基于雙光路紅外反射法的涂層測厚儀的制作方法

技術特征：

1.一種基于雙光路紅外反射法的涂層測厚儀，其特征是：包括暗盒，暗盒下方設置待測涂層，暗盒中設置水平光通道；水平光通道后分成二個支通道，其中一個支通道為水平支通道，另一個支通道為水平段后接通向待測涂層的斜向通道；水平支通道與一個傘形光通道相通，傘形光通道的尖端通向待測涂層；在暗盒中另設置一個菱形光通道，菱形光通道的一端通向待測涂層；在暗盒中設有一個與所述另一個支通道相通的、放置第一次檢測器的光通道，且在所述另一個支通道與所述放置第一次檢測器的光通道交接處，設置第一分光棱鏡；在所述水平光通道中設置紅外激光光源，紅外激光光源后設置第一凸透鏡，在水平支通道的前端設置2.32μm濾光片濾光片，在所述另一個支通道的前端設置2.23μm濾光片，且在所述另一個支通道的水平段與斜向通道交接處設置平面反射鏡；在所述另一個支通道的斜向通道中、第一分光棱鏡后，設置第二凸透鏡；在菱形光通道的末端設置第一主檢測器，在菱形光通道中設置第三凸透鏡；在傘形光通道的弧面端設置凹面鏡，在傘形光通道中設置第二主檢測器，第二主檢測器的下端面上設置第二次檢測器，在第二次檢測器的下端面上設置導光管，導光管下端成斜面，且斜面向著所述另一個支通道方向，在斜面上設置第二分光棱鏡，在第二分光棱鏡下方設置第四凸透鏡；

所述紅外激光光源、第一凸透鏡的幾何中心在水平方向位于同一軸線上；所述2.32μm濾光片、第二分光棱鏡的幾何中心在水平方向位于同一軸線上，凹面鏡、第二主檢測器、第二次檢測器、導光管、第二分光棱鏡、第四凸透鏡、待測圖層的幾何中心在豎直方向位于同一軸線上，組成參考光路；所述2.23μm濾光片、平面反射鏡的幾何中心在水平方向位于同一軸線上，平面反射鏡與入射光15°夾角放置，平面反射鏡、第一分光棱鏡、第二凸透鏡、待測圖層的幾何中心在150°方向位于同一軸線上，待測圖層、第三凸透鏡、第一主檢測器的幾何中心在30°方向位于同一軸線上，組成測量光路；第一次檢測器在第一分光棱鏡的反射光路上；第二凸透鏡、第三凸透鏡、第四凸透鏡各自與待測圖層之間的距離分別為相應各凸透鏡的焦距；凹面鏡與第二主檢測器之間的距離為凹透鏡的焦距；第三凸透鏡與第一主檢測器之間的距離為第三凸透鏡的焦距；2.32μm濾光片、2.23μm濾光片的幾何中心在豎直方向位于同一軸線上，且它們組成的整體的幾何中心位于第一凸透鏡的幾何中心水平軸線上。

2.根據權利要求1所述的基于雙光路紅外反射法的涂層測厚儀，其特征是：光線經2.23μm濾光片在經過平面反射鏡然后經過第一分光棱鏡后一部分光被第一次檢測器監測，另外一部分經過第二凸透鏡經被測涂層反射后被第一主檢測器監測；另一路光線經過2.32μm濾光片經第二分光棱鏡，一部分光經導光管進入第二次檢測器，另外一部分光線經過被測涂層反射后經過凹面鏡后聚焦于第二主檢測器，經過主/次檢測器數據處理后得到涂層厚度。

3.根據權利要求1或2所述的基于雙光路紅外反射法的涂層測厚儀，其特征是：第一主檢測器接收到的光信號為M，第一次檢測器檢測到的光信號為m，第二主檢測器檢測到的光信號為R、第二次檢測器檢測到的光信號為r，利用公式A∝(R/M)×(m/r)，可得到吸光度的數值，進一步利用朗伯定律：

其中bc代表厚度t，A為涂層吸光度，k為涂層的系數，I₀為入射光強度，I_t為透射光強度；

從而計算出待測涂層的厚度值。

4.根據權利要求1所述的基于雙光路紅外反射法的涂層測厚儀，其特征是：四個檢測器，兩兩一組，組成兩組。