhǎng)度Lha大(Lwa>Lha)。
[ΟΙ48]接著，考慮在引導(dǎo)裝置5a的引導(dǎo)軸axg周?chē)?，移?dòng)體5Ma傾斜的情形。抑制此傾斜的作用，在橫剖面的接觸長(zhǎng)度bra較平面VP2的接觸長(zhǎng)度Lha大的平面VPl，是較平面VP2來(lái)得大的。本實(shí)施形態(tài)中，引導(dǎo)裝置5a、第I引導(dǎo)裝置5Aa及第2引導(dǎo)裝置5Ba的引導(dǎo)面GP、第I引導(dǎo)面GPl及第2引導(dǎo)面GP2，是指抑制在引導(dǎo)軸axg周?chē)囊苿?dòng)體5Ma的傾斜作用較大的平面VPl。
[0149]圖15所示的引導(dǎo)裝置5b，具有平行且相對(duì)配置的2個(gè)接觸面SRl、SR2。接觸面SRl、SR2是軌道5Rb與移動(dòng)體5Mb相接的面。移動(dòng)體5Mb的較大的面第I面5MP1，是接觸面SR1、SR2側(cè)的面。移動(dòng)體5Mb的較小的面第2面5MP2，是連接一對(duì)第I面5MP1、5MP1的面。引導(dǎo)裝置5b，是于第2面5MP2安裝構(gòu)造物。具有2個(gè)接觸面SRl、SR2的引導(dǎo)裝置5b的場(chǎng)合時(shí)，與2個(gè)接觸面SR1、SR2平行、且在與各個(gè)接觸面SR1、SR2的距離相等的位置的平面為引導(dǎo)面GP。從各個(gè)接觸面SRl、SR2至引導(dǎo)面GP的距離，皆為L(zhǎng)h/2