技術總結
本發明公開了一種基于雙光路紅外反射法的涂層測厚儀，包括暗盒、紅外激光光源、凸透鏡、2.32μm濾光片、2.23μm濾光片、平面反射鏡、第一次檢測器、分光棱鏡、凹面鏡、第二主檢測器、第二次檢測器、導光管、第一主檢測器；測厚時光線經濾光片、分光棱鏡傳送至次檢測器，或經濾光片、分光棱鏡、待測圖層、凹面鏡/凸透鏡后傳送至主檢測器，經主/次檢測器數據處理后可求得涂層厚度。使用雙光路結構，可實現該系統對涂層厚度的實時測量。該裝置可以獲取參考物各局部標準厚度，從而能夠更加精確地測量涂層厚度。
技術研發人員：陸觀;馬鑫勇;徐一鳴;邱自學;鄧勇;袁江;邵建新;蔡婷
受保護的技術使用者：南通大學
文檔號碼：201610801574
技術研發日：2016.09.05
技術公布日：2017.02.15