1.一種陣列基板的制作方法,其特征在于,包括:
在襯底的一側表面依次覆蓋遮光材料層、第一絕緣層、半導體層和源漏金屬層,并利用第一半色調掩模板曝光顯影形成晶體管源極、晶體管漏極、有源層和遮光層,其中,所述晶體管源極和晶體管漏極位于所述源漏金屬層,所述有源層位于所述半導體層,所述遮光層位于所述遮光材料層;
在所述晶體管源極和晶體管漏極上覆蓋第二絕緣層,利用第二掩模板曝光顯影形成貫穿所述第二絕緣層的第一通孔,且所述第一通孔暴露所述晶體管漏極;
在所述第二絕緣層上依次覆蓋電極材料層和柵極金屬層,利用第三半色調掩模板曝光顯影形成晶體管柵極、像素電極和公共電極,其中,所述像素電極和所述公共電極在所述電極材料層交替排列,所述像素電極覆蓋所述第一通孔,所述像素電極通過所述第一通孔與所述晶體管漏極電連接。
2.根據權利要求1所述的制作方法,其特征在于,在利用所述第三半色調掩模板曝光顯影形成所述晶體管柵極、像素電極和公共電極的同時,在所述電極材料層形成輔助柵極,其中,所述晶體管柵極向所述襯底的正投影位于所述輔助柵極向所述襯底的正投影內,且所述晶體管柵極與所述輔助柵極相互電連接。
3.根據權利要求2所述的制作方法,其特征在于,所述陣列基板包括顯示區和用于設置封框膠的封框膠區,且所述封框膠區環繞所述顯示區;
所述晶體管柵極、像素電極和公共電極位于所述顯示區內。
4.根據權利要求2所述的制作方法,其特征在于,還包括:
在所述晶體管柵極、像素電極和公共電極上覆蓋保護層。
5.根據權利要求1所述的制作方法,其特征在于,在利用所述第一半色調掩模板曝光顯影形成所述晶體管源極、晶體管漏極、有源層和遮光層的同時,在所述源漏金屬層形成多條數據線,并且所述遮光層的圖案與所述數據線、晶體管源極和晶體管漏極相對應;
其中,每條所述數據線包括至少兩條并列排布的子數據線,同一條所述數據線中相鄰的所述子數據線之間通過與之對應的連接線電連接。
6.根據權利要求5所述的制作方法,其特征在于,在利用第二掩模板曝光顯影形成貫穿所述第二絕緣層的第一通孔的同時,形成貫穿所述第二絕緣層的第二通孔,且所述第二通孔暴露所述子數據線;
在利用所述第三半色調掩模板曝光顯影形成所述晶體管柵極、像素電極和公共電極的同時,形成位于所述電極材料層的多條所述連接線,其中,每條所述連接線的兩端覆蓋相鄰子數據線對應的兩個所述第二通孔,以使同一所述數據線中相鄰的所述子數據線之間通過所述連接線電連接。
7.根據權利要求6所述的制作方法,其特征在于,在利用所述第三半色調掩模板曝光顯影形成位于所述電極材料層的所述連接線的同時,形成位于所述柵極金屬層的多條第一走線,其中,各所述第一走線與所述連接線一一對應,各所述第一走線向所述襯底的正投影位于對應的所述連接線向所述襯底的正投影內,且各所述第一走線與對應的所述連接線相互電連接。
8.根據權利要求5所述的制作方法,其特征在于,在利用所述第一半色調掩模板曝光顯影形成所述晶體管源極、晶體管漏極、有源層和遮光層時,形成位于所述源漏金屬層的扇出引線,其中,所述扇出引線與數據線電連接,用于通過所述數據線為各所述像素電極提供數據信號。
9.根據權利要求5所述的制作方法,其特征在于,在利用所述第一半色調掩模板曝光顯影形成所述晶體管源極、晶體管漏極、有源層和遮光層的同時,形成位于所述源漏金屬層的第一扇出引線;
在利用所述第三半色調掩模板曝光顯影形成所述晶體管柵極、像素電極和公共電極的同時,形成位于所述柵極金屬層的第二扇出引線;
其中,所述第一扇出引線和第二扇出引線與所述數據線電連接,用于通過所述數據線為各所述像素電極提供數據信號。
10.一種陣列基板,其特征在于,包括:
襯底;
在所述襯底的一側表面沿第一方向依次設置的遮光層、第一絕緣層、有源層以及源漏極層,其中,所述源漏極層包括晶體管源極和晶體管漏極,所述第一方向與所述襯底的表面垂直;
在所述源漏極層上沿所述第一方向設置的第二絕緣層,所述第二絕緣層上形成有貫穿該第二絕緣層的第一通孔;
在所述第二絕緣層上沿所述第一方向依次設置的電極層和柵極層,其中,所述電極層包括交替排列的像素電極和公共電極,且所述像素電極通過所述第一通孔與所述晶體管漏極電連接,所述柵極層包括晶體管柵極。
11.根據權利要求10所述的陣列基板,其特征在于,所述陣列基板還包括輔助柵極,所述輔助柵極位于所述電極層,所述晶體管柵極向所述襯底的正投影位于所述輔助柵極向所述襯底的正投影內,所述輔助柵極與所述像素電極和所述公共電極電性絕緣,且所述輔助柵極與所述晶體管柵極相互電連接。
12.根據權利要求11所述的陣列基板,其特征在于,所述陣列基板包括顯示區和用于設置封框膠的封框膠區,且所述封框膠區環繞所述顯示區;
所述晶體管柵極、像素電極和公共電極位于所述顯示區內。
13.根據權利要求10所述的陣列基板,其特征在于,所述陣列基板還包括保護層,所述保護層覆蓋所述晶體管柵極、像素電極和公共電極。
14.根據權利要求10所述的陣列基板,其特征在于,所述陣列基板還包括:
多條數據線,每條所述數據線包括至少兩條并列排布的子數據線,且同一條數據線中相鄰的所述子數據線之間通過與之對應的連接線電連接,其中,所述子數據線位于所述源漏極層,所述連接線位于所述電極層;
第二通孔,所述第二通孔與所述子數據線對應,且所述第二通孔貫穿所述第二絕緣層,所述連接線的兩端覆蓋相鄰子數據線對應的兩個所述第二通孔,以使同一所述數據線中相鄰的所述子數據線通過所述連接線電連接。
15.根據權利要求14所述的陣列基板,其特征在于,所述陣列基板還包括與各所述連接線一一對應的第一走線,各所述第一走線位于所述柵極層,且所述第一走線向所述襯底的正投影位于對應的所述連接線向所述襯底的正投影內。
16.根據權利要求14所述的陣列基板,其特征在于,所述陣列基板還包括多條扇出引線,各所述扇出引線與所述數據線電連接,用于通過所述數據線為各所述像素電極提供數據信號,其中,所述多條扇出引線包括第一扇出引線和第二扇出引線;
所述第一扇出引線和所述第二扇出引線均位于所述源漏極層,或者所述第一扇出引線和第二扇出引線分別位于所述源漏極層和所述柵極層。
17.一種顯示面板,其特征在于,包括如權利要求10-16之一所述的陣列基板。