以抑制配置在樹(shù)脂層上的薄板玻璃基板產(chǎn)生變形缺陷。此外，樹(shù)脂層的厚 度過(guò)厚時(shí)，由于形成需要耗費(fèi)時(shí)間和材料而不經(jīng)濟(jì)，有時(shí)耐熱性會(huì)降低。
[0052] 對(duì)構(gòu)成樹(shù)脂層的樹(shù)脂的種類沒(méi)有特別限制，例如可列舉出：丙烯酸類樹(shù)脂、聚烯烴 樹(shù)脂、聚氨酯樹(shù)脂和有機(jī)硅樹(shù)脂。其中，從耐熱性和剝離性的方面來(lái)看，優(yōu)選有機(jī)硅樹(shù)脂。 即，優(yōu)選樹(shù)脂層為有機(jī)硅樹(shù)脂層（含有有機(jī)硅樹(shù)脂的層）。
[0053] 有機(jī)硅樹(shù)脂層中含有的有機(jī)硅樹(shù)脂優(yōu)選為交聯(lián)性有機(jī)聚硅氧烷（固化性有機(jī)硅） 的交聯(lián)物，該有機(jī)硅樹(shù)脂優(yōu)選形成了三維網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)。
[0054] 對(duì)交聯(lián)性有機(jī)聚硅氧烷的種類沒(méi)有特別限制，只要是通過(guò)規(guī)定的交聯(lián)反應(yīng)進(jìn)行交 聯(lián)固化而形成構(gòu)成有機(jī)硅樹(shù)脂的交聯(lián)物（固化物），就對(duì)其結(jié)構(gòu)沒(méi)有特別限定，具有規(guī)定的 交聯(lián)性即可。對(duì)交聯(lián)的形式?jīng)]有特別限制，可以根據(jù)交聯(lián)性有機(jī)聚硅氧烷中含有的交聯(lián)性 基團(tuán)的種類而采用適當(dāng)公知的形式。例如可列舉出：硅氫化反應(yīng)、縮合反應(yīng)、或者利用加熱 處理、高能量射線處理或自由基聚合引發(fā)劑的自由基反應(yīng)等。
[0055] 更具體而言，交聯(lián)性有機(jī)聚硅氧烷具有鏈烯基或炔基等自由基反應(yīng)性基團(tuán)時(shí)，通 過(guò)利用上述自由基反應(yīng)的自由基反應(yīng)性基團(tuán)之間的反應(yīng)而交聯(lián)形成固化物（交聯(lián)有機(jī)硅 樹(shù)脂）。
[0056] 此外，交聯(lián)性有機(jī)聚硅氧烷具有硅烷醇基時(shí)，通過(guò)硅烷醇基之間的縮合反應(yīng)而交 聯(lián)形成固化物。
[0057] 進(jìn)而，交聯(lián)性有機(jī)聚硅氧烷含有具有與娃原子鍵合的鏈烯基（乙烯基等）的有機(jī) 聚硅氧烷（即有機(jī)鏈烯基聚硅氧烷）和具有與硅原子鍵合的氫原子（硅氫基）的有機(jī)聚硅 氧烷（即有機(jī)氫聚硅氧烷）時(shí)，在硅氫化催化劑（例如鉑系催化劑）的存在下通過(guò)硅氫化 反應(yīng)而交聯(lián)形成固化物。
[0058] 其中，從有機(jī)硅樹(shù)脂層的形成容易、剝離性更優(yōu)異的方面來(lái)看，優(yōu)選交聯(lián)性有機(jī)聚 硅氧烷含有在兩末端和/或側(cè)鏈具有鏈烯基的有機(jī)聚硅氧烷（以后也適當(dāng)稱為有機(jī)聚娃氧 烷A)和在兩末端和/或側(cè)鏈具有硅氫基的有機(jī)聚硅氧烷（以后也適當(dāng)稱為有機(jī)聚硅氧烷 B)的方案。
[0059] 另外，作為鏈烯基，沒(méi)有特別限定，例如可列舉出：乙烯基（ethenyl)、稀丙基 (2-丙烯基）、丁烯基、戊烯基、己炔基等，當(dāng)中從耐熱性優(yōu)異的方面來(lái)看，優(yōu)選乙烯基。
[0060] 此外，作為有機(jī)聚硅氧烷A中含有的鏈烯基以外的基團(tuán)和有機(jī)聚硅氧烷B中含有 的硅氫基以外的基團(tuán)，可列舉出烷基（特別是碳數(shù)4以下的烷基）。
[0061] 對(duì)有機(jī)聚硅氧烷A中的鏈烯基的位置沒(méi)有特別限制，有機(jī)聚硅氧烷A為直鏈狀時(shí)， 鏈烯基可以存在于下述所示的M單元和D單元中的任一者中，也可以存在于M單元和D單 元的兩者中。從固化速度的方面來(lái)看，優(yōu)選至少存在于M單元中，優(yōu)選存在于2個(gè)M單元的 兩者中。
[0062] 另外，M單元和D單元是指有機(jī)聚硅氧烷的基本構(gòu)成單元的例子，M單元是指鍵合 了 3個(gè)有機(jī)基團(tuán)的1官能性的硅氧烷單元，D單元是指鍵合了 2個(gè)有機(jī)基團(tuán)的2官能性的 硅氧烷單元。在硅氧烷單元中，硅氧烷鍵是2個(gè)硅原子通過(guò)1個(gè)氧原子鍵合的鍵，因此硅氧 烷鍵中的平均每個(gè)硅原子的氧原子視為1/2個(gè)，式中表達(dá)為0 1/2。
[0063] [化學(xué)式1]
[0064]
[0065] 對(duì)有機(jī)聚硅氧烷A中的鏈烯基的數(shù)量沒(méi)有特別限制，優(yōu)選1分子中具有1~3個(gè)， 更優(yōu)選具有2個(gè)。
[0066] 對(duì)有機(jī)聚硅氧烷B中的硅氫基的位置沒(méi)有特別限制，有機(jī)聚硅氧烷A為直鏈狀時(shí)， 硅氫基可以存在于M單元和D單元中的任一者中，也可以存在于M單元和D單元的兩者中。 從固化速度的方面來(lái)看，優(yōu)選至少存在于D單元中。
[0067] 對(duì)有機(jī)聚硅氧烷B中的硅氫基的數(shù)量沒(méi)有特別限制，優(yōu)選1分子中至少具有2個(gè)， 更優(yōu)選具有3個(gè)。
[0068] 對(duì)有機(jī)聚硅氧烷A與有機(jī)聚硅氧烷B的混合比率沒(méi)有特別限制，優(yōu)選調(diào)整至有機(jī) 聚硅氧烷B中的鍵合于硅原子的氫原子與有機(jī)聚硅氧烷A中的全部鏈烯基的摩爾比（氫原 子/鏈烯基）為0.7~1.05。其中，優(yōu)選將混合比率調(diào)整至0.8~1.0。
[0069] 作為硅氫化催化劑，優(yōu)選使用鉑族金屬系催化劑。作為鉑族金屬系催化劑，可列 舉出鉑系、鈀系、銠系等催化劑，特別是從經(jīng)濟(jì)性、反應(yīng)性的方面來(lái)看優(yōu)選使用鉑系催化劑。 作為鉑族金屬系催化劑，可以使用公知的物質(zhì)。具體而言，可列舉出：鉑微粉、鉑黑、氯亞鉑 (II )酸、氯鉑（IV)酸等氯鉑酸、四氯化鉑、氯化鉑酸的醇化合物、醛化合物、或者鉑的烯烴 絡(luò)合物、鏈烯基硅氧烷絡(luò)合物、羰基絡(luò)合物等。
[0070] 作為硅氫化催化劑的用量，相對(duì)于有機(jī)聚硅氧烷A與有機(jī)聚硅氧烷B的總質(zhì)量100 質(zhì)量份，優(yōu)選為〇. 1~20質(zhì)量份，更優(yōu)選為1~10質(zhì)量份。
[0071] 對(duì)交聯(lián)性有機(jī)聚硅氧烷的數(shù)均分子量沒(méi)有特別限制，從處理性優(yōu)異且成膜性也優(yōu) 異、可進(jìn)一步抑制高溫處理?xiàng)l件下的有機(jī)硅樹(shù)脂的分解的方面來(lái)看，基于GPC(凝膠滲透色 譜）測(cè)定的、聚苯乙烯換算的重均分子量?jī)?yōu)選為1，〇〇〇~5, 000, 000,更優(yōu)選為2, 000~ 3, 000, 000〇
[0072] 交聯(lián)性有機(jī)聚硅氧烷的粘度優(yōu)選為10~5000mPa *s，更優(yōu)選為15~3000mPa *s。 需要說(shuō)明的是，粘度的測(cè)定溫度為25°C。
[0073] 此外，作為交聯(lián)性有機(jī)聚硅氧烷的具體銷售的商品名或型號(hào)，作為不具有芳香 族基團(tuán)的交聯(lián)性有機(jī)聚硅氧烷，可列舉出：KNS-320A、KS-847(均為Shin-Etsu Silicone 制造），TPR6700(Momentive Performance Materials Japan LLC 制造），乙烯基有機(jī)娃 "8500"（荒川化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社制造）與甲基氫聚硅氧烷"12031"（荒川化學(xué)工業(yè)株式會(huì) 社制造）的組合，乙烯基有機(jī)硅"11364"（荒川化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社制造）與甲基氫聚硅氧烷 "12031"（荒川化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社制造）的組合，乙烯基有機(jī)硅"11365"（荒川化學(xué)工業(yè)株 式會(huì)社制造）與甲基氫聚硅氧烷"12031"（荒川化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社制造）的組合等。
[0074] 對(duì)樹(shù)脂層的形成方法沒(méi)有特別限制，可采用公知的方法。
[0075] 例如，形成有機(jī)娃樹(shù)脂層時(shí)，在玻璃基板的表面形成含有交聯(lián)性有機(jī)聚硅氧烷的 層，在玻璃基板表面上使交聯(lián)性有機(jī)聚硅氧烷交聯(lián)形成有機(jī)硅樹(shù)脂層。
[0076] 為了在玻璃基板上形成含有交聯(lián)性有機(jī)聚硅氧烷的層，優(yōu)選使用使交聯(lián)性有機(jī)聚 硅氧烷溶解于溶劑而得到的樹(shù)脂組合物，將該組合物涂布在玻璃基板上形成溶液的層，接 著去除溶劑形成含有交聯(lián)性有機(jī)聚硅氧烷的層。通過(guò)組合物中的交聯(lián)性有機(jī)聚硅氧烷濃度 的調(diào)整等，可以控制含有交聯(lián)性有機(jī)聚硅氧烷的層的厚度。
[0077] 作為溶劑，只要是能夠在作業(yè)環(huán)境下容易地溶解交聯(lián)性有機(jī)聚硅氧烷且能夠容易 地?fù)]發(fā)去除的溶劑即可，沒(méi)有特別限定。具體而言，例如可例示出：醋酸丁酯、庚烷、2-庚 酮、1-甲氧基-2-丙醇乙酸酯、甲苯、二甲苯、THF、氯仿等。
[0078] 對(duì)在玻璃基板表面上涂布含有交聯(lián)性有機(jī)聚硅氧烷的組合物的方法沒(méi)有特別限 定，可以使用公知的方法。例如可列舉出：噴涂法、模涂法、旋涂法、浸涂法、輥涂法、棒涂法、 絲網(wǎng)印刷法、凹版涂布法等。
[0079] 然后，可以根據(jù)需要而實(shí)施用于去除溶劑的干燥處理。對(duì)干燥處理的方法沒(méi)有特 別限制，例如可列舉出在減壓條件下去除溶劑的方法、在交聯(lián)性有機(jī)聚硅氧烷不會(huì)進(jìn)行固 化的溫度下加熱的方法等。
[0080] 接著，使玻璃基板上的交聯(lián)性有機(jī)聚硅氧烷交聯(lián)，形成有機(jī)硅樹(shù)脂層。固化（交 聯(lián)）的方法如上所述，可根據(jù)交聯(lián)性有機(jī)聚硅氧烷的交聯(lián)形式而適當(dāng)選擇最佳方法，例如 可列舉出加熱處理、曝光處理。其中，交聯(lián)性有機(jī)聚硅氧烷通過(guò)硅氫化反應(yīng)、縮合反應(yīng)、自由 基反應(yīng)進(jìn)行交聯(lián)時(shí)，優(yōu)選通過(guò)熱固化制造有機(jī)硅樹(shù)脂層。
[0081] 以下，對(duì)熱固化的方案進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。
[0082] 從有機(jī)硅樹(shù)脂層的耐熱性提高的觀點(diǎn)來(lái)看，使交聯(lián)性有機(jī)聚硅氧烷熱固化的溫度 條件優(yōu)選為150~300°C，更優(yōu)選為180~250°C。此外，加熱時(shí)間通常優(yōu)選為10~120分 鐘，更優(yōu)選為30~60分鐘。
[0083] 需要說(shuō)明的是，交聯(lián)性有機(jī)聚硅氧烷可以在進(jìn)行預(yù)固化（precuring)后進(jìn)行后固 化（主固化）來(lái)固化。通過(guò)進(jìn)行預(yù)固化，可以得到耐熱性更優(yōu)異的有機(jī)硅樹(shù)脂層。預(yù)固化 優(yōu)選接著溶劑的去除進(jìn)行，該情況下，從層中去除溶劑形成含有交聯(lián)性有機(jī)聚硅氧烷的層 的工序與進(jìn)行預(yù)固化的工序沒(méi)有特別區(qū)分。
[0084] 〈去除工序〉
[0085] 本發(fā)明的樹(shù)脂層的去除方法具有如下工序：使堿濃度為15質(zhì)量％以上且含有3質(zhì) 量％以上后述式（1)所示的化合物的堿水溶液與上述樹(shù)脂層接觸，去除樹(shù)脂層。通過(guò)實(shí)施 本工序，無(wú)需加熱便可以容易地去除樹(shù)脂層。
[0086] 以下，首先對(duì)本工序中使用的堿水溶液進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。
[0087](堿水溶液）
[0088] 堿水溶液的堿濃度為15質(zhì)量％以上，從樹(shù)脂層的去除性更優(yōu)異的方面（以后也簡(jiǎn) 稱為"本發(fā)明的效果更優(yōu)異的角度"）來(lái)看，優(yōu)選為18質(zhì)量％以上，更優(yōu)選為20質(zhì)量％以 上。對(duì)上限沒(méi)有特別限制，從效果飽和的方面來(lái)看，優(yōu)選為40質(zhì)量％以下。
[0089] 堿濃度小于15質(zhì)量％時(shí)