，有效地降低了設備成本。
[0032]較佳地，請繼續參考圖1和圖2，所述龍門架200包括兩個立柱210、兩個Y向滑軌220、第一滑塊230、X向滑軌240、第二滑塊250、Z向滑軌260以及第三滑塊270，所述兩個立柱210沿Y向固定設置于所述大理石100上，所述兩個Y向滑軌220分別固定于兩個立柱210上，所述第一滑塊230架設于所述兩個Y向滑軌220上，并能夠沿Y向滑動;所述X向滑軌240固定于所述第一滑塊230上，所述第二滑塊240安裝于所述X向滑軌240上，并能夠沿X向滑動;所述Z向滑軌260固定于所述第二滑塊250上，所述第三滑塊270安裝于所述Z向滑軌260上，并能夠沿Z向滑動;所述激光頭固定安裝于所述第三滑塊270上。本實用新型利用龍門架200帶動激光頭進行X、Y、Z向的運動，配合基板臺300的Rz向運動，以實現調焦和對準功能。
[0033]較佳地，所述第一滑塊230、第二滑塊250和第三滑塊270的運動均采用無刷直線電機驅動，定位精度為± 5um，重復定位精度為± Ium，進一步提高定位精度。
[0034]較佳地，請繼續參考圖1和圖2，所述基板臺300包括基板吸盤310和Rz軸旋轉電機320，所述Rz軸旋轉電機320的定子部分固定于所述大理石100上，所述Rz軸旋轉電機320的轉子部分與所述基板吸盤310固定連接，所述基板吸盤310在所述Rz軸旋轉電機320的帶動下相對于所述大理石旋轉，所述基板吸盤310對所述玻璃基板400進行吸附。
[0035]具體地，本實用新型中，龍門架200的X向、Y向以及基板臺300的Rz向耦合運動，實現對準功能;所述龍門架200的Z向運動實現調焦功能。
[0036]較佳地，請重點參考圖2，所述預定位機構包括三個定位銷331以及一個推壓機構332，所述定位銷331固定于所述基板吸盤310上，所述推壓機構332固定于所述大理石100上，具體地，其中兩個定位銷331設于所述玻璃基板400的第一邊處，另一個定位銷331設于與上述第一邊相鄰且垂直的第二邊處，所述推壓機構332設于與上述第一邊和第二邊組成的頂角相對的頂角處，換句話說，玻璃基板400的預定位由玻璃基板400的相鄰兩垂直邊和三個定位銷331共同完成，再利用推壓機構332推動玻璃基板400與三個定位銷331可靠接觸，實現玻璃基板400的預定位，該預定位機構結構簡單，定位精度高，使用壽命長。
[0037]實施例二
[0038]請重點參考圖3，本實施例與實施例一的區別在于:所述定位銷331上還設有一限位板334，所述限位板334位于所述玻璃基板400上方，起到導向約束作用，避免玻璃基板400彎曲變形;所述定位銷331與所述基板吸盤310之間還設有一軸承333，所述玻璃基板400與所述軸承400的外圈接觸，以實現定位功能。
[0039]綜上所述，本實用新型提供的一種激光封裝運動臺，包括大理石100、龍門架200以及用于承載玻璃基板400的基板臺300，其中，所述基板臺300安裝于所述大理石100上，并能夠相對于所述大理石10沿Rz向旋轉;所述基板臺300上設有預定位機構，所述預定位機構限定所述玻璃基板400在所述基板臺300上的位置;所述激光頭安裝于所述龍門架200上，所述龍門架200帶動所述激光頭沿X向、Y向和Z向滑動。本實用新型中，整合了運動軸，將基板臺300與龍門架200重復的運動自由度去掉，有效地降低了設備成本。預定位機構的結構簡單，簡化了影響定位精度的因素，有效的提高了預定位精度，延長了使用壽命。
[0040]顯然，本領域的技術人員可以對實用新型進行各種改動和變型而不脫離本實用新型的精神和范圍。這樣，倘若本實用新型的這些修改和變型屬于本實用新型權利要求及其等同技術的范圍之內，則本實用新型也意圖包括這些改動和變型在內。
【主權項】
1.一種激光封裝運動臺，其特征在于，包括大理石、龍門架以及用于承載玻璃基板的基板臺，其中， 所述基板臺安裝于所述大理石上，并能夠相對于所述大理石沿Rz向旋轉； 所述基板臺上設有預定位機構，所述預定位機構限定所述玻璃基板在所述基板臺上的位置； 激光頭安裝于所述龍門架上，所述龍門架帶動所述激光頭沿X向、￥向和Z向滑動。2.如權利要求1所述的激光封裝運動臺，其特征在于，所述龍門架包括兩個立柱、兩個Y向滑軌、第一滑塊、X向滑軌、第二滑塊、Z向滑軌以及第三滑塊，所述兩個立柱沿Y向固定設置于所述大理石上，所述兩個Y向滑軌分別固定于兩個立柱上，所述第一滑塊架設于所述兩個Y向滑軌上，并能夠沿Y向滑動;所述X向滑軌固定于所述第一滑塊上，所述第二滑塊安裝于所述X向滑軌上，并能夠沿X向滑動;所述Z向滑軌固定于所述第二滑塊上，所述第三滑塊安裝于所述Z向滑軌上，并能夠沿Z向滑動;所述激光頭固定安裝于所述第三滑塊上。3.如權利要求2所述的激光封裝運動臺，其特征在于，所述第一滑塊、第二滑塊和第三滑塊的運動均采用無刷直線電機驅動。4.如權利要求1所述的激光封裝運動臺，其特征在于，所述基板臺包括基板吸盤和Rz軸旋轉電機，所述Rz軸旋轉電機的定子部分固定于所述大理石上，所述Rz軸旋轉電機的轉子部分與所述基板吸盤固定連接。5.如權利要求4所述的激光封裝運動臺，其特征在于，所述預定位機構包括三個定位銷以及一個推壓機構，所述定位銷固定于所述基板吸盤上，所述推壓機構固定于所述大理石上。6.如權利要求5所述的激光封裝運動臺，其特征在于，其中兩個定位銷設于所述玻璃基板的第一邊處，另一個定位銷設于與上述第一邊相鄰且垂直的第二邊處，所述推壓機構設于與上述第一邊和第二邊組成的頂角相對的頂角處。7.如權利要求5所述的激光封裝運動臺，其特征在于，所述定位銷上還設有一限位板，所述限位板位于所述玻璃基板上方。8.如權利要求5所述的激光封裝運動臺，其特征在于，所述定位銷與所述基板吸盤之間還設有一軸承，所述玻璃基板與所述軸承的外圈接觸。
【專利摘要】本實用新型涉及一種激光封裝運動臺，包括大理石、龍門架以及用于承載玻璃基板的基板臺，其中，所述基板臺安裝于所述大理石上，并能夠相對于所述大理石沿Rz向旋轉；所述基板臺上設有預定位機構，所述預定位機構限定所述玻璃基板在所述基板臺上的位置；激光頭安裝于所述龍門架上，所述龍門架帶動所述激光頭沿X向、Y向和Z向滑動。本實用新型中，整合了運動軸，將基板臺與龍門架重復的運動自由度去掉，有效地降低了設備成本。預定位機構的結構簡單，簡化了影響定位精度的因素，有效的提高了預定位精度，延長了使用壽命。
【IPC分類】H01L51/56
【公開號】CN205282512
【申請號】CN201520972990
【發明人】梁德志, 葛軍鋒
【申請人】上海微電子裝備有限公司
【公開日】2016年6月1日
【申請日】2015年11月30日