技術特征:
技術總結
本發明提供一種OLED顯示裝置的陣列基板制作方法,通過第一光罩在襯底基板形成第一薄膜晶體管T1與第二薄膜晶體管T2的有源區域,通過第二光罩形成T1與T2的溝道摻雜區、源極摻雜區及漏極摻雜區,通過第三光罩形成T1與T2柵極,通過第四光罩形成過孔,通過第五光罩形成T1與T2的源漏極,以及數據線及像素電極;相較于現有的陣列基板制作方法,本發明的制作方法,通過同一道光罩可得到數據線、源極、漏極及像素電極,節省了工程流程,進而降低加工成本。
技術研發人員:姜春生
受保護的技術使用者:深圳市華星光電技術有限公司
技術研發日:2016.12.30
技術公布日:2017.08.18