靠近有機發光結構的側面的表面能，進而有利于無機層與有機層的結合，使得無機層和有機層之間具有較強的結合力，從而能夠有效地減少有機層和無機層的界面的水氧傳輸通道，進而能夠進一步提高隔絕水氧的能力。
[0116]圖10是圖5中步驟在有機發光結構之上形成封裝結構的另一種實現方式的流程示意圖。如圖10所示，步驟在有機發光結構之上形成封裝結構可以包括以下步驟:
[0117]步驟901、在有機發光結構之上形成第一無機層。
[0118]在有機發光結構之上形成第一無機層，該第一無機層用于隔絕水氧。需要說明的是，此處形成的第一無機層可以是封裝結構中的任意一層無機層。
[0119]步驟902、利用濺射工藝向第一無機層濺射金屬元素。
[0120]利用濺射工藝向第一無機層濺射金屬元素，金屬元素會嵌入第一無機層的表面，形成包括金屬元素和無機層材料的界面混合結構，此外，濺射工藝能夠增加第一無機層的表面缺陷，使得第一無機層的表面更加疏松，從而形成一個應力釋放的過渡區，該過渡區能夠分散應力，進而避免應力集中。
[0121]其中，濺射工藝的參數可以根據第一無機層的厚度和所要形成的界面混合結構的厚度來選定，使得既能濺射金屬元素，又不會損壞器件結構。優選地，濺射工藝的功率密度可以為1-100千瓦/平方米，氣壓可以為0.01-1帕，溫度可以小于200攝氏度。
[0122]需要說明的是，由于金屬元素是利用濺射工藝來制備的，因此，濺射形成的金屬元素可以形成金屬粒子結構或者金屬薄膜結構。
[0123]步驟903、在第一無機層上形成第一有機層。
[0124]由于步驟902中利用濺射工藝向第一無機層濺射金屬元素后，第一無機層的表面變得較粗糙，因此，此步驟903在第一無機層上形成第一有機層時，第一有機層和第一無機層的結合力會變大，能夠使得第一有機層和第一無機層的結合較好，進而使得封裝結構的封裝效果較好，即:制作的顯示面板具有較好的封裝效果。
[0125]優選地，濺射的金屬元素可以選擇反應活性較高的金屬，使得在第一無機層上形成第一有機層時，金屬元素能夠與第一有機層之間成鍵形成化學吸附，從而能夠使得第一有機層和第一無機層之間的結合力更大，從而使得第一有機層和第一無機層的結合更好，進而使得封裝結構的封裝效果更好，即:制作的顯示面板具有更好的封裝效果。
[0126]步驟904、利用蒸鍍工藝在第一有機層上蒸鍍金屬元素。
[0127]利用蒸鍍工藝在第一有機層的表面蒸鍍一層金屬元素。
[0128]需要說明的是，由于金屬元素是利用蒸鍍工藝來制備的，因此，蒸鍍形成的金屬元素可以形成金屬薄膜結構。
[0129]步驟905、在第一有機層上形成第二無機層。
[0130]由于步驟904中利用蒸鍍工藝在第一有機層上蒸鍍金屬元素后，金屬元素位于第一有機層的表面，因此，此步驟904在第一有機層上形成第二無機層時，位于第一有機層表面的金屬元素會嵌入第二無機層的表面內，能夠增加無機層的表面缺陷，使得無機層的表面更加疏松，形成一個應力分散的過渡區，從而避免應力集中，進而能夠避免無機層表面出現的裂紋穿過整個無機層引起整個無機層的斷裂，從而能夠提高封裝結構的封裝效果和隔絕水氧的能力，即:該顯示面板具有較好的封裝效果和較高的隔絕水氧的能力。
[0131]由于步驟904中利用蒸鍍工藝在第一有機層上蒸鍍金屬元素后，第一有機層的表面覆蓋一層金屬薄層，因此，此步驟905在第一有機層上形成第二無機層時，第二無機層和第一有機層的結合力會變大，能夠使得第二無機層和第一有機層的結合較好，進而使得封裝結構的封裝效果較好，即:制作的顯示面板具有較好的封裝效果。
[0132]優選地，蒸鍍的金屬元素可以選擇反應活性較高的金屬，使得在第一有機層上蒸鍍金屬元素后，金屬元素能夠與第一有機層之間成鍵形成化學吸附，再在第一有機層上形成第二無機層時，能夠使得第二無機層和第一有機層之間的結合力更大，從而使得第二無機層和第一有機層的結合更好，進而使得封裝結構的封裝效果更好，即:制作的顯示面板具有更好的封裝效果。
[0133]圖10示出的實現方式能夠制備本發明實施例圖4示出的顯示面板，該方法通過在有機發光結構之上形成第一無機層后，利用濺射工藝向第一無機層濺射金屬元素，再在第一無機層上形成第一有機層，再利用蒸鍍工藝在第一有機層上蒸鍍金屬元素，后在第一有機層上形成第二無機層，實現在無機層遠離有機發光結構的側面和靠近有機發光結構的側面嵌入金屬元素，能夠增加無機層的表面缺陷，使得無機層的表面更加疏松，形成一個應力分散的過渡區，從而避免應力集中，進而能夠避免無機層表面出現的裂紋穿過整個無機層引起整個無機層的斷裂，從而能夠提高封裝結構的封裝效果和隔絕水氧的能力，即:該顯示面板具有較好的封裝效果和較高的隔絕水氧的能力。另外，無機層遠離有機發光結構的側面濺射金屬元素時，導致無基層或者界面混合結構表面出現較多的懸掛鍵，從而能夠增大無機層遠離有機發光結構的側面和靠近有機發光結構的側面的表面能，進而有利于無機層與有機層的結合，使得無機層和有機層之間具有較強的結合力，從而能夠有效地減少有機層和無機層的界面的水氧傳輸通道，進而能夠進一步提高隔絕水氧的能力。
[0134]注意，上述僅為本發明的較佳實施例及所運用技術原理。本領域技術人員會理解，本發明不限于這里所述的特定實施例，對本領域技術人員來說能夠進行各種明顯的變化、重新調整和替代而不會脫離本發明的保護范圍。因此，雖然通過以上實施例對本發明進行了較為詳細的說明，但是本發明不僅僅限于以上實施例，在不脫離本發明構思的情況下，還可以包括更多其他等效實施例，而本發明的范圍由所附的權利要求范圍決定。
【主權項】
1.一種顯示面板，其特征在于，包括陣列基板和設置于所述陣列基板上的封裝結構，所述陣列基板與所述封裝結構之間設置有有機發光結構，所述封裝結構包括至少一層有機層和至少一層無機層構成的層疊結構，其中，至少一層所述無機層靠近所述有機層的至少一個側面濺射有金屬元素，形成包括所述金屬元素和無機層材料的界面混合結構。2.根據權利要求1所述的顯示面板，其特征在于，所述金屬元素嵌入所述無機層遠離所述有機發光結構的側面。3.根據權利要求1所述的顯示面板，其特征在于，所述金屬元素嵌入所述無機層靠近所述有機發光結構的側面。4.根據權利要求1所述的顯示面板，其特征在于，所述金屬元素的材料為鋁、鋅、鍺、鎳、鉭或鉬中的任意一種或至少兩種的組合。5.根據權利要求1所述的顯示面板，其特征在于，所述界面混合結構的厚度為1-10納米。6.一種顯示面板的制作方法，其特征在于，包括: 提供陣列基板； 在所述陣列基板之上形成有機發光結構； 在所述有機發光結構之上形成封裝結構，所述封裝結構包括至少一層有機層和至少一層無機層構成的層疊結構， 其中，至少一層所述無機層中靠近所述有機層的至少一個側面濺射有金屬元素，形成包括所述金屬元素和無機層材料的界面混合結構。7.根據權利要求6所述的顯示面板的制作方法，其特征在于，在所述有機發光結構之上形成封裝結構的步驟包括: 在所述有機發光結構之上形成無機層； 利用濺射工藝向所述無機層濺射金屬元素； 在所述無機層上形成有機層。8.根據權利要求6所述的顯示面板的制作方法，其特征在于，在所述有機發光結構之上形成封裝結構包括: 在所述有機發光結構之上形成有機層； 利用濺射工藝向所述有機層濺射金屬元素； 在所述有機層上形成無機層。9.根據權利要求6所述的顯示面板的制作方法，其特征在于，在所述有機發光結構之上形成封裝結構包括: 在所述有機發光結構之上形成有機層； 利用蒸鍍工藝在所述有機層上蒸鍍金屬元素； 在所述有機層上形成無機層。10.根據權利要求7或8所述的顯示面板的制作方法，其特征在于，所述濺射工藝的功率密度為1-100千瓦/平方米，氣壓為0.01-1帕，溫度小于200攝氏度。
【專利摘要】本發明公開了一種顯示面板及其制作方法，其中，該顯示面板包括陣列基板和設置于所述陣列基板上的封裝結構，所述陣列基板與所述封裝結構之間設置有有機發光結構，所述封裝結構包括至少一層有機層和至少一層無機層構成的層疊結構，其中，至少一層所述無機層靠近所述有機層的至少一個側面濺射有金屬元素，形成包括所述金屬元素和無機層材料的界面混合結構。本發明能夠提高封裝效果和隔絕水氧的能力。
【IPC分類】H01L27/32, H01L21/77
【公開號】CN105304685
【申請號】CN201510859278
【發明人】錢旭, 曹兆鏗
【申請人】上海天馬微電子有限公司, 天馬微電子股份有限公司
【公開日】2016年2月3日
【申請日】2015年11月30日