技術總結
本發明提供一種帶柵極調控的垂直溝道納米線生物傳感器的集成方法，屬于半導體制造技術領域。該方法結合刻蝕通孔、外延溝道以實現垂直溝道的納米線生物傳感器的集成。本發明與傳統的水平溝道結構相比，生物分子在溶液中進行布朗運動時對納米線溝道表面的各個方向均產生隨機碰撞，最終在納米線表面產生更高的修飾密度。且本發明避免了現有方法中溝道形成過程中的刻蝕損傷，提高了器件的性能；以及可以將溝長縮短至10nm以下，滿足了對單個蛋白質或核酸分子的修飾要求。本發明與傳統集成電路制造技術相兼容，工藝簡單、成本代價小。
技術研發人員：黎明;陳珙;楊遠程;黃如
受保護的技術使用者：北京大學
文檔號碼：201610659888
技術研發日：2016.08.12
技術公布日：2016.12.21