一種激光封裝運動臺的制作方法
【技術領域】
[0001 ]本實用新型涉及激光封裝設備領域，尤其涉及一種激光封裝運動臺。
【背景技術】
[0002]有機發光二極管又稱為有機電激光顯示(Organic Light-Emitting D1de，OLED)，0LED是平板顯示和照明領域的一個重大發展方向，根據OLED的工藝需求，由于OLED芯片的壽命極易受到氧氣，水氣的影響，因此需要一道工藝將其封裝在密閉空間里，以隔離外部環境。要提高OLED的壽命，激光封裝是一個有前景的工藝手段，就需要相應的激光封裝設備用于完成激光封裝工藝。
[0003]運動臺是激光封裝設備的核心部分之一，現有設備中的運動臺，由龍門架運載激光頭進行X、Y、Z向的步進運動，由基板臺承載待封裝的玻璃基板，所述基板臺設有X、Y、Rz以及Z向運動，具備預定位、調焦、對準功能。其中，玻璃基板的預定位，是通過每邊各設兩個可移動的定位銷，同時向幾何中心運動實現;調焦功能，通過基板臺的Z軸機構的運動，配合龍門架上的視覺系統實現;對準功能，通過基板臺的X、Y、Rz機構的耦合運動，配合龍門架上的視覺系統實現。
[0004]但是現有設備中的運動臺，為實現激光封裝、調焦、對準功能設定的自由度有重復(即龍門架需要作X、Y、Z向運動，基板臺需要作X、Y、Rz以及Z向運動)，相應的運動控制系統多，成本難以降低;基板預定位機構的結構復雜，玻璃基板以X、Y向中心面為基準定位，影響定位精度的因素多，預定位精度難以提高。
【實用新型內容】
[0005]本實用新型提供一種激光封裝運動臺，以解決現有技術中運動自由度有重復，預定位機構復雜，玻璃基板參與定位的因素多，進而導致成本難以下降，玻璃基板預定位精度難以提尚等冋題。
[0006]為解決上述技術問題，本實用新型提供一種激光封裝運動臺，包括大理石、龍門架以及用于承載玻璃基板的基板臺，其中，
[0007]所述基板臺安裝于所述大理石上，并能夠相對于所述大理石沿Rz向旋轉；
[0008]所述基板臺上設有預定位機構，所述預定位機構限定所述玻璃基板在所述基板臺上的位置；
[0009]激光頭安裝于所述龍門架上，所述龍門架帶動所述激光頭沿X向、￥向和Z向滑動。
[0010]較佳地，所述龍門架包括兩個立柱、兩個Y向滑軌、第一滑塊、X向滑軌、第二滑塊、Z向滑軌以及第三滑塊，所述兩個立柱沿Y向固定設置于所述大理石上，所述兩個Y向滑軌分別固定于兩個立柱上，所述第一滑塊架設于所述兩個Y向滑軌上，并能夠沿Y向滑動;所述X向滑軌固定于所述第一滑塊上，所述第二滑塊安裝于所述X向滑軌上，并能夠沿X向滑動;所述Z向滑軌固定于所述第二滑塊上，所述第三滑塊安裝于所述Z向滑軌上，并能夠沿Z向滑動;所述激光頭固定安裝于所述第三滑塊上。
[0011]較佳地，所述第一滑塊、第二滑塊和第三滑塊的運動均采用無刷直線電機驅動。
[0012]較佳地，所述基板臺包括基板吸盤和Rz軸旋轉電機，所述Rz軸旋轉電機的定子部分固定于所述大理石上，所述Rz軸旋轉電機的轉子部分與所述基板吸盤固定連接。
[0013]較佳地，所述預定位機構包括三個定位銷以及一個推壓機構，所述定位銷固定于所述基板吸盤上，所述推壓機構固定于所述大理石上。
[0014]較佳地，其中兩個定位銷設于所述玻璃基板的第一邊處，另一個定位銷設于與上述第一邊相鄰且垂直的第二邊處，所述推壓機構設于與上述第一邊和第二邊組成的頂角相對的頂角處。
[0015]較佳地，所述定位銷上還設有一限位板，所述限位板位于所述玻璃基板上方。
[0016]較佳地，所述定位銷與所述基板吸盤之間還設有一軸承，所述玻璃基板與所述軸承的外圈接觸。
[0017]與現有技術相比，本實用新型提供的一種激光封裝運動臺具有如下優點:
[0018]1、本實用新型中，基板臺只進行Rz方向的運動，龍門架進行X、Y、Z方向的運動，將基板臺與龍門架重復的運動自由度去掉，有效地降低了設備成本；
[0019]2、現有技術中基板臺采用微動臺+Z軸機構，微動臺的X、Y行程為5mm，采用旋轉電機+連軸器+滾珠絲杠機構傳動，定位精度土 10um，重復定位精度土 lum; Z軸機構旋轉電機+連軸器+滾珠絲杠+直線導軌機構傳動，行程30mm，定位精度土 1um，重復定位精度土 5um ；而本實用新型的龍門架，X、Y、Z軸電機采用無刷直線電機驅動，定位精度為± 5um，重復定位精度為± Ium，將基板臺的X、Y、Z運動自由度改由龍門架實現，性能比現有技術有所提高；
[0020]3、現有技術中，基板預定位機構由8個壓輪分別向玻璃基板的中心相向運動以完成定位，結構上需4個壓輪驅動機構，影響定位精度的因素有4個壓輪驅動機構的運動精度、玻璃基板4個邊的輪廓精度以及玻璃基板標記的印刷精度;而本實用新型的預定位機構，由固定在基板吸盤上的定位銷和固定在大理石上的推壓機構組成，玻璃基板的預定位由玻璃基板相鄰兩垂直邊和定位銷共同完成，影響定位精度的因素有玻璃基板2個邊的輪廓精度和玻璃基板標記的印刷精度，結構簡單，提高了定位精度，延長了壽命。
【附圖說明】
[0021]圖1為本實用新型實施例一的激光封裝運動臺的結構示意圖；
[0022]圖2為圖1的俯視圖；
[0023]圖3為本實用新型實施例二的激光封裝運動臺中定位銷的結構示意圖。
[0024]圖中:100-大理石、200-龍門架、210-立柱、220-Y向滑軌、230-第一滑塊、240-X向滑軌、250-第二滑塊、260-Z向滑軌、270-第三滑塊、300-基板臺、310-基板吸盤、320-Rz軸旋轉電機、331-定位銷、332-推壓機構、333-軸承、334-限位板、400-玻璃基板。
【具體實施方式】
[0025]為了更詳盡的表述上述實用新型的技術方案，以下列舉出具體的實施例來證明技術效果;需要強調的是，這些實施例用于說明本實用新型而不限于限制本實用新型的范圍。
[0026]實施例一
[0027]本實用新型提供的一種激光封裝運動臺，如圖1和2所示，包括大理石100、龍門架200以及用于承載玻璃基板400的基板臺300，其中，
[0028]所述基板臺300安裝于所述大理石100上，并能夠相對于所述大理石100沿Rz向旋轉；
[0029]所述基板臺300上設有預定位機構，所述預定位機構限定所述玻璃基板400在所述基板臺300上的位置；
[0030]所述激光頭(未圖示)安裝于所述龍門架200上，所述龍門架200帶動所述激光頭沿X向、Y向和Z向滑動。
[0031]本實用新型中，整合了運動軸，將基板臺300與龍門架200重復的運動自由度去掉