,樹脂層的去除性差。
[0090] 另外,堿濃度是指堿成分相對(duì)于堿水溶液總質(zhì)量的質(zhì)量比率(質(zhì)量% )。
[0091] 作為堿成分,可以使用公知的堿成分,例如可列舉出:碳酸鉀、碳酸鈉、碳酸氫鈉、 碳酸氫鉀、磷酸三鈉、磷酸三鉀、磷酸二鉀、硼酸鈉、硼酸鉀、四硼酸鈉(硼酸)、四硼酸鉀、氫 氧化鉀、氫氧化鈉、氫氧化鋰等堿金屬化合物。其中,從本發(fā)明的效果更優(yōu)異的方面來看,優(yōu) 選氫氧化鈉、氫氧化鉀、氫氧化鋰。
[0092] 堿水溶液中含有以下式(1)所示的化合物(二醇醚)。
[0093] RO-(LO)n-H 式(1)
[0094] 式⑴中,R表示烷基。對(duì)烷基的碳數(shù)沒有特別限制,從本發(fā)明的效果更優(yōu)異的方 面來看,優(yōu)選為1~10,更優(yōu)選為1~5,進(jìn)一步優(yōu)選為1~3。烷基可以是直鏈、支鏈、環(huán)狀 中的任一種。
[0095] L表示亞烷基。對(duì)亞烷基的碳數(shù)沒有特別限制,從本發(fā)明的效果更優(yōu)異的方面 來看,優(yōu)選為1~10,更優(yōu)選為1~5,進(jìn)一步優(yōu)選為1~3。更具體而言,優(yōu)選亞乙基 (-CH2-CH 2-)、二亞甲基(-CH2-CH2-CH2-)、亞丙基(-CH(CH 3)-CH2-)。
[0096] η表示1以上的整數(shù)。其中,從本發(fā)明的效果更優(yōu)異的方面來看,優(yōu)選為1~10, 更優(yōu)選為1~5,進(jìn)一步優(yōu)選為1~3。
[0097] 作為上述式(1)所示的化合物,例如可列舉出丙二醇單乙醚、二丙二醇單甲醚等。
[0098] 式(1)所示的化合物相對(duì)于堿水溶液總質(zhì)量的含量為3質(zhì)量%以上,從本發(fā)明的 效果更優(yōu)異的方面來看,優(yōu)選為4質(zhì)量%以上,更優(yōu)選為5質(zhì)量%以上。對(duì)上限沒有特別限 制,從效果飽和的方面來看,優(yōu)選為20質(zhì)量%以下。
[0099] 上述含量小于3質(zhì)量%時(shí),樹脂層的去除性差。
[0100] 堿水溶液中通常含有水作為溶劑。
[0101] 此外,在不損害本發(fā)明的效果的范圍內(nèi),堿水溶液中可以含有有機(jī)溶劑、其他添加 劑。
[0102] (工序的步驟)
[0103] 本工序使堿水溶液與上述樹脂層接觸,去除樹脂層。
[0104] 對(duì)堿水溶液與樹脂層的接觸方法沒有特別限制,例如可列舉出將含有樹脂層的復(fù) 合體浸漬在堿水溶液中的方法、在樹脂層上涂布?jí)A水溶液的方法。
[0105] 對(duì)堿水溶液與樹脂層的接觸時(shí)間沒有特別限制,從本發(fā)明的效果更優(yōu)異的方面來 看,優(yōu)選為〇. 1小時(shí)以上,更優(yōu)選為〇. 5小時(shí)以上,進(jìn)一步優(yōu)選為0. 6小時(shí)以上。對(duì)上限沒 有特別限制,從生產(chǎn)率的方面來看,優(yōu)選為30小時(shí)以下,更優(yōu)選為24小時(shí)以下。
[0106] 對(duì)與樹脂層接觸時(shí)的堿水溶液的溫度沒有特別限制,從本發(fā)明的效果更優(yōu)異的方 面和水溶液的穩(wěn)定性的方面來看,優(yōu)選為5~50°C,更優(yōu)選為10~40°C。
[0107] 需要說明的是,使堿水溶液與樹脂層接觸后,可以根據(jù)需要而用水清洗去除樹脂 層。
[0108] 此外,可以根據(jù)需要而對(duì)去除了樹脂層的玻璃基板的表面實(shí)施研磨處理。作為研 磨處理的方法,可以實(shí)施公知的方法。
[0109] 通過實(shí)施上述工序,能夠去除配置在玻璃基板上的樹脂層,能夠制造玻璃基板。
[0110] 可以在所得玻璃基板上再次形成樹脂層,也可以作為玻璃基板使用。
[0111] [實(shí)施例]
[0112] 以下給出本發(fā)明的具體實(shí)施例進(jìn)一步對(duì)本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)說明。
[0113] 〈復(fù)合體的制造〉
[0114] 用t旲涂法將在兩末端具有乙烯基的直鏈狀有機(jī)鏈烯基聚硅氧烷(乙烯基有機(jī)娃、 荒川化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社制造、ASA-V01)、分子內(nèi)具有硅氫基的甲基氫聚硅氧烷(荒川化學(xué) 工業(yè)株式會(huì)社制造、ASA-X01)、鉑系催化劑(荒川化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社制造、ASA-C01)以及IP Solvent 2028(出光興產(chǎn)株式會(huì)社制造)的混合液涂覆在玻璃基板(長(zhǎng)240mm、寬240mm、板 厚0. 5mm、線膨脹系數(shù)38 X 10 7/°C、旭硝子株式會(huì)社制造商品名"AN100")上,在玻璃基板 上設(shè)置含有未固化的固化性有機(jī)硅的層。在此,直鏈狀有機(jī)鏈烯基聚硅氧烷與甲基氫聚硅 氧烷的混合比調(diào)節(jié)至乙烯基與硅氫基的摩爾比為1:1。此外,相對(duì)于直鏈狀有機(jī)鏈烯基聚 硅氧烷與甲基氫聚硅氧烷的總和100質(zhì)量份,鉑系催化劑采用4質(zhì)量份。此外,IP Solvent 2028調(diào)節(jié)至溶液固體成分濃度為40重量%。
[0115] 接著,將其在大氣中以250°C加熱干燥固化20分鐘,在玻璃基板上得到厚度8 μπι 的有機(jī)硅樹脂層。
[0116] 〈實(shí)施例1>
[0117] 制備含有氫氧化鉀(KOH)和丙二醇單乙醚且KOH濃度(Κ0Η相對(duì)于堿水溶液總質(zhì) 量的濃度)為20質(zhì)量%、丙二醇單乙醚濃度(丙二醇單乙醚相對(duì)于堿水溶液總質(zhì)量的濃 度)為5質(zhì)量%的堿水溶液。
[0118] 在所得堿水溶液(25°C )中將配置有上述有機(jī)硅樹脂層的玻璃基板浸漬40分鐘。 浸漬后,取出玻璃基板時(shí),有機(jī)硅樹脂層已被去除。
[0119] 〈實(shí)施例2>
[0120] 將浸漬時(shí)間從40分鐘變更為60分鐘,除此之外按照與實(shí)施例1同樣的步驟進(jìn)行, 結(jié)果有機(jī)硅樹脂層被從玻璃基板去除。
[0121] 〈實(shí)施例3>
[0122] 將浸漬時(shí)間從40分鐘變更為17小時(shí),除此之外按照與實(shí)施例1同樣的步驟進(jìn)行, 結(jié)果有機(jī)硅樹脂層被從玻璃基板去除。
[0123] 〈實(shí)施例4>
[0124] 制備含有氫氧化鉀(KOH)和二丙二醇單甲醚且KOH濃度(Κ0Η相對(duì)于堿水溶液總 質(zhì)量的濃度)為20質(zhì)量%、二丙二醇單甲醚濃度(二丙二醇單甲醚相對(duì)于堿水溶液總質(zhì)量 的濃度)為5質(zhì)量%的堿水溶液。
[0125] 在所得堿水溶液(25°C )中將配置有上述有機(jī)硅樹脂層的玻璃基板浸漬80分鐘。 浸漬后,取出玻璃基板時(shí),有機(jī)硅樹脂層已被去除。
[0126] 〈實(shí)施例5>
[0127] 將浸漬時(shí)間從80分鐘變更為4小時(shí),除此之外按照與實(shí)施例4同樣的步驟進(jìn)行, 結(jié)果有機(jī)硅樹脂層被從玻璃基板去除。
[0128] 〈比較例1>
[0129] 未在堿水溶液中使用丙二醇單乙醚,除此之外按照與實(shí)施例1同樣的步驟進(jìn)行, 結(jié)果未能去除有機(jī)硅樹脂層。
[0130] 〈比較例2>
[0131] 將KOH濃度從20質(zhì)量%變更為10質(zhì)量%,除此之外按照與實(shí)施例1同樣的步驟 進(jìn)行,結(jié)果未能去除有機(jī)硅樹脂層。
[0132] 本申請(qǐng)基于2014年4月30日提交的日本特許出愿2014-093947,其內(nèi)容在此作為 參考而并入。
【主權(quán)項(xiàng)】
1. 一種樹脂層的去除方法,其去除配置在玻璃基板上的樹脂層,具有如下工序: 使堿濃度為15質(zhì)量%以上且含有3質(zhì)量%以上式(1)所示的化合物的堿水溶液與所 述樹脂層接觸,去除所述樹脂層, RO-(LO)n-H 式(1) 式(1)中,R表示烷基,L表示亞烷基,n表示1以上的整數(shù)。2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的樹脂層的去除方法,其中,所述樹脂層為有機(jī)硅樹脂層。3. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的樹脂層的去除方法,其中,所述式(1)中的L為三亞甲 基、亞丙基或亞乙基,n為1~3的整數(shù)。4. 根據(jù)權(quán)利要求1~3中任一項(xiàng)所述的樹脂層的去除方法,其中,所述式(1)所示的化 合物為丙二醇單乙醚或二丙二醇單甲醚。5. 根據(jù)權(quán)利要求1~4中任一項(xiàng)所述的樹脂層的去除方法,其中,所述堿濃度為18質(zhì) 量%以上。6. 根據(jù)權(quán)利要求1~5中任一項(xiàng)所述的樹脂層的去除方法,其中,所述樹脂層的厚度為 0? 1 ~100 U m〇7. 根據(jù)權(quán)利要求1~6中任一項(xiàng)所述的樹脂層的去除方法,其中,所述堿水溶液中含有 選自由氫氧化鈉、氫氧化鉀和氫氧化鋰組成的組中的至少1種。8. 根據(jù)權(quán)利要求1~7中任一項(xiàng)所述的樹脂層的去除方法,其中,所述堿水溶液的溫度 為5~50°C。9. 根據(jù)權(quán)利要求1~8中任一項(xiàng)所述的樹脂層的去除方法,其中,所述堿水溶液與所述 樹脂層的接觸時(shí)間為〇. 1~24小時(shí)。10. 根據(jù)權(quán)利要求1~9中任一項(xiàng)所述的樹脂層的去除方法,其用于去除具有玻璃基板 與樹脂層的復(fù)合體中的所述樹脂層,所述復(fù)合體是如下而得到的:從依次具有所述玻璃基 板、所述樹脂層、薄板玻璃基板和電子設(shè)備用部件的層疊體,將所述樹脂層與所述薄板玻璃 基板的界面作為剝離面分離而得到。11. 一種玻璃基板的制造方法,其實(shí)施權(quán)利要求1~10中任一項(xiàng)所述的樹脂層的去除 方法而制造玻璃基板。
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種樹脂層的去除方法,其去除配置在玻璃基板上的樹脂層,具有如下工序:使堿濃度為15質(zhì)量%以上且含有3質(zhì)量%以上式(1)所示的化合物的堿水溶液與樹脂層接觸,去除樹脂層,RO-(LO)n-H???式(1),式(1)中,R表示烷基,L表示亞烷基,n表示1以上的整數(shù)。
【IPC分類】B08B11/04
【公開號(hào)】CN105032874
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201510220079
【發(fā)明人】照井弘敏, 石川智章, 橫山哲史, 山內(nèi)優(yōu)
【申請(qǐng)人】旭硝子株式會(huì)社
【公開日】2015年11月11日
【申請(qǐng)日】2015年4月30日