一種自動控溫等離子體裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及半導體制造技術領域，尤其涉及一種自動控溫等離子體裝置。
【背景技術】
[0002]目前，在半導體制造工藝中已廣泛實施以進行薄膜沉積或刻蝕等作為目的的等離子體處理。例如美國泛林半導體設備公司(LAM)的高密度等離子體機臺(High DensityPlasma)工藝是在真空腔體內的高溫環境下，通過對特定的工藝氣體在等離子體增強條件下在硅片表面進行化學氣相沉積形成薄膜。所述等離子體化學氣相沉積工藝的特點是成膜速度快、薄膜均勻性好、填動能力強。
[0003]在等離子體化學氣相沉積工藝中，為了形成密閉的真空環境，用于容置待工藝處理之晶圓的容置腔室的頂部設置頂蓋，并在所述頂蓋與所述容置腔室之接觸面處設置密封環，在泵抽單元的作用下進行抽真空。
[0004]但是，現有設置在容置腔室之頂部的頂蓋，其絕緣涂層的耐溫性能僅限于150°C以下，當所述頂蓋內的循環水冷卻系統出現故障或人為錯接時，所述容置腔室內高達600°C的工藝溫度勢必對頂蓋之絕緣涂層造成燙傷，導致不必要的安全事故和經濟損失。
[0005]尋求一種結構簡單、可自動控溫的等離子體裝置已成為本領域技術人員亟待解決的技術問題之一。
[0006]故針對現有技術存在的問題，本案設計人憑借從事此行業多年的經驗，積極研宄改良，于是有了本發明一種自動控溫等離子體裝置。
【發明內容】
[0007]本發明是針對現有技術中，傳統設置在容置腔室之頂部的頂蓋，其絕緣涂層的耐溫性能僅限于150°C以下，當所述頂蓋內的循環水冷卻系統出現故障或人為錯接時，所述容置腔室內高達600°C的工藝溫度勢必對頂蓋之絕緣涂層造成燙傷，導致不必要的安全事故和經濟損失等缺陷提供一種自動控溫等離子體裝置。
[0008]為實現本發明之目的，本發明提供一種自動控溫等離子體裝置，所述自動控溫等離子體裝置，包括:容置腔室，圍閉形成待等離子體工藝處理之晶圓的收容空間；蓋體，設置在所述容置腔室上，并在所述容置腔室與所述蓋體之間設置密封環；自動控溫裝置，進一步包括:溫度偵測器，用于偵測所述蓋體之溫度；溫度控制器，接收來自所述溫度偵測器之偵測信號，并根據所述偵測信號發出指令；報警裝置，執行所述溫度控制器之指令，發出警示信息，并停止所述自動控溫等離子體裝置之工藝。
[0009]可選地，所述溫度偵測器為溫度傳感器。
[0010]可選地，所述蓋體內設置循環水冷卻系統。
[0011 ] 可選地，所述蓋體之異于所述容置腔室的一側涂覆絕緣涂層。
[0012]可選地，所述待等離子體工藝處理之晶圓的上方與所述蓋體底部之間的反應區域產生感應電場，在離子轟擊過程中形成高于所述絕緣涂層之承受溫度的工藝溫度。
[0013]可選地，所述自動絕緣涂層之承受溫度為150°C。
[0014]可選地，所述溫度偵測器之偵測溫度高于150°C時，所述溫度控制器發出指令，所述報警裝置發出警示信息，并停止所述自動控溫等離子體裝置之工藝。
[0015]可選地，所述容置空間內之底部進一步設置基座，所述基座上設置靜電夾具，所述待等離子體工藝處理之晶圓設置在所述靜電夾具之異于所述基座的一側。
[0016]綜上所述，本發明所述自動控溫等離子體裝置通過設置偵測所述蓋體之溫度的自動控溫裝置，不僅可以通過所述溫度偵測器實時進行溫度偵測，在所述偵測溫度大于預設安全溫度時，通過所述溫度控制器停止所述自動控溫等離子體裝置之工藝，而且可通過所述報警裝置發出警示信息，便于及時停機檢查。
【附圖說明】
[0017]圖1所示為本發明自動控溫等離子體裝置的框架結構圖；
[0018]圖2所示為本發明自動控溫等離子體裝置的立體結構圖。
【具體實施方式】
[0019]為詳細說明本發明創造的技術內容、構造特征、所達成目的及功效，下面將結合實施例并配合附圖予以詳細說明。
[0020]請參閱圖1，圖1所示為本發明自動控溫等離子體裝置的框架結構圖。所述自動控溫等離子體裝置I，包括:容置腔室11，所述容置腔室11圍閉形成待等離子體工藝處理之晶圓(未圖示)的收容空間；蓋體12，所述蓋體12設置在所述容置腔室11上，并在所述容置腔室11與所述蓋體12之間設置密封環(未圖示)；自動控溫裝置13，所述自動控溫裝置13進一步包括:溫度偵測器131，所述偵測器131用于偵測所述蓋體12之溫度；溫度控制器132，所述溫度控制器132接收來自所述溫度偵測器131之偵測信號，并根據所述偵測信號發出指令；報警裝置133，所述報警裝置133執行所述溫度控制器132之指令，發出警示信息，并停止所述自動控溫等離子體裝置I之工藝。
[0021]顯然地，本發明所述自動控溫等離子體裝置I通過設置偵測所述蓋體12之溫度的自動控溫裝置13，不僅可以通過所述溫度偵測器131實時進行溫度偵測，在所述偵測溫度大于預設安全溫度時，通過所述溫度控制器132停止所述自動控溫等離子體裝置I之工藝，而且可通過所述報警裝置133發出警示信息，便于及時停機檢查。
[0022]為了更直觀的揭露本發明之技術方案，凸顯本發明之有益效果，現結合【具體實施方式】對所述自動控溫等離子體裝置的具體結構和工作原理進行闡述。在【具體實施方式】中，所述自動控溫等離子體裝置的具體結構僅為列舉，不應視為對本發明技術方案的限制。非限制性地，例如所述溫度偵測器為溫度傳感器。
[0023]請參閱圖2，并結合參閱圖1，圖2所示為本發明自動控溫等離子體裝置的立體結構圖。所述自動控溫等離子體裝置1，包括:容置腔室