技術總結
本實用新型公開了一種微通道板組件處理及測試設備，包括依次連接的預真空室、真空烘烤室、電子清刷及測試室、真空過渡室及出樣室，所述的預真空室、真空烘烤室、電子清刷及測試室、真空過渡室及出樣室形成互相聯通的腔體結構，所述的腔體結構內設有樣品行走機構，所述的預真空室連接有機械泵和分子泵，所述的電子清刷及測試室連接有濺射離子泵。本實用新型中抽真空設備采用機械泵、分子泵加離子泵三級真空獲得系統，確保系統的真空度達到10?7Pa以上，為中子束分析提供理想的超高真空環境。
技術研發人員：王瑞華;薛道榮
受保護的技術使用者：北京奧普科星技術有限公司
文檔號碼：201620627528
技術研發日：2016.06.23
技術公布日：2016.11.30