技術總結
本發明公開了一種槽式濕法清洗設備的控制方法，所述的槽式濕法清洗設備包括清洗區域和未處理產品等待區域，所述的清洗區域包括多個化學藥液處理槽，每個化學藥液處理槽裝有一種化學藥液或者化學藥液混合物，包括自動設定槽式濕法清洗設備中未處理產品等待區域內的未處理產品的派工等級的步驟，根據派工等級的先后順序進行處理。本發明靈活性較好，能夠提高流通速度和生產效率。
技術研發人員：王春偉;李陽柏;張傳民;陳建維
受保護的技術使用者：上海華力微電子有限公司
文檔號碼：201611041014
技術研發日：2016.11.23
技術公布日：2017.02.22