本實用新型涉及中子束流試驗設備技術領域，具體來說，涉及一種微通道板組件處理及測試設備。
背景技術：
中子束流是高能物理研究的重要對象之一，當一個中等能量的質子打到重核（鎢、汞等元素）之后會導致重核的不穩定而“蒸發”出20-30個中子，這樣重核“裂開”并向各個方向“發散”出相當多的中子，大大提高了中子的產生效率，按這種原理工作的裝置稱為散裂中子源。散裂中子源引出中子束流，可以應用于醫療、中子成像、中子衍射分析等領域。
中子束分析實驗需要超高真空環境，需要創造一個超高真空環境完成。
技術實現要素：
本實用新型的目的是提供一種微通道板組件處理及測試設備，以克服目前現有技術存在的上述不足。
為實現上述技術目的，本實用新型的技術方案是這樣實現的：
一種微通道板組件處理及測試設備，包括依次連接的預真空室、真空烘烤室、電子清刷及測試室、真空過渡室及出樣室，所述的預真空室、真空烘烤室、電子清刷及測試室、真空過渡室及出樣室形成互相聯通的腔體結構，所述的腔體結構內設有樣品行走機構，所述的預真空室連接有機械泵和分子泵，所述的電子清刷及測試室連接有濺射離子泵。
進一步的，所述的樣品行走機構通信連接有外部控制單元。
進一步的，所述的真空過渡室連接有機械泵和分子泵。
采用上述技術方案后，本實用新型具有如下的有益效果：本實用新型中抽真空設備采用機械泵、分子泵加離子泵三級真空獲得系統，確保系統的真空度達到10-7Pa以上，為中子束分析提供理想的超高真空環境。
附圖說明
為了更清楚地說明本實用新型實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其它的附圖。
圖1是本實用新型實施例的一種微通道板組件處理及測試設備結構示意圖；
圖中：1、預真空室；2、真空烘烤室；3、電子清刷及測試室；4、真空過渡室；5、出樣室；6、機械泵；7、分子泵；8、濺射離子泵。
具體實施方式
下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員所獲得的所有其它實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。
如圖1所示，本實用新型實施例所述的一種微通道板組件處理及測試設備，包括預真空室1、真空烘烤室2、電子清刷及測試室3、真空過渡室4及出樣室5，所述的預真空室1、真空烘烤室2、電子清刷及測試室3、真空過渡室4及出樣室5形成相互連通的腔體結構，所述的腔體結構內設有樣品行走機構，所述的預真空室1連接有機械泵6和分子泵7，所述的電子清刷及測試室3連接有濺射離子泵8，所述的樣品行走機構通信連接有外部控制機構。
本實用新型測試設備的使用方法如下：1、開啟機械泵6對系統進行抽真空，機械泵6開啟后不再關閉；2、當環境真空度不在明顯變化時，開啟分子泵7進行抽真空，開啟后不再關閉；3、當真空度達到0.1Pa時，開啟分子泵7抽真空，直到真空度達到10-5Pa時，保持分子泵7運轉不停止；4、開啟離子沖刷設備，對殘存在真空腔室內壁表面的殘余氣體進行離子沖刷，進一步增加腔室真空度，直至真空度達到超高真空10-6Pa或以上水平；5、真空度達到超高真空后，通過外部操作單元控制行走機構運送試驗樣品在腔體內移動，完成熱銦封等操作。
在一具體實施例中，所述的真空過渡室連接有機械泵和分子泵。
以上所述僅為本實用新型的較佳實施例而已，并不用以限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本實用新型的保護范圍之內。