1.在線離子泵四極質譜系統的膜進樣裝置,其特征是,它包括:上壓蓋(1)、下壓蓋(5)、膜(3)、轉接頭(6)以及兩位三通電磁閥(7);
所述上壓蓋(1)的左右兩側分別設有與下端面相通的氣體通道,其中一條為進氣道(11),另一條為抽氣道(12);
所述下壓蓋(5)的上表面設有凹槽,并在中心處設有貫穿的通孔,在所述下壓蓋(5)的下表面設有所述轉接頭(6)的安裝孔;
所述膜(3)通過支撐襯網(2)設置在所述下壓蓋(5)的上表面,并由所述上壓蓋(1)壓緊,在所述上壓蓋(1)、所述下壓蓋(5)之間設有密封圈(4);所述轉接頭(6)安裝在所述下壓蓋(5)的下表面;
所述兩位三通電磁閥(7)上設有減壓微孔,所述兩位三通電磁閥(7)的常閉端與四極質譜系統連接,另外兩端分別與隔膜泵、所述轉接頭(6)連接。
2.如權利要求1所述的在線離子泵四極質譜系統的膜進樣裝置,其特征是,所述密封圈(4)采用硅橡膠材料。
3.如權利要求1或2所述的在線離子泵四極質譜系統的膜進樣裝置,其特征是,所述兩位三通電磁閥(7)通過細管(8)與所述轉接頭(6)連接。
4.如權利要求3所述的在線離子泵四極質譜系統的膜進樣裝置,其特征是,所述細管(8)為1/16不銹鋼管。