技術總結
本實用新型涉及一種電容式麥克風芯片，包括具有背腔的襯底，在所述襯底上設有位于背腔上方的背極、振膜；其中，所述振膜通過彈性部支撐在所述襯底上，該彈性部沿著與振膜垂直的方向延伸；所述背極、振膜之間具有間隙，二者構成了電容結構。本實用新型的電容式麥克風芯片，通過彈性部在豎直方向上將振膜支撐起來，在腐蝕犧牲層釋放振膜的時候可以減小振膜的膜內應力；通過該彈性部還提高了振膜在豎直方向上的振動能力，從而提高了產品的靈敏度；通過設置的彈性部，還可以減少外界氣壓對振膜的沖擊力，提高了振膜抗吹氣的能力。
技術研發人員：解士翔
受保護的技術使用者：歌爾股份有限公司
文檔號碼：201620450092
技術研發日：2016.05.17
技術公布日：2016.11.30