凹槽210內設有電極211。所述凹槽210可根據實際需要設置成方形、圓形或其它形狀，均可適用于本實用新型。所述電極211為平面電極，電極211的數量和位置可根據實際需求設置。如圖4所示，在平板21的背面，還設有與電極211連接的導線212，具體地，導線212的一端與凹槽內的電極211連接，然后穿過平板21，從平板21的背面引出。優選地，所述導線212都引至平板21的同一側。
[0028]具體地，如圖5所示，所述固定部22包括旋轉件220，所述旋轉件220為長條狀，旋轉件220的一端通過螺釘221固定在平板21上使得旋轉件220可繞螺釘221轉動，所述旋轉件220的另一端設有壓緊測試件30的壓片部222。在凹槽210中放置好測試用的測試件30后，可轉動旋轉件220至測試件30上方，使壓片部222壓緊測試件30，而當測試結束后，可轉動旋轉件220離開測試件30，然后取出測試件30。
[0029]優選地，所述旋轉件220的一端設有通孔223，通孔223中設有彈簧224，所述螺釘221穿過通孔223中的彈簧224將旋轉件220固定在平板21上。通孔223中設有彈簧224，可提供向下的壓力，使壓片部222更好的固定住測試件30，同時也可使旋轉件220上下移動，方便測試件30的放置和取出。
[0030]本實用新型提供的霍爾測試儀適于測試半導體外延片，現有的霍爾測試儀要求樣品為正方形，裁剪樣品會損害樣品，而本實用新型可將不同形狀的外延片放置在凹槽中，通過范德堡法測試計算，對樣品形狀無要求。
[0031]具體地，所述半導體外延片上設有銦球31，支架20放置在測試腔14中時，所述銦球31與電極211相接觸，形成電連接。現有技術需通過焊錫連結半導體樣品與金屬電極，高溫錫焊過程可能會損害樣品。而本實用新型中通過外延片上銦球31和支架上電極211相接觸即可完成霍爾測試，簡單方便，避免了現有技術中的缺陷。
[0032]在本實用新型的一個實施例中，凹槽210內設有四個電極211，四個電極211呈方形均勻分布，平板21上設有四個固定部22，四個固定部22與上述四個電極211相對應。下面就此實施例詳述霍爾測試的過程。
[0033]先在待測半導體外延片30上點設四個銦球31，銦球31的位置與凹槽中的電極211相對應，將旋轉件220轉出凹槽210外，再將外延片30有銦球的一面朝下放置在凹槽中使得銦球31和電極211相接觸。測試時，支架20可由殼體10側面的開口處插入測試腔14中，此時凹槽處于第一永磁鐵110和第二永磁鐵120構成的磁場中間。此時，通過外部恒流源對特定的兩個電極211通電，使外延片30中的載流子同時處于特定的電場及磁場中，此時再通過電壓表測量出另外兩個電極211間的電壓，即可相應計算得到霍爾測試數據；此夕卜，通過變換電流輸入的電極及測試電壓的電極，可以達到降低系統誤差的目的。
[0034]本實用新型提供的霍爾測試儀，通過在殼體上設置相對的永磁鐵形成穩定的磁場，無需大型電源提供磁場，極大縮小了裝置的體積，測試方便。
[0035]在本說明書的描述中，參考術語“ 一個實施例”、“一些實施例”、“示例”、“具體示例”、或“一些示例”等的描述意指結合該實施例或示例描述的具體特征、結構、材料或者特點包含于本實用新型的至少一個實施例或示例中。在本說明書中，對上述術語的示意性表述不必須針對的是相同的實施例或示例。而且，描述的具體特征、結構、材料或者特點可以在任何的一個或多個實施例或示例中以合適的方式結合。此外，本領域的技術人員可以將本說明書中描述的不同實施例或示例進行接合和組合。
[0036]盡管上面已經示出和描述了本實用新型的實施例，可以理解的是，上述實施例是示例性的，不能理解為對本實用新型的限制，本領域的普通技術人員在本實用新型的范圍內可以對上述實施例進行變化、修改、替換和變型。
【主權項】
1.一種霍爾測試儀，其特征在于，包括: 殼體，所述殼體包括上殼體和下殼體，上殼體和下殼體之間形成有檢測腔，所述上殼體嵌設有第一永磁鐵，所述下殼體嵌設有與第一永磁鐵相對的第二永磁鐵，所述第一永磁鐵和第二永磁鐵極性相反且在所述檢測腔內形成有磁場； 支架，所述支架設置在檢測腔中，支架上固定有測試件。2.如權利要求1所述的霍爾測試儀，其特征在于，所述下殼體的兩端設有支撐上殼體的支撐件，所述上殼體、下殼體和支撐件包圍形成側面具有開口的檢測腔。3.如權利要求2所述的霍爾測試儀，其特征在于，所述支撐件設有卡合所述支架的缺□ O4.如權利要求1所述的霍爾測試儀，其特征在于，所述支架包括: 平板，所述平板上設有容納測試件的凹槽，所述凹槽內設有電極； 用于固定測試件的固定部，所述固定部設置在平板上。5.如權利要求4所述的霍爾測試儀，其特征在于，所述固定部包括: 旋轉件，所述旋轉件為長條狀，旋轉件的一端通過螺釘固定在平板上使得旋轉件可繞螺釘轉動，所述旋轉件的另一端設有壓緊測試件的壓片部。6.如權利要求5所述的霍爾測試儀，其特征在于，所述旋轉件的一端設有通孔，通孔中設有彈簧，所述螺釘穿過通孔中的彈簧將旋轉件固定在平板上。7.如權利要求4所述的霍爾測試儀，其特征在于，所述平板的背面設有與電極相連接的導線。8.如權利要求4所述的霍爾測試儀，其特征在于，所述測試件為半導體外延片。9.如權利要求8所述的霍爾測試儀，其特征在于，所述半導體外延片上設有銦球，所述銦球與所述電極接觸。
【專利摘要】本實用新型提供了一種霍爾測試儀，包括：殼體，所述殼體包括上殼體和下殼體，上殼體和下殼體之間形成有檢測腔，所述上殼體嵌設有第一永磁鐵，所述下殼體嵌設有與第一永磁鐵相對的第二永磁鐵，所述第一永磁鐵和第二永磁鐵極性相反且在所述檢測腔內形成有磁場；支架，所述支架設置在檢測腔中，支架上固定有測試件。該霍爾測試儀，通過在殼體上設置相對的永磁鐵形成穩定的磁場，無需大型電源提供磁場，極大縮小了裝置的體積，測試方便。
【IPC分類】G01R31/26
【公開號】CN205193224
【申請號】CN201520855934
【發明人】肖懷曙
【申請人】比亞迪精密制造有限公司
【公開日】2016年4月27日
【申請日】2015年10月30日