物品搬送車的制作方法
【技術領域】
[0001 ] 本發明涉及由支撐體懸掛支撐并搬送搬送物的物品搬送車。
【背景技術】
[0002]在日本公開專利公報特開2006-298535號(專利文獻I)中記載了懸掛支撐并搬送搬送物的物品搬送車的一個示例。該物品搬送車具備:行駛體，沿著行駛路徑行駛；支撐體，懸掛支撐搬送物；以及升降用驅動部，使支撐體相對于行駛體而升降。支撐體具備:升降部，由升降用驅動部升降；搬送物支撐部，支撐搬送物的被支撐部；以及支撐用驅動部，使搬送物支撐部在位于被支撐部的正下方的支撐用位置和從被支撐部的正下方的位置退避的退避用位置移動。另外，在支撐體，具備將搬送物支撐部在支撐用位置和退避用位置移動自由地引導支撐的引導支撐體，在搬送物支撐部的上面，具備沿上下方向彈性變形自由的緩沖體。
[0003]配備于搬送物支撐部的上面的緩沖體擋住支撐對象的搬送物的負荷。S卩，在專利文獻I的物品搬送車中，使緩沖體介于搬送物支撐部與搬送物的被支撐部之間，由此，在行駛體行駛時和升降部升降時，使傳遞至搬送物的振動降低。可是，在搬送物支撐部的上面，具備這樣的緩沖體，由此搬送物支撐部沿上下方向變厚。因此，在為了由搬送物支撐部支撐搬送物的被支撐部而使搬送物支撐部從退避用位置移動至支撐用位置時，搬送物支撐部容易與搬送物的被支撐部干涉。
[0004]在先技術文獻
專利文獻1:日本特開2006-298535號公報。
【發明內容】
[0005]發明要解決的課題
于是，尋求能夠在行駛體行駛時和升降部升降時降低傳遞至搬送物的振動且同時搬送物支撐部難以與搬送物的被支撐部干涉的物品搬送車。
[0006]用于解決課題的方案
鑒于上述的物品搬送車，作為一個方式，具備:
行駛體，沿著行駛路徑行駛；
支撐體，懸掛支撐搬送物；以及升降用驅動部，使所述支撐體相對于所述行駛體升降，
在此，所述支撐體具備:
升降部，由所述升降用驅動部升降；
搬送物支撐部，支撐所述搬送物的被支撐部；以及
支撐用驅動部，使所述搬送物支撐部在支撐用位置與退避用位置之間移動，
所述支撐用位置是所述搬送物支撐部存在于所述被支撐部的正下方的位置，
所述退避用位置是使所述搬送物支撐部從所述被支撐部的正下方退避的位置， 所述支撐體還具備:
引導支撐部，支撐所述搬送物支撐部，并且在所述支撐用位置和所述退避用位置移動自由地引導所述搬送物支撐部；和
緩沖體，配置于所述升降部與所述引導支撐部之間，承受包括所述搬送物支撐部的負荷的所述引導支撐部的負荷，并且沿上下方向彈性變形自由。
[0007]依據該構成，由于緩沖體位于支撐搬送物支撐部的引導支撐部與升降部之間，因而通過由緩沖體來吸收行駛體行駛時的升降部的振動和升降部升降時的升降部的振動，從而能夠抑制傳遞至由搬送物支撐部支撐的搬送物的振動。另外，例如像專利文獻I那樣，緩沖體不是配備于搬送物支撐部的上面，而是配備于升降部與引導支撐部之間。結果，與在搬送物支撐部的上面具備緩沖體的情況相比，能夠使搬送物支撐部沿上下方向較薄地形成。因此，在為了由搬送物支撐部支撐搬送物的被支撐部而使搬送物支撐部從退避用位置移動至支撐用位置時，能夠使搬送物支撐部難以與搬送物的被支撐部干涉。即，通過在升降部與引導支撐部之間以承受引導支撐部的負荷的狀態配備緩沖體，從而能夠抑制在行駛體行駛時和升降部升降時傳遞至搬送物的振動，同時能夠使搬送物支撐部難以與搬送物的被支撐部干涉。
[0008]根據對參照附圖而說明的實施方式的以下記載，物品搬送設備的進一步的特征和優點變得明白。
【附圖說明】
[0009]圖1是物品搬送設備的側面圖。
[0010]圖2是頂棚搬送車的側面圖。
[0011]圖3是一對搬送物支撐部位于支撐用位置的支撐機構的縱截側面圖。
[0012]圖4是一對搬送物支撐部位于退避用位置的支撐機構的縱截側面圖。
[0013]圖5是支撐機構的俯視圖。
[0014]符號說明:
I頂棚搬送車(物品搬送車)
6搬送物
9被支撐部
16行駛移動部(行駛體)
23支撐機構(支撐體)
29升降用電動機(升降用驅動部)
31升降體(升降部)
32搬送物支撐部
33支撐用電動機(支撐用驅動部)
35引導支撐部 36緩沖體 37水平限制體 44承載部分 45被承載部分。
【具體實施方式】
[0015]以下，基于附圖而說明將物品搬送車適用于物品搬送設備的情況的實施方式。如圖1所示，在物品搬送設備，設置有:頂棚搬送車1，由沿著移動路徑配設于頂棚側的行駛軌道2引導支撐，作為沿著移動路徑行駛自由的物品搬送車；處理裝置3，對容納于搬送物6的基板進行處理；以及支撐臺4，以與該處理裝置3鄰接的狀態設置于地面上。由頂棚搬送車I搬送的搬送物6是將容納物容納的搬送容器，具體而言，是作為容納物而容納多個半導體基板的FOUP (Front Opening Unified Pod，前開式統集盒)。
[0016][搬送物]
如圖3所示，在搬送物6，具備容納多塊基板的本體部7、比該本體部7更位于上方并配備于搬送物6的上端部的被支撐部9 (凸緣部)、將本體部7和被支撐部9聯接的聯接部8、以及將形成于本體部7的前面的基板出入用的開口關閉的裝卸自由的蓋體(未圖示)。被支撐部9以從聯接部8沿容器前后方向和容器左右方向突出的形狀形成。而且，在本體部7的上面與被支撐部9的下面之間，形成有插入用空間12 (搬送物支撐部插入用空間)。插入用空間12形成于搬送物6中的被支撐部9的下方。該插入用空間12是后述的一對搬送物支撐部32沿容器左右方向插入的空間。
[0017][頂棚搬送車]
以下，說明頂棚搬送車I。在此，將沿著頂棚搬送車I的行駛方向的方向稱為前后方向X，并將在俯視時與該前后方向X正交的方向(與水平方向正交的方向)稱為左右方向Y而說明。另外，在升降支撐部17，搬送物6以其容器左右方向沿著頂棚搬送車I的前后方向X的狀態被支撐。因此，以下，假設搬送物6由升降支撐部17支撐的狀態，以搬送物6的容器左右方向作為前后方向X且以搬送物6的容器前后方向作為左右方向Y而說明。
[0018]如圖1和圖2所示，頂棚搬送車I具備如下部件而構成:行駛移動部16，在行駛軌道2上沿著移動路徑行駛；和升降支撐部17，以位于行駛軌道2的下方的方式懸掛支撐于行駛移動部16，而且升降移動自由地對支撐搬送物6的支撐機構23進行支撐。此外，行駛移動部16相當于沿著移動路徑移動的行駛體，支撐機構23相當于懸掛支撐搬送物6的支撐體。
[0019]如圖2所示，在行駛移動部16，設置有由行駛用電動機19旋轉驅動而在行駛軌道2的上面轉動的驅動輪20和抵接在行駛軌道2的側面的旋轉自由的引導輪21。由行駛用電動機19旋轉驅動驅動輪20，由行駛軌道2接觸引導引導輪21，由此，行駛移動部16沿著移動路徑行駛。
[0020]升降支撐部17具備:上述的支撐機構23，懸掛支撐搬送物6 ;升降操作機構24，使支撐機構23升降；罩部25，覆蓋由支撐機構23支撐并位于支撐用高度的搬送物6 (參照圖
2和圖3)的上方側和前后方向X的兩側；以及防落下體26，防止由支撐機構23支撐在支撐用高度處的搬送物6的落下。
[0021]升降操作機構24具備:卷繞體28，將聯接支撐支撐機構23的纏繞帶24a卷繞于前端部；和升降用電動機29，旋轉驅動卷繞體28。通過升降用電動機29沿正方向或反方向旋轉驅動卷繞體28，將纏繞帶24a纏繞或陸續放出，由此，支撐機構23相對于行駛移動部16而升降移動。此外，升