7] 所述的接觸銅輥A、接觸銅輥主要包括銅輥及安裝架。安裝架根據設備要求進行設 計加工。銅輥結構如圖2所示，主要由軸用彈性擋圈8、軸承9、銅輥絕緣四氟套10、銅套11 及主輥12組成。銅套11直徑為(pSOmm，由直徑為tp85mm的銅棒精加工而成，在加工過程 中，需要確保銅套11厚度為l〇mm，外表面同軸度優于〇. 〇8mm，全跳動由于0. 1mm，表面粗糙 度優于0. 8 μ m。通過銅輥絕緣四氟套10實現銅套11與主輥12的絕緣，從而確保了檢測裝 置與真空容器的絕緣。在銅輥安裝組裝完成后，需要對其進行靜平衡試驗，要求不平衡量小 于3g，從而確保柔性薄膜經過銅輥時的質量。
[0048] 所述壓接引線裝置包括：壓頭組件、安裝架，其中，所述壓頭組件包括：紫銅頭13、 安裝塊15、螺絲帽16、內六角螺釘17、彈簧19 ;所述安裝塊15為空心柱狀，且所述安裝塊15 的空心區域內設有六角螺釘17、彈簧19、以及部分紫銅頭13和部分螺絲帽16 ;所述紫銅頭 13的一端伸出安裝塊15的一端，所述螺絲帽16伸出安裝塊15的另一端；所述紫銅頭13的 一端構成所述壓接引線裝置的測試端，所述紫銅頭13的另一端通過內六角螺釘17與導線 的一端相連，所述導線的另一端經過螺絲帽16的通孔連接至穿艙密封接插件6,所述螺絲 帽16與內六角螺釘17之間設置有彈簧19,所述彈簧穿在導線上。
[0049] 具體地，如圖3所示，所述的壓接引線裝置A2、壓接引線裝置M主要包括壓頭組件 及安裝架。安裝架根據設備要求進行設計加工。壓頭組件主要由紫銅頭13、四氟套14、安 裝塊15、螺絲帽16、內六角螺釘17、四氟塊18、彈簧19組成，如圖3所。其中，紫銅頭13由 紫銅加工而成，紫銅頭13與銅輥接觸，并通過內六角螺釘17與導線連接在一起，從而實現 銅輥上的信號引出。通過壓頭組件絕緣四氟套14、四氟塊18實現紫銅頭13與安裝塊15的 絕緣，從而實現與真空容器的絕緣，確保測量精度。通過彈簧19、螺絲帽16實現紫銅頭13 與銅輥之間的壓緊，當紫銅出現磨損時，可以銅輥彈簧19自動壓緊。
[0050] 所述壓接引線裝置還包括：壓頭組件絕緣四氟套14、四氟塊18,所述壓頭組件絕 緣四氟套14設置在安裝塊15內壁與紫銅頭13之間；所述四氟塊18設置在內六角螺釘17 與安裝塊15內壁之間。
[0051] 所述電阻測量儀7設有遠程通信模塊，所述遠程通信模塊與計算機相連，實現了 膜層電阻值的實時檢測。
[0052] 具體地，電阻測量儀需要根據膜層的厚度范圍、導電性能選擇不同量程的儀器，電 阻測量儀需具有遠程通訊功能，從而實現與遠程計算機的連接，實時記錄阻值。
[0053] 本發明具有的效果：該膜層電阻在線檢測裝置可以滿足真空卷繞鍍膜設備在連續 鍍膜過程中的電阻在線檢測，并可連接至遠程測量儀器上實現遠程監測。通過接觸銅輥與 膜層充分接觸，并用壓接引線裝置實現導線與接觸銅輥的接觸，導線通過穿艙密封接插件 引線至真空容器外的電阻測量儀上，形成測量回路，實現膜層電阻在線檢測。
[0054] 本發明所述的膜層電阻在線檢測裝置是通過接觸銅輥與膜層充分接觸，實現檢測 裝置與膜層的接觸，銅輥內部使用聚四氟乙烯實現接觸銅套與真空容器的絕緣，從而確保 了測量的準確性。
[0055] 本發明所述的膜層電阻在線檢測裝置是通過穿艙密封接插件實現真空側與大氣 側的信號傳遞。
[0056] 本發明所述的膜層電阻在線檢測裝置是電阻測量儀實現阻值的最終測量，根據不 同的膜層選擇不同測量范圍的電阻測量儀。
[0057] 以上對本發明的具體實施例進行了描述。需要理解的是，本發明并不局限于上述 特定實施方式，本領域技術人員可以在權利要求的范圍內做出各種變形或修改，這并不影 響本發明的實質內容。
【主權項】
1. 一種用于真空卷繞鍍膜設備上的膜層電阻在線檢測裝置，其特征在于，包括：接觸 銅輥、壓接引線裝置、穿艙密封接插件（6)、電阻測量儀（7)，其中，所述接觸銅輥與壓接引 線裝置相連，接觸銅輥用于測量膜層的電阻值，并依次通過壓接引線裝置、穿艙密封接插件 (6)將測得的膜層電阻值傳輸至電阻測量儀（7)，所述電阻測量儀（7)能夠對膜層的電阻值 進行實時在線監測。2. 根據權利要求1所述的用于真空卷繞鍍膜設備上的膜層電阻在線檢測裝置，其特征 在于，所述接觸銅輥的數量至少為兩根，分別記為：接觸銅輥A(1)、接觸銅輥B(2);所述壓 接引線裝置包括：壓接引線裝置A(2)、壓接引線裝置B(4);所述壓接引線裝置A(2)的測試 端連接接觸銅輥A(1)，所述壓接引線裝置B(4)的測試端鏈接接觸銅輥B(2)，且所述壓接引 線裝置A(2)、壓接引線裝置B(4)的輸出端分別通過導線與穿艙密封接插件（6)后連接至電 阻測量儀（7)。3. 根據權利要求2所述的用于真空卷繞鍍膜設備上的膜層電阻在線檢測裝置，其特 征在于，所述接觸銅輥包括：銅輥和安裝架，其中，所述銅輥包括：軸用彈性擋圈（8)、軸承 (9)、銅輥絕緣四氟套（10)、銅套（11)、主輥（12);所述軸承（9)設置在所述主輥（12)的兩 端上，所述銅套（11)呈空心柱狀，且所述銅套（11)以所述主輥（12)為軸心圍住所述主輥 (12)和軸承（9);所述軸承（9)與銅套（11)的內壁之間設置有銅輥絕緣四氟套（10)，所述 主輥（12)的兩端端面上還設有軸用彈性擋圈（8)。4. 根據權利要求2所述的用于真空卷繞鍍膜設備上的膜層電阻在線檢測裝置，其特征 在于，所述壓接引線裝置包括：壓頭組件、安裝架，其中，所述壓頭組件包括：紫銅頭（13)、 安裝塊（15)、螺絲帽（16)、內六角螺釘（17)、彈簧（19);所述安裝塊（15)為空心柱狀，且 所述安裝塊（15)的空心區域內設有六角螺釘（17)、彈簧（19)、以及部分紫銅頭（13)和部 分螺絲帽（16);所述紫銅頭（13)的一端伸出安裝塊（15)的一端，所述螺絲帽（16)伸出安 裝塊（15)的另一端；所述紫銅頭（13)的一端構成所述壓接引線裝置的測試端，所述紫銅 頭（13)的另一端通過內六角螺釘（17)與導線的一端相連，所述導線的另一端經過螺絲帽 (16)的通孔連接至穿艙密封接插件（6)，所述螺絲帽（16)與內六角螺釘（17)之間設置有 彈簧（19)，所述彈簧穿在導線上。5. 根據權利要求4所述的用于真空卷繞鍍膜設備上的膜層電阻在線檢測裝置，其特征 在于，所述壓接引線裝置還包括：壓頭組件絕緣四氟套（14)、四氟塊（18)，所述壓頭組件絕 緣四氟套（14)設置在安裝塊（15)內壁與紫銅頭（13)之間；所述四氟塊（18)設置在內六 角螺釘（17)與安裝塊（15)內壁之間。6. 根據權利要求1所述的用于真空卷繞鍍膜設備上的膜層電阻在線檢測裝置，其特征 在于，所述電阻測量儀（7)設有遠程通信模塊，所述遠程通信模塊與計算機相連，實現了膜 層電阻值的實時檢測。
【專利摘要】本發明提供了一種用于真空卷繞鍍膜設備上的膜層電阻在線檢測裝置，包括：接觸銅輥、壓接引線裝置、穿艙密封接插件(6)、電阻測量儀(7)，其中，所述接觸銅輥與壓接引線裝置相連，接觸銅輥用于測量膜層的電阻值，并依次通過壓接引線裝置、穿艙密封接插件(6)將測得的膜層電阻值傳輸至電阻測量儀(7)，所述電阻測量儀(7)能夠對膜層的電阻值進行實時在線監測。本發明中的裝置能夠實時在線檢測真空卷繞鍍膜設備上的膜層電阻，并且能夠直接在設備上安裝使用，組裝方法簡單，測量精度好。
【IPC分類】G01B7/06, G01R27/02
【公開號】CN105301358
【申請號】CN201510764294
【發明人】李燦倫, 景加榮, 黃濤, 范秋林, 倪俊
【申請人】上海衛星裝備研究所
【公開日】2016年2月3日
【申請日】2015年11月9日