一種霍爾測試儀的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型屬于霍爾測試領域，尤其涉及一種霍爾測試儀。
【背景技術】
[0002]現有測試半導體外延片的霍爾測試儀，大多采用大型穩壓電源用來提供穩定的磁場，這類測試儀對磁場電源要求極高，否則會造成磁場不穩定從而導致測試誤差，而高質量的電磁場電源需大量穩壓、濾波及補償電路，結構復雜，價格昂貴，體積笨重。
[0003]而且現有技術需通過焊錫連結半導體樣品與金屬電極，高溫錫焊過程可能會損害樣品，而且錫可能導致半導體樣品與金屬間的接觸類型為肖特基接觸，造成不可消除的測試誤差，此外錫焊電極不能穩定附著在樣品上，測試過程中容易出現掉電極現象。
【實用新型內容】
[0004]本實用新型為上述技術問題之一，提供一種霍爾測試儀，該霍爾測試儀無需大型電源提供磁場，極大縮小了裝置的體積，測試方便。
[0005]本實用新型提供一種霍爾測試儀，包括:殼體，所述殼體包括上殼體和下殼體，上殼體和下殼體之間形成有檢測腔，所述上殼體嵌設有第一永磁鐵，所述下殼體嵌設有與第一永磁鐵相對的第二永磁鐵，所述第一永磁鐵和第二永磁鐵極性相反且在所述檢測腔內形成有磁場；支架，所述支架設置在檢測腔中，支架上固定有測試件。
[0006]進一步地，所述下殼體的兩端設有支撐上殼體的支撐件，所述上殼體、下殼體和支撐件包圍形成側面具有開口的檢測腔。
[0007]進一步地，所述支撐件設有卡合所述支架的缺口。
[0008]進一步地，所述支架包括:平板，所述平板上設有容納測試件的凹槽，所述凹槽內設有電極；用于固定測試件的固定部，所述固定部設置在平板上。
[0009]進一步地，所述固定部包括:旋轉件，所述旋轉件為長條狀，旋轉件的一端通過螺釘固定在平板上使得旋轉件可繞螺釘轉動，所述旋轉件的另一端設有壓緊測試件的壓片部。
[0010]進一步地，所述旋轉件的一端設有通孔，通孔中設有彈簧，所述螺釘穿過通孔中的彈簧將旋轉件固定在平板上。
[0011 ] 進一步地，所述平板的背面設有與電極相連接的導線。
[0012]進一步地，所述測試件為半導體外延片。
[0013]進一步地，所述半導體外延片上設有銦球，所述銦球與所述電極接觸。
[0014]本實用新型提供的霍爾測試儀，通過在殼體上設置相對的永磁鐵形成穩定的磁場，無需大型電源提供磁場，極大縮小了裝置的體積，測試方便。
【附圖說明】
[0015]圖1是本實用新型實施例提供的霍爾測試儀的殼體的結構示意圖；
[0016]圖2是本實用新型實施例提供的霍爾測試儀的支架的結構示意圖；
[0017]圖3是本實用新型實施例提供的霍爾測試儀的支架的正面示意圖；
[0018]圖4是本實用新型實施例提供的霍爾測試儀的支架的背面示意圖；
[0019]圖5是本實用新型實施例提供的霍爾測試儀的固定部的結構示意圖。
【具體實施方式】
[0020]下面詳細描述本實用新型的實施例，所述實施例的示例在附圖中示出，其中自始至終相同或類似的標號表示相同或類似的元件或具有相同或類似功能的元件。下面通過參考附圖描述的實施例是示例性的，旨在用于解釋本實用新型，而不能理解為對本實用新型的限制。
[0021]在本實用新型的描述中，需要理解的是，術語“中心”、“縱向”、“橫向”、“長度”、“寬度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“頂”、“底” “內”、“外”、“順時針”、“逆時針”等指示的方位或位置關系為基于附圖所示的方位或位置關系，僅是為了便于描述本實用新型和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構造和操作，因此不能理解為對本實用新型的限制。
[0022]在本實用新型中，除非另有明確的規定和限定，術語“安裝”、“相連”、“連接”、“固定”等術語應做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或成一體；可以是機械連接，也可以是電連接；可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，可以是兩個元件內部的連通或兩個元件的相互作用關系。對于本領域的普通技術人員而言，可以根據具體情況理解上述術語在本實用新型中的具體含義。
[0023]在本實用新型中，除非另有明確的規定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接觸，也可以包括第一和第二特征不是直接接觸而是通過它們之間的另外的特征接觸。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或僅僅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或僅僅表示第一特征水平高度小于第二特征。
[0024]如圖1-圖5所示，本實用新型提供一種霍爾測試儀，包括殼體10和支架20，所述殼體10包括上殼體11和下殼體12，上殼體11和下殼體12之間形成檢測腔14，所述上殼體11嵌設有第一永磁鐵110，所述下殼體12嵌設有與第一永磁鐵110相對的第二永磁鐵120，所述第一永磁鐵110和第二永磁鐵120極性相反；支架上固定有測試件30，將支架設置在檢測腔中進行霍爾測試。
[0025]本實用新型提供的霍爾測試儀，通過在殼體上設置相對的永磁鐵形成穩定的磁場，無需大型電源提供磁場，極大縮小了裝置的體積，測試方便。
[0026]在本實用新型的一個實施例中，上殼體11和下殼體12均為水平的面板，在下殼體12的兩端設有支撐上殼體11的支撐件13，所述上殼體11、下殼體12和支撐件13包圍形成側面具有開口的檢測腔14。也即是說，上殼體11、下殼體12和位于下殼體12兩端的支撐件構成一個長方體，該長方體的兩側具有開口，支架20可從開口處插入長方體內進行霍爾測試。優選地，所述支撐件13設有卡合支架20的缺口 130，該缺口 130和支架20的邊緣卡接，防止支架20在檢測腔14中移動。
[0027]如圖3所示，所述支架20包括平板21和用于固定測試件30的固定部22，所述固定部22設置在平板21上，所述平板21上設有容納測試件30的凹槽210，所述