在線離子泵四極質譜系統的膜進樣裝置的制作方法

本實用新型屬于質譜系統分析技術領域，特別涉及一種質譜系統所用的膜進樣裝置。

背景技術：

目前，質譜系統所用的膜進樣裝置主要是針對由分子泵產生真空的飛行時間、離子阱等質譜系統上，并沒有專門針對離子泵產生真空的四級質譜系統的膜進樣裝置。由于離子泵是一個密閉模塊，采用離子泵產生真空的目的就是使儀器停止工作時也可以保持較高的真空環境，從而從很大程度上提升儀器的工作效率和壽命。同時，四極質譜系統工作時要保證較好的真空度，以保證正常工作并減少損耗，提高壽命。

技術實現要素：

本實用新型的目的是：提供一種具有富集效率高、響應速度快和保證真空系統不被破壞特點的專門針對用離子泵產生真空的在線四級質譜系統的膜進樣裝置。

本實用新型的技術方案是：在線離子泵四極質譜系統的膜進樣裝置，它包括：上壓蓋、下壓蓋、膜、轉接頭以及兩位三通電磁閥；

上壓蓋的左右兩側分別設有與下端面相通的氣體通道，其中一條為進氣道，另一條為抽氣道；

下壓蓋的上表面設有凹槽，并在中心處設有貫穿的通孔，在下壓蓋的下表面設有轉接頭的安裝孔；

膜通過支撐襯網設置在下壓蓋的上表面，并由上壓蓋壓緊，在上壓蓋、下壓蓋之間設有密封圈；轉接頭安裝在下壓蓋的下表面；

兩位三通電磁閥上設有減壓微孔，兩位三通電磁閥的常閉端與四極質譜系統連接，另外兩端分別與隔膜泵、轉接頭連接。

有益效果：本實用新型適用于在線離子泵四極質譜系統的進樣使用，結構簡單，富集效率高、響應速度快、可保證真空系統不被破壞安全可靠且使用壽命長。

附圖說明

圖1為本實用新型的結構示意圖。

具體實施方式

下面結合附圖并舉實施例，對本實用新型進行詳細描述。

參見附圖1，在線離子泵四極質譜系統的膜進樣裝置，它包括：上壓蓋1、下壓蓋2、膜3、轉接頭6以及兩位三通電磁閥7；

上壓蓋1的左右兩側分別設有與下端面相通的氣體通道，其中一條為進氣道11，另一條為抽氣道12；進氣道11和抽氣道12位于上壓蓋1兩側面相對的位置，可有效增加氣體在膜3表面的流動距離，提高膜3的有效面積，提高富集效率。

下壓蓋5的上表面設有凹槽，并在中心處設有貫穿的通孔，在下壓蓋5的下表面設有轉接頭6的安裝孔；

膜3通過支撐襯網2設置在下壓蓋5的上表面，并由上壓蓋1壓緊，在上壓蓋1、下壓蓋5之間設有密封圈4，密封圈采用硅橡膠材料，避免材料對氣體的吸附；轉接頭6安裝在下壓蓋5的下表面；

兩位三通電磁閥7上設有減壓微孔，兩位三通電磁閥7的常閉端與四極質譜系統連接，一端通過細管8(1/16不銹鋼管)與轉接頭6連接，另一端與隔膜泵連接；管路均采用卡套式管接頭進行連接，既方便拆裝又安全可靠。

本實用新型在不工作時兩位三通閥6常閉以保證四極質譜系統的真空不被破壞。

本實用新型同時利用接到兩位三通電磁閥6上的隔膜泵以及安裝在兩位三通電磁閥6閥體內的微孔進行減壓，降低進樣口和四極質譜系統內的壓差，保證四極質譜系統內的真空保持在合理的范圍。

本實用新型的工作過程如下：抽氣泵將氣體抽入進樣裝置，由于壓差的原因一部分氣體通過膜3富集進入進樣膜3后面的部分，經過隔膜泵和微孔的減壓，最終進入四極質譜系統；通過控制兩位三通電磁閥6來進行進樣與否的切換。

綜上所述，以上僅為本實用新型的較佳實施例而已，并非用于限定本實用新型的保護范圍。凡在本實用新型的精神和原則之內，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本實用新型的保護范圍之內。