11，所述容置腔室11圍閉形成待等離子體工藝處理之晶圓10的收容空間，并在所述容置空間內之底部設置基座111，所述基座111上設置靜電夾具112，所述待等離子體工藝處理之晶圓10設置在所述靜電夾具112之異于所述基座111的一側；蓋體12，所述蓋體12設置在所述容置腔室11上，并在所述容置腔室11與所述蓋體12之間設置密封環(未圖示)，且所述蓋體12內設置循環水冷卻系統(未圖示)，所述蓋體12之異于所述容置腔室11的一側涂覆絕緣涂層(未圖示)；自動控溫裝置13，所述自動控溫裝置13進一步包括:溫度偵測器131，所述偵測器131用于偵測所述蓋體12之溫度；溫度控制器132，所述溫度控制器132接收來自所述溫度偵測器131之偵測信號，并根據所述偵測信號發出指令；報警裝置133，所述報警裝置133執行所述溫度控制器132之指令，發出警示信息，并停止所述自動控溫等離子體裝置I之工藝。
[0024]作為具體的實施方式，非限制性地，以電感耦合型等離子體裝置為例進行闡述。通常地，在所述蓋體12之異于所述容置腔室11 一側的感應天線14上施加射頻電流，從而在所述感應天線14周圍產生磁場，所述磁場的磁力線貫穿所述蓋體12，在容置腔室11內，位于所述待等離子體工藝處理之晶圓10的上方與所述蓋體12底部之間的反應區域產生感應電場，進而通過所述感應電場對導入所述容置腔室11內的反應氣體的分子或原子發生電離碰撞，從而在反應區域內形成反應氣體的等離子體對所述待等離子體工藝之晶圓10進行處理。
[0025]作為本領域技術人員，容易理解地，所述容置腔室11內產生的等離子體會在所述反應區域中高效地向四周擴散，則在長時間的處理過程中等離子體會轟擊所述蓋體12之底面，從而在所述蓋體12上蓄積熱量，所述熱量通過所述循環水冷卻系統轉移，同時所述自動控溫裝置13之溫度偵測器131實時偵測所述蓋體12之溫度。
[0026]其中，所述蓋體12之異于所述容置腔室11 一側的絕緣涂層所承受的溫度為150°C，所述反應區域的工藝溫度為600°C，且所述蓋體12在所述循環水冷卻系統的作用下進行降溫，將溫度降低至150°C以下。當所述循環水冷卻系統故障或錯接時，所述蓋體12之溫度大于預設安全溫度時，則可通過所述溫度控制器132停止所述自動控溫等離子體裝置I之工藝，而且可通過所述報警裝置133發出警示信息，便于及時停機檢查，增強運行的安全性。
[0027]綜上所述，本發明所述自動控溫等離子體裝置通過設置偵測所述蓋體之溫度的自動控溫裝置，不僅可以通過所述溫度偵測器實時進行溫度偵測，在所述偵測溫度大于預設安全溫度時，通過所述溫度控制器停止所述自動控溫等離子體裝置之工藝，而且可通過所述報警裝置發出警示信息，便于及時停機檢查。
[0028]本領域技術人員均應了解，在不脫離本發明的精神或范圍的情況下，可以對本發明進行各種修改和變型。因而，如果任何修改或變型落入所附權利要求書及等同物的保護范圍內時，認為本發明涵蓋這些修改和變型。
【主權項】
1.一種自動控溫等離子體裝置，其特征在于，所述自動控溫等離子體裝置，包括: 容置腔室，圍閉形成待等離子體工藝處理之晶圓的收容空間； 蓋體，設置在所述容置腔室上，并在所述容置腔室與所述蓋體之間設置密封環； 自動控溫裝置，進一步包括:溫度偵測器，用于偵測所述蓋體之溫度；溫度控制器，接收來自所述溫度偵測器之偵測信號，并根據所述偵測信號發出指令；報警裝置，執行所述溫度控制器之指令，發出警示信息，并停止所述自動控溫等離子體裝置之工藝。2.如權利要求1所述的自動控溫等離子體裝置，其特征在于，所述溫度偵測器為溫度傳感器。3.如權利要求1所述的自動控溫等離子體裝置，其特征在于，所述蓋體內設置循環水冷卻系統。4.如權利要求1所述的自動控溫等離子體裝置，其特征在于，所述蓋體之異于所述容置腔室的一側涂覆絕緣涂層。5.如權利要求4所述的自動控溫等離子體裝置，其特征在于，所述待等離子體工藝處理之晶圓的上方與所述蓋體底部之間的反應區域產生感應電場，在離子轟擊過程中形成高于所述絕緣涂層之承受溫度的工藝溫度。6.如權利要求5所述的自動控溫等離子體裝置，其特征在于，所述自動絕緣涂層之承受溫度為150°C。7.如權利要求6所述的自動控溫等離子體裝置，其特征在于，所述溫度偵測器之偵測溫度高于150°C時，所述溫度控制器發出指令，所述報警裝置發出警示信息，并停止所述自動控溫等離子體裝置之工藝。8.如權利要求1所述的自動控溫等離子體裝置，其特征在于，所述容置空間內之底部進一步設置基座，所述基座上設置靜電夾具，所述待等離子體工藝處理之晶圓設置在所述靜電夾具之異于所述基座的一側。
【專利摘要】一種自動控溫等離子體裝置，包括：容置腔室，圍閉形成待等離子體工藝處理之晶圓的收容空間；蓋體，設置在容置腔室上，并在容置腔室與蓋體之間設置密封環；自動控溫裝置，進一步包括：溫度偵測器，用于偵測蓋體之溫度；溫度控制器，接收來自溫度偵測器之偵測信號，并根據偵測信號發出指令；報警裝置，執行溫度控制器之指令，發出警示信息，并停止自動控溫等離子體裝置之工藝。本發明通過設置偵測蓋體之溫度的自動控溫裝置，不僅可以通過溫度偵測器實時進行溫度偵測，在偵測溫度大于預設安全溫度時，通過溫度控制器停止自動控溫等離子體裝置之工藝，而且可通過報警裝置發出警示信息，便于及時停機檢查。
【IPC分類】H01L21/67
【公開號】CN104966688
【申請號】CN201510373735
【發明人】劉濤, 金懿
【申請人】上海華力微電子有限公司
【公開日】2015年10月7日
【申請日】2015年6月30日