槽式濕法清洗設備的控制方法與流程

本發明涉及一種半導體制造工藝，特別涉及一種槽式濕法清洗設備的控制方法。

背景技術：

在半導體制造領域中，濕法刻蝕工藝通常采用槽式濕法清洗設備處理。如圖1所示，傳統的槽式濕法清洗設備，一個處理槽裝一種化學藥液，整個清洗設備由多個處理槽組成。在刻蝕工藝過程中硅片整體浸泡在充滿化學藥液的處理槽內，化學藥液定期更換，以保證處理槽的清潔，從而保證產品的質量。某些化學藥液需要頻繁更換，而在其中任意一個處理槽更換化學藥液過程中，硅片無法進行工藝處理。目前的槽式濕法清洗設備在對產品進行作業排序的時候往往采用產品先進機臺先處理的順序，未能考慮化學藥液更換的因素，常常出現由于一個處理槽化學藥液更換而出現的整個設備停止工作，從而導致浪費了槽式濕法清洗設備的利用率的現象。

如圖1所示，傳統的槽式濕法清洗設備的另一個缺點，是存在放置硅片的等待區域，大量的未處理硅片暫存在等待區域等待處理。由于機臺采用的是產品先進機臺先處理的順序，所以靈活性較差。當有緊急的產品需要優先處理的時候，只能人為到現場把等待區域里的產品全部取出，然后讓緊急的產品先進等待區等待，這一操作大大浪費了人力和時間，降低了產品的流通速度，從而降低了生產效率。

技術實現要素：

本發明所要解決的技術問題是，提供一種靈活性較好，能夠提高流通速度和生產效率的槽式濕法清洗設備的控制方法。

為了解決上述技術問題，本發明的技術方案是：一種槽式濕法清洗設備的控制方法，所述的槽式濕法清洗設備包括清洗區域和未處理產品等待區域，所述的清洗區域包括多個化學藥液處理槽，每個化學藥液處理槽裝有一種化學藥液或者化學藥液混合物，包括自動設定槽式濕法清洗設備中未處理產品等待區域內的未處理產品的派工等級的步驟，根據派工等級的先后順序進行處理。

進一步的，本發明提供的槽式濕法清洗設備的控制方法，所述派工等級的步驟由連接于槽式濕法清洗設備的控制軟件實現。

進一步的，本發明提供的槽式濕法清洗設備的控制方法，還包括手動設置槽式濕法清洗設備中未處理產品等待區域內的未處理產品的默認等級的步驟，常規選擇默認等級的先后順序進行處理；當出現緊急的產品需要優先處理時，選擇派工等級的先后順序進行處理，調整槽式濕法清洗設備中未處理產品等待區域內的未處理產品的派工等級，根據派工等級的先后順序優先執行緊急的產品的清洗作業。

進一步的，本發明提供的槽式濕法清洗設備的控制方法，當緊急的產品不在槽式濕法清洗設備中未處理產品等待區域內時，最少僅需替換槽式濕法清洗設備中未處理產品等待區域內的其中一種未處理的產品，調整派工等級后，根據派工等級的先后順序優先執行緊急的產品的清洗作業。

進一步的，本發明提供的槽式濕法清洗設備的控制方法，還包括當某個化學藥液處理槽更換化學藥液時，執行未處理產品等待區域內的其它未處理產品在未更換化學藥液的其他化學藥液處理槽中進行清洗作業的步驟。

進一步的，本發明提供的槽式濕法清洗設備的控制方法，還包括設定產品處理程序的步驟，當產品進入化學藥液處理槽中進行清洗作業時，執行相應的產品處理程序。

進一步的，本發明提供的槽式濕法清洗設備的控制方法，還包括判定化學藥液處理槽內的化學藥液需要更換的時間的步驟。

進一步的，本發明提供的槽式濕法清洗設備的控制方法，在判定化學藥液處理槽內的化學藥液需要更換的時間的步驟中，具體包括

步驟一，讀取槽式濕法清洗設備中每個化學藥液處理槽的信息，包括化學藥液的更換時間；

步驟二，根據設定產品處理程序與化學藥液處理槽一一對應關系，通過分析產品處理程序得到產品需要經過的化學藥液處理槽；

步驟三，根據化學藥液處理槽內的化學藥液的使用時間和/或使用次數判定是否需要更換。

進一步的，本發明提供的槽式濕法清洗設備的控制方法，在每個化學藥液處理槽完成產品的清洗作業后，還包括使用純水處理槽對該產品進行水清洗的步驟。

本發明提供的槽式濕法清洗設備的控制方法，當選擇派工等級的順序進行處理時，則可以自動的調整未處理產品等待區域內的未處理產品的派工等級的先后順序，從而使槽式濕法清洗設備優先執行緊急的產品的清洗作業，其具有靈活性較好，不必浪費大量的人力成本和時間成本，從而提高產品在槽式濕法清洗設備中的流通速度。通過自動調整派工順序，還提高了產品的生產效率。

附圖說明

圖1是現有的槽式濕法清洗設備的結構示意圖；

圖2是本發明的槽式濕法清洗設備的控制方法的流程示意圖；

圖3是本發明更換化學藥液時的控制流程示意圖。

具體實施方式

下面結合附圖對本發明作詳細描述：

實施例一

如圖2所示，本實施例一提供一種槽式濕法清洗設備的控制方法，所述的槽式濕法清洗設備包括清洗區域和未處理產品等待區域U，所述的清洗區域包括多個化學藥液處理槽T，每個化學藥液處理槽裝有一種化學藥液或者化學藥液混合物，包括自動設定槽式濕法清洗設備中未處理產品P等待區域內的未處理產品的派工等級的步驟，根據派工等級的先后順序進行處理。本實施例中示例了兩個化學藥液處理槽T1和T2和兩個純水處理槽W1和W2，未處理產品示例了3個分別為P1、P2、P3。

本實施例一中，當選擇派工等級的順序進行處理時，則可以自動的調整未處理產品等待區域內的未處理產品的派工等級的先后順序，從而使槽式濕法清洗設備優先執行緊急的產品的清洗作業，其具有靈活性較好，節省大量的人力成本和時間成本，由于自動調整的速度要比人工調整的速度要快，因此，本實施例一提高了產品在槽式濕法清洗設備中的流通速度。另外，通過自動調整派工順序，還提高了產品的生產效率。

作為較佳的實施方式，本實施例一中派工等級的步驟由連接于槽式濕法清洗設備的控制軟件實現。控制軟件可以安裝在設置在槽式濕法清洗設備的內部，或者通過外部存儲設備等連通。使用控制軟件的優點在于，其可以設定調整界面，便于槽式濕法清洗設備的調整。

作為較佳的實施方式，本實施例一中還包括手動設置槽式濕法清洗設備中未處理產品等待區域內的未處理產品的默認等級的步驟，常規選擇默認等級的先后順序進行處理；當出現緊急的產品需要優先處理時，選擇派工等級的先后順序進行處理，調整槽式濕法清洗設備中未處理產品等待區域內的未處理產品的派工等級，根據派工等級的先后順序優先執行緊急的產品的清洗作業。即本實施例一中選擇默認等級的先后順序處理的步驟，將產品放置到槽式濕法清洗設備的未處理產品的等待區域后，當沒有緊急的產品優先處理時，則可以選擇默認等級的先后順序進行處理。從而使本實施例一控制方法的靈活性、通用性和兼容性較好。

作為較佳的實施方式，本實施例一中提供的槽式濕法清洗設備的控制方法，當緊急的產品不在槽式濕法清洗設備中未處理產品等待區域內時，最少僅需替換槽式濕法清洗設備中未處理產品等待區域內的其中一種未處理的產品，調整派工等級后，根據派工等級的先后順序優先執行緊急的產品的清洗作業。而無需將未處理產品等待區域內的全部產品取出后，再次人工安排產品的放置順序，從而節約了人工成本和放置產品順序的時間。

作為較佳的實施方式，本實施例一中提供的槽式濕法清洗設備的控制方法，在每個化學藥液處理槽完成產品的清洗作業后，還包括使用純水處理槽對該產品進行水清洗的步驟。從而保證濕法刻蝕后的產品的表面清潔度。

實施例二

如圖3所示，本實施例二提供的槽式濕法清洗設備的控制方法，包括當某個化學藥液處理槽例如T1更換化學藥液時，執行未處理產品等待區域內的其它未處理產品例如P2在未更換化學藥液的其他化學藥液處理槽例如T2中進行清洗作業的步驟。本實施例二的方案可以單獨使用，也可以與實施例一組合使用，在更換化學藥液時，不必停止槽式濕法清洗設備的工作程序，而是選擇執行其它未處理產品在未更換化學藥液的其他化學藥液處理槽進行清洗作業的方式，從而克服了產品先進設備先處理的順序的缺陷，提高了槽式濕法清洗設備的利用率，進而提高了產品的生產效率。

作為較佳的實施方式，本實施例二提供的槽式濕法清洗設備的控制方法，還包括設定產品處理程序的步驟，當產品進入化學藥液處理槽中進行清洗作業時，執行相應的產品處理程序。也就是說，每個不同的產品可以選擇一個相應的產品處理程序。從而達到精確控制以及相關產品的清洗作業的目的。若每個化學藥液處理槽都選擇同一處理程序，則會造成不可估量的后果。

作為較佳的實施方式，本實施例二提供的槽式濕法清洗設備的控制方法，還包括判定化學藥液處理槽內的化學藥液需要更換的時間的步驟。具體包括

步驟一，讀取槽式濕法清洗設備中每個化學藥液處理槽的信息，包括化學藥液的更換時間；

步驟二，根據設定產品處理程序與化學藥液處理槽一一對應關系，通過分析產品處理程序得到產品需要經過的化學藥液處理槽；

步驟三，根據化學藥液處理槽內的化學藥液的使用時間和/或使用次數判定是否需要更換。

本實施例中，化學藥液的更換可以自動更換，也可以人工更換。

上述實施例一和實施例二的產品，是指硅片、鍺片或者其它類似物。

本發明不限于上述具體實施方式，凡在本發明的精神和范圍內所作出的各種變化，均在本發明的保護范圍。