技術特征：
技術總結
本申請實施例提供了一種電子設備、超聲波指紋識別裝置及其制造方法，該方法括：在基底層頂部形成具有特定壓電應變常數的第一壓電層；在第一壓電層頂部形成第一平面電極；在第一平面電極頂部形成具有特定壓電電壓常數的第二壓電層；在第二壓電層頂部形成第二平面電極；在基底層上形成諧振空腔，并在諧振空腔內形成第三平面電極，以形成第一器件；第一平面電極、第二壓電層和第二平面電極用于實現超聲波發射；第三平面電極、第一壓電層、第二壓電層和第二平面電極用于實現超聲波接收；將第一器件與配合的半導體器件進行集成，以形成超聲波指紋識別裝置。本申請實施例可提高超聲波指紋識別裝置的回路效率和識別靈敏度。
技術研發人員：不公告發明人
受保護的技術使用者：上海思立微電子科技有限公司
技術研發日：2017.05.18
技術公布日：2017.10.03