隔和第二間隔處相交，并且第一支撐柱21設置在第一直槽41內，第二支撐柱22設置在第二直槽42內，第三支撐柱23設置在第三直槽51內，第四支撐柱24設置在第四直槽52內，如圖2和圖3中所示。各個直槽的開設可以保證支撐柱在調整過程中始終沿硅片的對角線進行移動，從而避免支點位置出現偏差。
[0039]當然，各個支撐柱在各個直槽內的安裝方式也具有多種，在一種實施方式中，第一直槽41、第二直槽42、第三直槽51以及第四直槽52的底部均開設有沿自身長度方向均勻分布的多個通孔，穿過通孔的螺釘將第一支撐柱21、第二支撐柱22、第三支撐柱23以及第四支撐柱24與各自相對應的直槽固定連接。該種方式可以實現各個支撐柱在與其對應的直線上進行分散調節，因此只能適應幾種特定規格的硅片。
[0040]在另一中實施例中，第一直槽41、第二直槽42、第三直槽51以及第四直槽52的底部均開設有沿自身長度方向延伸的長條孔，任意一個直槽內的長條孔的短軸均小于與其對應的支撐柱的直徑，以避免支撐柱漏下，穿過長條孔的螺釘將第一支撐柱21、第二支撐柱22、第三支撐柱23以及第四支撐柱24與各自對應的直槽固定連接。該種連接方式使得各個支撐柱在與其對應的直線上實現了位置的連續調節，因而可以適應面積不超過安裝面板的任何規格的硅片，硅片強度測試工裝的通用性進一步增強。
[0041]更進一步的，為了精確掌握各個支撐柱的位置，本實施例中還在第一直槽41、第二直槽42、第三直槽51以及第四直槽52的長度方向上均設置了用于顯示長度的刻度標識，這可進一步提尚支撐柱調整的精確度和調整效率。
[0042]如圖1和圖3中所示，本實施例中所公開的硅片強度測試工裝中，第一支撐柱21、第二支撐柱22、第三支撐柱23以及第四支撐柱24的頂部還設置有可以更換的支撐球體，對于不同規格的硅片，可以選取與其適配的支撐球體，以便達到最好的支撐效果。支撐球體與支撐柱之間的連接方式可以為螺紋連接、插接等。
[0043]上述實施例中所公開的強度測試工裝在進行測試時，需要逐個在硅片的中心位置增加砝碼，直至硅片破碎，這種測試方法還存在著精度不高、無法實現壓力的連續變化以及不能生成壓力與形變關系的曲線的缺點，為此，本實施例中所公開的強度測試工裝還包括了機械臂6，該機械臂6可安裝在拉力機上，優選的為數字拉力機，機械臂6用于向硅片的中部施加壓力。通過數字拉力機可以實現壓力的連續變化，并可在硅片破碎后自動生成壓力與形變關系的曲線，為后續對硅片的強度分析工作提供便利。
[0044]優選的，機械臂6上還設置有用于與硅片接觸的施壓球體7，該施壓球體7與機械臂6為可拆裝連接，例如螺紋連接、插接等。施壓球體7的大小也需要與硅片的規格適配，為了方便機械臂6與拉力機的夾具相連，還可將機械臂6的頂部打磨成片狀，如圖4中所示。
[0045]為了保證安裝面板1方便的設置在壓力機的下夾具上，本實施例中所公開的硅片強度測試工裝中，還包括與安裝面板1相連，且用于套設在壓力機的下夾具上的套裝座3，如圖1和圖3中所示。
[0046]本說明書中各個實施例采用遞進的方式描述，每個實施例重點說明的都是與其他實施例的不同之處，各個實施例之間相同相似部分互相參見即可。
[0047]對所公開的實施例的上述說明，使本領域專業技術人員能夠實現或使用本實用新型。對這些實施例的多種修改對本領域的專業技術人員來說將是顯而易見的，本文中所定義的一般原理可以在不脫離本實用新型的精神或范圍的情況下，在其它實施例中實現。因此，本實用新型將不會被限制于本文所示的這些實施例，而是要符合與本文所公開的原理和新穎特點相一致的最寬的范圍。
【主權項】
1.一種硅片強度測試工裝，其特征在于，包括: 安裝面板⑴； 設置在所述安裝面板(1)上，且可在第一直線(4)上的多個位置固定的第一支撐柱(21)和第二支撐柱(22); 設置在所述安裝面板(1)上，且可在第二直線(5)上的多個位置固定的第三支撐柱(23)和第四支撐柱(24); 其中，所述第一直線(4)和所述第二直線(5)相交。2.如權利要求1所述的硅片強度測試工裝，其特征在于，所述第一直線(4)和所述第二直線(5)的夾角為90°。3.如權利要求2所述的硅片強度測試工裝，其特征在于，還包括: 開設在所述第一直線(4)上的第一直槽(41)和第二直槽(42)，所述第一直槽(41)和所述第二直槽(42)之間具有第一間隔； 開設在所述第二直線(5)上的第三直槽(51)和第四直槽(52)，所述第三直槽(51)和所述第四直槽(52)之間具有第二間隔； 其中，所述第一直線(4)和所述第二直線(5)在所述第一間隔和所述第二間隔處相交，且所述第一支撐柱(21)設置在所述第一直槽(41)內，所述第二支撐柱(22)設置在所述第二直槽(42)內，所述第三支撐柱(23)設置在所述第三直槽(51)內，所述第四支撐柱(24)設置在所述第四直槽(52)內。4.如權利要求3所述的硅片強度測試工裝，其特征在于，所述第一直槽(41)、第二直槽(42)、第三直槽(51)以及所述第四直槽(52)的底部均開設有沿自身長度方向均勻分布的多個通孔，穿過所述通孔的螺釘將所述第一支撐柱(21)、第二支撐柱(22)、第三支撐柱(23)以及所述第四支撐柱(24)與各自對應的直槽固定連接。5.如權利要求3所述的硅片強度測試工裝，其特征在于，所述第一直槽(41)、第二直槽(42)、第三直槽(51)以及所述第四直槽(52)的底部均開設有沿自身長度方向延伸的長條孔，任意一個所述直槽內所開設的長條孔的短軸均小于與其對應的支撐柱的直徑，穿過所述長條孔的螺釘將所述第一支撐柱(21)、第二支撐柱(22)、第三支撐柱(23)以及所述第四支撐柱(24)與各自對應的直槽固定連接。6.如權利要求3-5任意一項所述的硅片強度測試工裝，其特征在于，所述第一直槽(41)、第二直槽(42)、第三直槽(51)以及所述第四直槽(52)的長度方向上均設置有用于顯示長度的刻度標識。7.如權利要求1-5任意一項所述的硅片強度測試工裝，其特征在于，所述第一支撐柱(21)、第二支撐柱(22)、第三支撐柱(23)以及所述第四支撐柱(24)的頂部還設置有可更換的支撐球體。8.如權利要求1所述的硅片強度測試工裝，其特征在于，還包括可安裝在拉力機上，且用于向硅片中部施加壓力的機械臂(6)。9.如權利要求8所述的硅片強度測試工裝，其特征在于，所述機械臂(6)的端部設置有用于與硅片接觸的施壓球體(7)。10.如權利要求8所述的硅片強度測試工裝，其特征在于，還包括與所述安裝面板(1)相連，且用于套設在壓力機的下夾具上的套裝座(3)。
【專利摘要】本實用新型公開了一種硅片強度測試工裝，包括：安裝面板；設置在所述安裝面板上，且可在第一直線上的多個位置固定的第一支撐柱和第二支撐柱；設置在所述安裝面板上，且可在第二直線上的多個位置固定的第三支撐柱和第四支撐柱；其中，所述第一直線和所述第二直線相交。通過調整第一支撐柱、第二支撐柱、第三支撐柱以及第四支撐柱的位置即可實現對不同規格硅片四角部位的支撐。在實際測試時，針對不同規格的硅片，無需專門更換與其適配的支撐臺，僅需調整各個支撐柱的位置即可，這就有效提高了硅片的測試效率；同時由于一種測試工裝可以適應多種不同規格硅片的強度測試，因此也就有效降低了硅片機械強度測試的成本。
【IPC分類】G01N3/08
【公開號】CN205091198
【申請號】CN201520857556
【發明人】王永澤, 段青春, 王云芳, 陳志軍
【申請人】英利能源（中國）有限公司
【公開日】2016年3月16日
【申請日】2015年10月30日