技術總結
本發明提供了一種低干擾電感結構的制造方法，包括：提供一襯底，并在所述襯底的上表面形成一溝槽；在所述溝槽底部形成第一電感結構，所述第一電感結構包括第一中間電極、第一邊緣電極、第一電感圖案、連接所述第一中間電極與所述第一電感圖案的第一導電通孔以及連接所述第一邊緣電極與所述第一電感圖案的第一斜面連接層；其中，所述第一邊緣電極位于所述襯底的上表面，所述第一中間電極位于所述襯底的下表面，所述第一導電通孔貫穿所述溝槽隔離結構的底部與所述襯底的下表面。
技術研發人員：王浩
受保護的技術使用者：南通沃特光電科技有限公司
文檔號碼：201611096995
技術研發日：2016.12.02
技術公布日：2017.05.10