1.一種基板加熱裝置,其特征在于,包括:
加熱板,其加熱基板;
引導部,其具有貫通所述加熱板的貫通孔結構;
頂桿,其通過所述引導部上升及下降,支撐向所述加熱板上移送的所述基板;以及
熱損失防止部件,其防止從所述加熱板向所述基板傳遞的熱發生損失,在所述加熱板上包圍所述引導部。
2.根據權利要求1所述的基板加熱裝置,其特征在于,所述加熱板包括:
金屬板;以及
加熱器,其配置于所述金屬板的下部。
3.根據權利要求1所述的基板加熱裝置,其特征在于:
所述熱損失防止部件具有從所述加熱板延伸的凸出結構。
4.根據權利要求1所述的基板加熱裝置,其特征在于:
所述熱損失防止部件包括聚醚醚酮、聚酰亞胺、陶瓷、聚四氟乙烯及鋁中的至少一種。