用于真空卷繞鍍膜設備上的膜層電阻在線檢測裝置的制造方法
【技術領域】
[0001] 本發明涉及電阻檢測領域，具體地，涉及用于真空卷繞鍍膜設備上的膜層電阻在 線檢測裝置。
【背景技術】
[0002] 真空卷繞鍍膜是應用物理氣相沉積的方法在柔性基體上連續鍍膜的技術，其最大 特點就是可以連續卷對卷進行鍍膜。
[0003] 在柔性薄膜上鍍制金屬膜層時，需要實時檢測膜層厚度來確保產品的質量，但是 由于直接在線檢測膜層的厚度比較困難，所以可以通過測量膜層電阻來間接測量膜層厚 度。此外，在鍍制類似ITO的導電膜層時，一般要求在線檢測其膜層的阻值，以實時地調節 工藝參數。若是鍍制膜層的過程中無法直接或是間接地檢測膜層的厚度，將要停機恢復大 氣壓后方可對膜層厚度進行檢測，耗時較長。若是在設備內引入一套在線電阻檢測裝置，就 可以在鍍制膜層時實時監測。
[0004] 因此，設計了一套真空卷繞鍍膜設備上的膜層電阻在線檢測裝置。
【發明內容】
[0005] 針對現有技術中的缺陷，本發明的目的是提供一種用于真空卷繞鍍膜設備上的膜 層電阻在線檢測裝置。
[0006] 根據本發明提供的用于真空卷繞鍍膜設備上的膜層電阻在線檢測裝置，包括：接 觸銅輥、壓接引線裝置、穿艙密封接插件、電阻測量儀，其中，所述接觸銅輥與壓接引線裝置 相連，接觸銅輥用于測量膜層的電阻值，并依次通過壓接引線裝置、穿艙密封接插件將測得 的膜層電阻值傳輸至電阻測量儀，所述電阻測量儀能夠對膜層的電阻值進行實時在線監 測 。
[0007] 優選地，所述接觸銅輥的數量至少為兩根，分別記為：接觸銅輥A、接觸銅輥B ;所 述壓接引線裝置包括：壓接引線裝置A、壓接引線裝置B ;所述壓接引線裝置A的測試端連 接接觸銅輥A，所述壓接引線裝置B的測試端鏈接接觸銅輥B，且所述壓接引線裝置A、壓接 引線裝置B的輸出端分別通過導線與穿艙密封接插件后連接至電阻測量儀。
[0008] 優選地，所述接觸銅輥包括：銅輥和安裝架，其中，所述銅輥包括：軸用彈性擋圈、 軸承、銅輥絕緣四氟套、銅套、主輥；所述軸承設置在所述主輥的兩端上，所述銅套呈空心柱 狀，且所述銅套以所述主輥為軸心圍住所述主輥和軸承；所述軸承與銅套的內壁之間設置 有銅輥絕緣四氟套，所述主輥的兩端端面上還設有軸用彈性擋圈。
[0009] 優選地，所述壓接引線裝置包括：壓頭組件、安裝架，其中，所述壓頭組件包括：紫 銅頭、安裝塊、螺絲帽、內六角螺釘、彈簧；所述安裝塊為空心柱狀，且所述安裝塊的空心區 域內設有六角螺釘、彈簧、以及部分紫銅頭和部分螺絲帽；所述紫銅頭的一端伸出安裝塊的 一端，所述螺絲帽伸出安裝塊的另一端；所述紫銅頭的一端構成所述壓接引線裝置的測試 端，所述紫銅頭的另一端通過內六角螺釘與導線的一端相連，所述導線的另一端經過螺絲 帽的通孔連接至穿艙密封接插件，所述螺絲帽與內六角螺釘之間設置有彈簧，所述彈簧穿 在導線上。
[0010] 優選地，所述壓接引線裝置還包括：壓頭組件絕緣四氟套、四氟塊，所述壓頭組件 絕緣四氟套設置在安裝塊內壁與紫銅頭之間；所述四氟塊設置在內六角螺釘與安裝塊內壁 之間。
[0011] 優選地，所述電阻測量儀設有遠程通信模塊，所述遠程通信模塊與計算機相連，實 現了膜層電阻值的實時檢測。
[0012] 與現有技術相比，本發明具有如下的有益效果：
[0013] 1、本發明中的裝置能夠直接在設備上安裝使用，組裝方法簡單，測量精度好。
[0014] 2、本發明中的裝置中的電阻測量儀設有遠程通信模塊，所述遠程通信模塊與計算 機相連，實現了膜層電阻值的實時檢測。
[0015] 3、本發明中的裝置通過接觸銅輥與膜層充分接觸，實現檢測裝置與膜層的接觸， 銅輥內部使用聚四氟乙烯實現接觸銅套與真空容器的絕緣，從而能夠確保證測量的準確 性。
【附圖說明】
[0016] 通過閱讀參照以下附圖對非限制性實施例所作的詳細描述，本發明的其它特征、 目的和優點將會變得更明顯：
[0017] 圖1為本發明提供的用于真空卷繞鍍膜設備上的膜層電阻在線檢測裝置的結構 示意圖；
[0018] 圖2為本發明提供的用于真空卷繞鍍膜設備上的膜層電阻在線檢測裝置中的銅 輥結構示意圖；
[0019] 圖3為本發明提供的用于真空卷繞鍍膜設備上的膜層電阻在線檢測裝置中的壓 頭組件結構示意圖。
[0020] 圖中：
[0021] 1-接觸銅輥A;
[0022] 2-壓接引線裝置A ;
[0023] 3-接觸銅輥B ;
[0024] 4-壓接引線裝置B ;
[0025] 5_ 導線；
[0026] 6-穿艙密封接插件；
[0027] 7-電阻測量儀；
[0028] 8-軸用彈性擋圈；
[0029] 9-軸承；
[0030] 10-銅輥絕緣四氟套；
[0031] 11-銅套；
[0032] 12-主輥；
[0033] 13-紫銅頭；
[0034] 14-壓頭組件絕緣四氟套；
[0035] 15-安裝塊；
[0036] 16-螺絲帽；
[0037] 17-內六角螺釘；
[0038] 18-四氟塊；
[0039] 19-彈簧。
【具體實施方式】
[0040] 下面結合具體實施例對本發明進行詳細說明。以下實施例將有助于本領域的技術 人員進一步理解本發明，但不以任何形式限制本發明。應當指出的是，對本領域的普通技術 人員來說，在不脫離本發明構思的前提下，還可以做出若干變形和改進。這些都屬于本發明 的保護范圍。
[0041] 根據本發明提供的用于真空卷繞鍍膜設備上的膜層電阻在線檢測裝置，包括：接 觸銅輥、壓接引線裝置、穿艙密封接插件6、電阻測量儀7,其中，所述接觸銅輥與壓接引線 裝置相連，接觸銅輥用于測量膜層的電阻值，并依次通過壓接引線裝置、穿艙密封接插件6 將測得的膜層電阻值傳輸至電阻測量儀7,所述電阻測量儀7能夠對膜層的電阻值進行實 時在線監測。
[0042] 針對真空卷繞鍍膜設備上需要在線檢測膜層電阻，提供一套簡易的膜層電阻在線 檢測裝置，以提高卷繞鍍膜的膜層質量。
[0043] 本發明所述的真空卷繞鍍膜設備上的膜層電阻在線檢測裝置是一種可在卷繞鍍 膜設備鍍膜時實時在線檢測膜層電阻的裝置。該裝置與膜層充分接觸，并與真空容器絕緣， 以確保測量的準確性，并通過穿艙密封接插件6把測量值引到運程電阻測量儀7上，以實現 遠程實時監測。該膜層電阻在線檢測裝置主要由：接觸銅輥、壓接引線裝置、導線、穿艙密封 接插件6、電阻測量儀7等部件組成。
[0044] 所述接觸銅輥包括：接觸銅輥AU接觸銅輥B2 ;所述壓接引線裝置包括：壓接引線 裝置A2、壓接引線裝置M ;所述壓接引線裝置A2的測試端連接接觸銅輥A1，所述壓接引線 裝置M的測試端鏈接接觸銅輥B2,且所述壓接引線裝置A2、壓接引線裝置M的另一端分 別通過導線與穿艙密封接插件6后連接至電阻測量儀7。
[0045] 所述接觸銅輥包括：銅輥和安裝架，其中，所述銅輥包括：軸用彈性擋圈8、軸承9、 銅輥絕緣四氟套10、銅套11、主輥12 ;所述軸承9設置在所述主輥12的兩端上，所述銅套 11呈空心柱狀，且所述銅套11以所述主輥12為軸心圍住所述主輥12和軸承9 ;所述軸承 9與銅套11的內壁之間設置有銅輥絕緣四氟套10,所述主輥12的兩端端面上還設有軸用 彈性擋圈8。
[0046] 具體地，如圖1所示，膜層電阻在線檢測裝置主要由2套接觸銅輥、2套壓接引線裝 置、導線、穿艙接插件以及電阻測量儀等組成。
[004