應氣體G的供應口 26。本實施形態(tài)中，調(diào)整裝置25，例如導入外部空間RP的氣體，調(diào)整該氣體的溫度。經(jīng)調(diào)整裝置25調(diào)整溫度的氣體G，通過導管26P被送至供應口 26。供應口 26配置成與X線源2的至少一部分方向相對。供應口 26將來自調(diào)整裝置25的氣體G供應至X線源2的至少一部分。
[0087]檢測器4，在內(nèi)部空間SP，較X線源2及桌臺3配置在+Z側(cè)。檢測器4與X線源2的射出部2E方向相對。檢測器4的位置，是固定在既定位置。又，檢測器4可以是能移動。桌臺3，在內(nèi)部空間SP中，可在X線源2與檢測器4之間移動。檢測器4，具有閃爍器部36與接受在閃爍器部36產(chǎn)生的光的受光部37，閃爍器部36具有包含穿透過被測定物S的穿透X線的來自X線源2的X線XL射入的射入面4DP。檢測器4的射入面4DP與被支承于桌臺3的被測定物S方向相對。射入面4DP是檢測器4的X線射入的面。本實施形態(tài)中，是從X線源2照射的X線XL、及從X線源2照射并穿透過被測定物S的穿透X線中的至少一方，射入射入面4DP。
[0088]閃爍器部36，包含因被X線XL照射而產(chǎn)生與該X線不同波長的光的閃爍(scintillat1n)物質(zhì)。受光部37包含光電倍増管。光電倍増管包含藉由光電效果將光能轉(zhuǎn)換為電能的光電管。受光部37，將在閃爍器部36產(chǎn)生的光予以増幅后，轉(zhuǎn)換成電氣信號輸出。檢測器4具有多個閃爍器部36。閃爍器部36，在XY平面內(nèi)配置多個。閃爍器部36被配置成陣列狀。檢測器4具有與多個閃爍器部36的各個連接的多個受光部37。檢測器4，亦可是將射入的X線不轉(zhuǎn)換成光、而直接轉(zhuǎn)換成電氣信號。
[0089]檢測裝置I的動作是以控制裝置9加以控制?？刂蒲b置9，是例如控制X線源2的動作、或由檢測器4從檢測穿透過被測定物S的穿透X線的結(jié)果算出被測定物S的形狀、或控制桌臺3的移動、或控制調(diào)整裝置25的動作?？刂蒲b置9，例如電腦。
[0090]圖6是圖1的A— A箭頭剖視圖。圖7是檢測裝置的俯視圖。圖8是顯示檢測裝置具備的桌臺支承體的立體圖。圖6及圖7中所示的符號Zr，代表X線源2的光軸。本實施形態(tài)中，光軸Zr與Z軸平行。以下的例中亦同。如圖6及圖7所示，桌臺3被桌臺本體3B支承。桌臺3，具備用以支承被測定物S的支承機構(gòu)(亦稱物體支承機構(gòu))3S ο支承機構(gòu)3S，是例如采用藉由負壓吸附支承對象物體的方式。支承機構(gòu)3S，并不限定于吸附方式，亦可以是采用例如以構(gòu)件夾持支承對象物體的方式。桌臺3設有支承機構(gòu)3S，且支承機構(gòu)3S支承被測定物S的面為支承面3P。本實施形態(tài)中，X線源2的光軸是將于X線源2發(fā)出的X線的發(fā)光點與檢測器4具有的多個受光部37的中心加以連結(jié)的線。檢測器4具有的多個受光部37的中心，在圖1中，是X軸方向及Y軸方向的各個中心線相交的點。
[0091]桌臺本體3B支承桌臺3、且固定于桌臺3的安裝對象。桌臺本體3B，具備用以使桌臺3繞與支承面3P正交的軸Yr旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置3D。與桌臺3的支承面3P正交的軸Yr，在以下說明中亦適當?shù)姆Q為桌臺旋轉(zhuǎn)軸Yr。桌臺旋轉(zhuǎn)軸Yr，由于是與Y軸平行的軸，因此桌臺3往ΘΥ方向旋轉(zhuǎn)。旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置3D，例如具備電動馬達，以電動馬達的旋轉(zhuǎn)力使桌臺3旋轉(zhuǎn)。
[0092]桌臺3，具備用以測量桌臺3的旋轉(zhuǎn)量(于ΘΥ方向的位置)的旋轉(zhuǎn)編碼器10。旋轉(zhuǎn)編碼器10，包含例如設于桌臺本體3B的標尺構(gòu)件10S、與設于桌臺3檢測標尺構(gòu)件1S的刻度的編碼器讀頭10E。藉由此種構(gòu)造，旋轉(zhuǎn)編碼器10測量桌臺3相對桌臺本體3B的旋轉(zhuǎn)量。圖1所示的控制裝置9，例如根據(jù)旋轉(zhuǎn)編碼器10所測量的桌臺3的旋轉(zhuǎn)量，控制旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置3D的動作，以控制桌臺3的旋轉(zhuǎn)量。
[0093]桌臺本體3B安裝在第I可動構(gòu)件11。第I可動構(gòu)件11，是被安裝在基臺12的作為引導構(gòu)件的軌道13R支承?；_12安裝在第2可動構(gòu)件14。第2可動構(gòu)件14是通過安裝在桌臺支承體7與第2可動構(gòu)件14之間的引導機構(gòu)15，安裝于桌臺支承體7。如以上所述，桌臺3通過桌臺本體3B、第I可動構(gòu)件11、軌道13R、基臺12、第2可動構(gòu)件14與引導機構(gòu)15，被支承于桌臺支承體7。
[0094]如圖7所示，基臺12，在第I可動構(gòu)件11側(cè)，具備以既定間隔實質(zhì)平行的配置的多條(本實施形態(tài)中為2條)軌道13R、1312條軌道13R、13R是朝著X軸方向延伸。第I可動構(gòu)件11被軌道13R、13R引導，沿軌道13R、13R往X軸方向移動。第I可動構(gòu)件11，被螺旋軸16螺入本身具有的螺帽。螺旋軸16安裝在致動器17的輸出軸。本實施形態(tài)中，致動器17為電動馬達。致動器17使螺旋軸16旋轉(zhuǎn)。螺旋軸16，是以被基臺12支承的軸承18A、18B支承為可旋轉(zhuǎn)。本實施形態(tài)中，螺旋軸16是以本身的軸線與X軸實質(zhì)平行的方式，被軸承18A、18B支承。
[0095]當致動器17旋轉(zhuǎn)時，螺旋軸16亦旋轉(zhuǎn)。由于螺旋軸16是螺入第I可動構(gòu)件11所具有的螺帽，因此當螺旋軸16旋轉(zhuǎn)時，第I可動構(gòu)件11即往X軸方向移動。本實施形態(tài)，在第I可動構(gòu)件11所具有的螺帽與螺旋軸16之間配置有滾珠。亦即，第I可動構(gòu)件11藉由滾珠螺桿機構(gòu)往X軸方向移動。此時，如前所述，2條軌道13R、13R引導第I可動構(gòu)件11往X軸方向的移動。
[0096]第I可動構(gòu)件11的移動量(X軸方向的位置)以線性編碼器19檢測。線性編碼器19包含編碼器讀頭19E與線性標尺19S。線性標尺19S安裝在基臺12的第I可動構(gòu)件11側(cè)。編碼器讀頭19E安裝在與第I可動構(gòu)件11的線性標尺19S相對的位置。線性編碼器19，測量第I可動構(gòu)件11相對基臺12在X軸方向的移動量。圖1所示的控制裝置9，例如根據(jù)線性編碼器19測量的第I可動構(gòu)件11的移動量，控制致動器17的動作以控制第I可動構(gòu)件11的移動量。亦即，控制裝置9，根據(jù)線性編碼器19測量的第I可動構(gòu)件11的移動量，控制桌臺3在X軸方向的移動量。
[0097]如圖6及圖7所示，安裝基臺12的第2可動構(gòu)件14，是通過多(本實施形態(tài)中為2個)個引導機構(gòu)15、15安裝、支承于桌臺支承體7。引導機構(gòu)15包含作為引導構(gòu)件的軌道15R與移動體15M。移動體15M安裝于軌道15R，藉由軌道15R，引導往軌道15R延伸方向的移動。藉由此種構(gòu)造，第2可動構(gòu)件14可往與桌臺3的支承面3P正交的方向移動。軌道15R安裝于桌臺支承體7 0
[0098]如圖6及圖8所示，桌臺支承體7包含第I構(gòu)件7A、第2構(gòu)件7B、與第3構(gòu)件7C。第I構(gòu)件7A配置在支承體6的第I側(cè)壁6SA側(cè)。第2構(gòu)件7B配置在支承體6的第2側(cè)壁6SB側(cè)。第3構(gòu)件7C，如圖8所示，將第I構(gòu)件7A的第I端部7AT1與第2構(gòu)件7B的第I端部7BT1加以連結(jié)。本實施形態(tài)中，第I構(gòu)件7A、第2構(gòu)件7B及第3構(gòu)件7C皆為板狀的構(gòu)件。第I構(gòu)件7A與第2構(gòu)件7B，板面彼此方向相對。
[0099]第I構(gòu)件7A、第2構(gòu)件7B及第3構(gòu)件7C，是配置在作為以檢測器4檢測通過被測定物S的穿透X線的區(qū)域的檢測區(qū)域DR外側(cè)。當以檢測器4為基準時，如圖6及圖7所示，第I構(gòu)件7A、第2構(gòu)件7B及第3構(gòu)件7C是配置在檢測器4的射入面4DP的外側(cè)。藉由此種構(gòu)造，桌臺支承體7，由于能避免與檢測區(qū)域DR的干涉，因此檢測裝置I的檢測區(qū)域DR，其整體能有效利用。關于檢測區(qū)域DR，留待后述。
[0100]本實施形態(tài)中，桌臺支承體7，是將第I構(gòu)件7A與第2構(gòu)件7B與第3構(gòu)件7C，例如以鑄造或鍛造等的制造方法制作成一體的構(gòu)造物。藉此種方式，能容易的制作桌臺支承體7。又，以前述制造方法制作成一體的構(gòu)造物的桌臺支承體7，與將第I構(gòu)件7A與第2構(gòu)件7B與第3構(gòu)件7C分別制作成不同的單個零件，并藉螺栓等連結(jié)構(gòu)件加以一體化的情形相較，能提高剛性及強度。又，桌臺支承體7，并不排除以鑄造或鍛造以外的制造方法制作。
[0101]本實施形態(tài)中，桌臺支承體7與前述支承體6同樣的，是以線膨脹系數(shù)小的材料(例如不變鋼)制作。關于線膨脹系數(shù)小的材料已如前述。藉由將桌臺支承體7以線膨脹系數(shù)小的材料制作，即使在以檢測裝置I進行被測定物S的形狀等的測量時，桌臺支承體7周圍的溫度上升，桌臺支承體7亦能抑制因溫度導致的尺寸變化。其結(jié)果，能將桌臺支承體7因熱膨脹導致的被測定物S的位置偏移抑制于最小限。因此，檢測裝置I能將被測定物S的形狀等測量精度的降低抑制于最小限。
[0102]2條軌道15R、15R中的I條，是安裝在桌臺支承體7的第I構(gòu)件7A的側(cè)部7AS1。另I條軌道15R則安裝于桌臺支承體7的第2構(gòu)件7B的側(cè)部7BS1。第I構(gòu)件7A的側(cè)部7AS1及第2構(gòu)件7B的側(cè)部7BS1，如圖7所示，是X線源2側(cè)的側(cè)部。2條軌道15R、15R，亦可以不是安裝在X線源2側(cè)的側(cè)部7ASU7BS1，而是如圖7所示的安裝在第I構(gòu)件7A的檢測器4側(cè)的側(cè)部7AS2與第2構(gòu)件7B的檢測器4側(cè)的側(cè)部7BS2。
[0103]安裝在第I構(gòu)件7A的軌道15R與安裝在第2構(gòu)件7B的軌道15R，配置成實質(zhì)平行。2條軌道15R、15R朝向Y軸方向延伸。第2可動構(gòu)件14，具備安裝在各軌道15R、15R而被引導的移動體15M、15M。藉由此種構(gòu)造，第2可動構(gòu)件14通過移動體15M、15M被軌道15R、15R引導，沿軌道15R、15R移動于Y軸方向。
[0104]如圖6所示，第2可動構(gòu)件14，是在其本身具有的螺帽中螺入螺旋軸20。螺旋軸20安裝在致動器21的輸出軸。致動器21及螺旋軸20是在與支承被檢測物S的桌臺3的支承面3P正交方向平行的使桌臺3移動的移動機構(gòu)。本實施形態(tài)中，致動器21為電動馬達。致動器21使螺旋軸20旋轉(zhuǎn)。螺旋軸20，是以桌臺支承體7、具體而言是藉由被桌臺支承體7的第I構(gòu)件7A支承的軸承22A、22B支承為可旋轉(zhuǎn)。本實施形態(tài)中，螺旋軸20，是以本身的軸線與Y軸實質(zhì)平行的方式被軸承22A、22B支承。
[0105]當致動器21旋轉(zhuǎn)時，螺旋軸20亦旋轉(zhuǎn)。由于螺旋軸20是螺入第2可動構(gòu)件14所具有的螺帽，因此當螺旋軸20旋轉(zhuǎn)時，第2可動構(gòu)件14即往Y軸方向移動。本實施形態(tài)中，在第2可動構(gòu)件14所具有的螺帽與螺旋軸20之間配置有滾珠。亦即，第2可動構(gòu)件14是藉由滾珠螺桿機構(gòu)往Y軸方向移動。此時，如前所述，2條軌道15R、15R引導第2可動構(gòu)件14往Y軸方向的移動。
[0106]桌臺支承體7具備多個(本實施形態(tài)中為2個)線性編碼器23A、23B。桌臺支承體7具備的線性編碼器23A、23B的數(shù)量并無限定，可以單數(shù)、亦可以是3個以上。第2可動構(gòu)件14的移動量(Y軸方向的位置)是以線性編碼器23A及線性編碼器23B中的至少一方加以檢測。線性編碼器23A，包含編碼器讀頭23AE與作為第I標尺的線性標尺23AS。線性編碼器23B，包含編碼器讀頭23BE與作為第2標尺的線性標尺23BS。線性標尺23AS安裝在桌臺支承體7的第I構(gòu)件7A的側(cè)部7AS1。線性標尺23BS安裝在桌臺支承體7的第2構(gòu)件7B的側(cè)部7BS1。線性標尺23AS亦能用于測量第I構(gòu)件7A的長度，而線性標尺23BS亦能用于測量第2構(gòu)件7B的長度。
[0107]編碼器讀頭23AE是在第2可動構(gòu)件14支承的基臺12，安裝在與安裝于第I構(gòu)件7A的線性標尺23AS相對的位置。編碼器讀頭23BE是在第2可動構(gòu)件14支承的基臺12，安裝在與安裝于第2構(gòu)件7B的線性標尺23BS相對的位置。線性編碼器23A、23B是測量基臺12及第2可動構(gòu)件14相對桌臺支承體7于Y軸方向的移動量。圖1所示的控制裝置9，例如是根據(jù)線性編碼器23A及線性編碼器23B中至少一方所測量的基臺12及第2可動構(gòu)件14的移動量，控制致動器21的動作，以控制基臺12及第2可動構(gòu)件14的移動量。亦即，控制裝置9是根據(jù)線性編碼器23A等所測量的基臺12及第2可動構(gòu)件14的移動量，控制桌臺3于Y軸方向的移動量。
[0108]本實施形態(tài)中，桌臺支承體7所具備的2個線性編碼器23A、23B中的至少一方，可測量桌臺支承體7的第I構(gòu)件7A及第2構(gòu)件7B中至少一方在Y軸方向的長度。此場合，線性標尺23AS是用于測量第I構(gòu)件7A的長度、具體而言是用于測量在Y軸方向的長度，而線性標尺23BS則是用于測量第2構(gòu)件7B的長度、具體而言是用于測量Y軸方向的長度。本實施形態(tài)中，在Y軸方向的長度，是指在與桌臺旋轉(zhuǎn)軸Yr平行方向的長度。
[0109]第I構(gòu)件7A及第2構(gòu)件7B于Y軸方向的長度，會因桌臺3支承的被測定物S的質(zhì)量而變化。因此，藉測量桌臺3支承有被測定物S時第I構(gòu)件7A及第2構(gòu)件7B中至少一方于Y軸方向的長度，即能測定被測定物S造成的第I構(gòu)件7A及第2構(gòu)件7B于Y軸方向的伸長(朝向支承體6的底部6B的伸長)?？刂蒲b置9使致動器21動作，以使桌臺3往與支承體6的底部6B相反方向移動2個線性編碼器23A、23B中至少一方所測量的前述伸長部分。藉由此方式，由于能修正因桌臺3支承的被測定物S的質(zhì)量引起的第I構(gòu)件7A及第2構(gòu)件7B于Y軸方向的伸長，因此可修正因被測定物S本身質(zhì)量引起的被測定物S于Y軸方向的位置的偏移，控制桌臺3于Y軸方向的位置。其結(jié)果，檢測裝置I可抑制被測定物S的形狀等的測量精度等的降低。
[0110]在測量第I構(gòu)件7A及第2構(gòu)件7B于Y軸方向的長度時，只要2個線性編碼器23A、23B中的一方測量第I構(gòu)件7A或第2構(gòu)件7B于Y軸方向的長度即可。在測量第I構(gòu)件7A及第2構(gòu)件7B于Y軸方向的長度時，藉由兩線性編碼器23A、23B的使用，可求出桌臺3繞Z軸的傾斜(桌臺3相對XY平面的傾斜)?？刂蒲b置9，藉由使用2個線性編碼器23A、23B的測量值，可更正確的求出因被測定物S本身質(zhì)量引起的被測定物S在Y軸方向的位置偏移，以控制桌臺3于Y軸方向的位置。其結(jié)果，檢測裝置I可抑制被測定物S的形狀等的測量精度等降低。
[0111]檢測基臺12于Y方向的位置以控制桌臺3于Y軸方向的位置的情形時，亦能藉由2個線性編碼器23A、23B雙方的使用，求出桌臺3繞Z軸的傾斜(桌臺3相對XY平面的傾斜)?？刂蒲b置9，藉由使用2個線性編碼器23A、23B的測量值，可更正確的求出因被測定物S本身質(zhì)量引起的被測定物S在Y軸方向的位置偏移，以控制桌臺3于Y軸方向的位置。其結(jié)果，控制裝置9更佳的精度控制被測定物S于Y軸方向的位置。如以上所述，檢測裝置1，最好是能于桌臺支承體7的第I構(gòu)件7A與第2構(gòu)件7B的各個具備線性編碼器23A、23B，由控制裝置9根據(jù)兩者的測量結(jié)果控制或修正桌臺3于Y軸方向的位置。
[0112]如圖6所示，桌臺支承體7是通過圖1所示的引導裝置5的一部分的第I引導裝置5A、與同引導裝置5的一部分的第2引導裝置5B，安裝并支承于支承體6。第I引導裝置5A，包含作為引導構(gòu)件的軌道5AR、與被引導于軌道5AR延伸方向的移動體5AM。第2引導裝置5B，包含作為引導構(gòu)件的軌道5BR、與被引導于軌道5BR延伸方向的移動體5BM。
[0113]桌臺支承體7，如圖8所示，在第I構(gòu)件7A的與第3構(gòu)件7C相反側(cè)的第2端部7AT2側(cè)具有第I突緣部7AF，在第2構(gòu)件7B的與第3構(gòu)件7C相反側(cè)的第2端部7BT2具有第2突緣部7BF。第I突緣部7AF從第I構(gòu)件7A的端部7AT2相對第2構(gòu)件7B朝向相反方向、且往X軸方向突出。第2突緣部7BF從第2構(gòu)件7B的端部7BT2相對第I構(gòu)件7A朝向相反方向、且往X軸方向突出。
[0114]將桌臺支承體7配置在支承體6的內(nèi)部空間6SP內(nèi)時，第I突緣部7AF突出至在與支承體6的底部6B相反側(cè)的第I側(cè)壁6SA的端面6SAT重疊的位置，第2突緣部7BF則突出至在與支承體6的底部6B相反側(cè)的第2側(cè)壁6SB的端面6SBT重疊的位置。第I側(cè)壁6SA的端面6SAT與支承體6的底部6B是由第I側(cè)壁6SA的壁部6SW加以連結(jié)。第2側(cè)壁6SB的端面6SBT與支承體6的底部6B是由第2側(cè)壁6SB的壁部6SW加以連結(jié)。壁部6SW，是從在底部6B的第I側(cè)壁6SA及第2側(cè)壁6SB側(cè)的作為面的底面6BI起，往實質(zhì)正交的方向立起。又，肋部6R則是從壁部6SW的壁面起，往與此壁面實質(zhì)正交的方向立起。
[0115]第I引導裝置5A的軌道5AR安裝在第I側(cè)壁6SA的端面6SAT。第2引導裝置5B的軌道5BR安裝在第2側(cè)壁6SB的端面6SBT。如圖6及圖7所示，第I側(cè)壁6SA的端面6SAT與第2側(cè)壁6SB的端面6SBT是夾著光軸Zr配置。亦即，第I側(cè)壁6SA的端面6SAT與第2側(cè)壁6SB的端面6SBT是配置在光軸Zr的兩側(cè)。因此，軌道5AR被安裝在第I側(cè)壁6SA的端面6SAT的第I引導裝置5A、與軌道5BR被安裝在第2側(cè)壁6SB的端面6SBT的第2引導裝置5B是配置在光軸Zr的兩側(cè)。又，如圖6所示，本實施形態(tài)中，第I引導裝置5A與第2引導裝置5B是配置在檢測區(qū)域DR的外側(cè)。
[0116]第I引導裝置5A配置在桌臺支承體7的第I突緣部7AF與第I側(cè)壁6SA的端面6SAT之間。第2引導裝置5B配置在桌臺支承體7的第2突緣部7BF與第2側(cè)壁6SB的端面6SBT之間。第I構(gòu)件7A及第2構(gòu)件7B，從第I引導裝置5A及第2引導裝置5B朝向檢測裝置I的設置側(cè)、亦即朝向支承體6的底部6B延伸。第3構(gòu)件7C將第I構(gòu)件7A及第2構(gòu)件7B的設置側(cè)、亦即支承體6的底部6B側(cè)加以連結(jié)。藉由此種構(gòu)造，桌臺支承體7，在第3構(gòu)件7C延伸的方向、亦即在從第I構(gòu)件7A朝向第2構(gòu)件7B的方向或其相反方向，于2處被支承于支承體6。亦即，桌臺支承體7是以兩臂構(gòu)造被安裝支承于支承體6。因此，桌臺支承體7，與以懸臂方式被支承于支承體6的情形相較，可減小對于荷重的撓曲。桌臺支承體7，為支承用以支承被測定物S的桌臺3，藉由減小對荷重的桌臺支承體7的撓曲，亦可減小被桌臺3支承的被測定物S的位置偏移。其結(jié)果，檢測裝置I能抑制檢測精度的降低。
[0117]第I引導裝置5A的軌道5AR是設置在與第I側(cè)壁6SA的壁部6SW重疊的位置。第2引導裝置5B的軌道5BR設置在與第2側(cè)壁6SB的壁部6SW重疊的位置。藉由此種構(gòu)造，從第I引導裝置5A的軌道5AR及第2引導裝置5B的軌道5BR傳至支承體6的桌臺支承體7及桌臺3等的荷重，會由第I側(cè)壁6SA及第2側(cè)壁6SB的壁部6SW承受而傳至支承體6的底部6B。檢測裝置I，由于在軌道5AR、5BR與底部6B之間存在壁部6SW，因此可使第I引導裝置5A及第2引導裝置5B于Y軸方向的位置偏移受到抑制。
[0118]如圖6所示，從底部6B的壁部6SW，肋部6R往與該壁面實質(zhì)正交的方向立起。本實施形態(tài)中，底部6B的肋部6R、與第I側(cè)壁6SA的壁部6SW及第2側(cè)壁6SB的壁部6SW，是隔著底部6B的壁部6SW設置在重疊的位置。藉由此種構(gòu)造，因從第I側(cè)壁6SA的壁部6SW及第2側(cè)壁6SB的壁部6SW傳至底部6B的壁部6SW的荷重引起的底部6B的壁部6