r>[0036]第一驅動件106用以驅動第一導引件104沿著第一固定座102運動。也就是說，第一驅動件106可驅動第一導引件104沿著第一固定座102上的限位軌道102c運動。更詳細而言，第一導引件104包括主同步帶輪104a、兩組副同步帶輪104b、104c、主同步帶104d與多個導引帶104e、104f。主同步帶104d套繞于主同步帶輪104a與其中一組副同步帶輪104b、104c上，導引帶104e、104f套繞于兩組副同步帶輪104b、104c上。第一驅動件106連接主同步帶輪104a，第一驅動件106可驅使主同步帶輪104a轉動，并帶動主同步帶104d運動，以進一步帶動副同步帶輪104b、104c以及導引帶104e、104f運動。如此一來，第一導引件104可局限于限位軌道102c內運動。
[0037]第一導引件104可用以放置待除塵組件20。請參考圖4，待除塵組件20可放置在載盤30上，載盤30可放置在第一導引件104上。第一導引件104的導引帶104e、104f上可設置有多個定位件105。更詳細而言，導引帶104e、104f具有相對設置的內表面SI與外表面S2。內表面SI上具有多個齒型結構，用以跟副同步帶輪104b、104c嚙合。外表面S2上突出有多個定位件105，載盤30可倚靠在定位件105的一側。
[0038]請參考圖5，其為載盤30放置在第一導引件104上時的示意圖。如圖所示，當載盤30放置在第一導引件104上時，通過定位件105可固定住載盤30的位置，防止第一導引件104運動時，載盤30位置偏移或晃動。
[0039]具體應用時，上述第一驅動件106可為馬達，主同步帶104d與多個導引帶104e、104f可為同步齒型帶，但本申請不以此為限。此外，上述導引帶104e、104f以及副同步帶輪104b、104c的數目只是舉例，并不用以限制本申請。例如，副同步帶輪104b、104c的數目可大于兩個，如圖4所示，兩組副同步帶輪104b、104c之間可還具有多個副同步帶輪，可以起到支撐與穩定導引帶104e、104f運動的作用。另外，導引帶104e、104f的數目也不限于兩個。在某些實施方式中，可以只具有一個導引帶104e或104f，或者導引帶104e、104f的數目可大于兩個。另外，在部分實施方式中，第一導引平臺100可還包括端蓋108，端蓋108套蓋住副同步帶輪104b、104c、第一驅動件106等構件，以起到保護第一導引平臺100內部零件的作用。
[0040]類似地，請參考圖6，其為載盤30放置在第二導引件204上時的放大圖。第二導引平臺200包括第二固定座202、第二導引件204以及第二驅動件(未繪示)。第二導引件204設置于第二固定座202，第二驅動件用以驅動第二導引件204沿著第二固定座202運動。第二導引平臺200的構件配置類似于第一導引平臺100。也就是說，第二固定座202類似于第一固定座102、第二導引件204類似于第一導引件104，第二驅動件類似于第一驅動件106，在此便不贅述。
[0041]圖7為本申請的第一除塵裝置120相對第一導引平臺100打開的示意圖，圖8為圖7的第一除塵裝置120與第一導引平臺100的局部剖面圖。如圖所示，第一除塵裝置120至少部分覆蓋第一導引件104。如此一來，當第一導引件104運動時，第一導引件104上的載盤30受到定位件105 (參考圖5)的推動可朝第一除塵裝置120的方向移動，并且在第一除塵裝置120與第一導引件104之間的空間內完成除塵作業。類似地，第二除塵裝置220亦至少部分覆蓋第二導引件204，使得載盤30上的待除塵組件20可在第二除塵裝置220與第二導引件204之間的空間內完成除塵作業。
[0042]更詳細而言，請參考圖4與圖7，第一導引平臺100還包括高度限位塊110a、I1b。高度限位塊IlOaUlOb分別設置于限位塊體102a、102b上，第一除塵裝置120設置于高度限位塊IlOaUlOb上，使得第一除塵裝置120的底部距離第一導引件104的導引帶104e、104f具有一限位高度H (圖8繪示導引帶104e)。此限位高度H需至少大于載盤30的載盤高度H'。如此一來，限位高度H可在第一除塵裝置120與第一導引件104之間界定出一個除塵空間，使得載盤30上的待除塵裝置20可在除塵空間中進行除塵的作業。
[0043]類似地，第二導引平臺200也包括有高度限位塊(未標示)，其功用類似于設置于第一導引平臺100上的高度限位塊110a、110b，在此便不贅述。
[0044]圖9為本申請一實施方式的第一除塵裝置120的局部分解與透視圖。請一并參考圖7至圖9，如圖所示，第一除塵裝置120包括多個旋轉式吹氣件121、122、123以及第一靜電消除器130。當第一除塵裝置120相對第一導引平臺100合閉時，旋轉式吹氣件121、122、123面對第一導引件104設置，并且旋轉式吹氣件121、122、123沿著第一導引件104的運動方向排列，使得每個旋轉式吹氣件121、122、123都可對通過其下方的待除塵組件20進行除塵作業。
[0045]此外，旋轉式吹氣件121、122、123與第一導引件104相隔一預定距離D。此預定距離D大于載盤高度H’，使得載盤30進入第一除塵裝置120與第一導引件104之間的除塵空間時，旋轉式吹氣件121、122、123不會影響或阻擋載盤30的移動，且同時旋轉式吹氣件121、122、123可朝向載盤30上的待除塵組件20送氣。旋轉式吹氣件121、122、123可360度旋轉，但本申請不以此為限，上述角度只是舉例。旋轉式吹氣件121、122、123上的噴嘴旋轉后可產生多重旋風模式。也就是可產生多個不同方向的風吹，以達到洗滌待除塵組件20的功效。
[0046]第一靜電消除器130設置于旋轉式吹氣件121、122、123的一側，通過第一靜電消除器130可減少第一除塵裝置120、第一導引件104、載盤30上的靜電分布，避免灰塵由于靜電的關系而沾染在待除塵組件20上，影響除塵效果。在部分實施方式中，除塵設備10還包括第二靜電消除器132，并且第一靜電消除器130以及第二靜電消除器132可分別位于旋轉式吹氣件121、122、123的相對兩側。如此一來，第一靜電除塵裝置130以及第二靜電消除器132可均勻地減除旋轉式吹氣件121、122、123兩側的靜電效應。尤其是旋轉式吹氣件121、122、123朝著載盤30上待除塵組件20吹氣時，載盤30或者是待除塵組件20因為空氣摩擦的緣故容易產生靜電而沾染灰塵，故通過第一靜電消除器130以及第二靜電消除器132可減除載盤30兩側的靜電，提高除塵效果。
[0047]請繼續參考圖7至圖9，第一除塵裝置120還包括罩體140。罩體140覆蓋第一靜電消除器130、第二靜電消除器132與旋轉式吹氣件121、122、123的噴嘴121b、122b、123b。進一步言之，罩體140可還包含內罩141與外罩142。旋轉式吹氣件121、122、123可還含轉軸121a、122a、123a、噴嘴121b、122b、123b、傳動件143以及驅動件144，其中轉軸121a、122a、123a可旋轉地穿設于內罩141與外罩142之間，噴嘴121b、122b、123b則設置于內罩141面向第一導引件104的一側，傳動件143連接于各個轉軸121a、122a、123a之間，驅動件144通過傳動件143可驅使各個轉軸121a、122a、123a轉動，使得旋轉式吹氣件121、122、123的噴嘴121b、122b、123b旋轉，達到多重旋風的除塵效果。
[0048]第一除塵裝置120可還包括集塵管145 (繪示于圖1與圖2)，集塵管145連通罩體140，以吸除罩體140內部的灰塵。進一步言之，集塵管145連通外罩142。此外，內罩141的側邊則具有多個貫穿內罩141本體的通孔141a。旋轉式吹氣件121、122、123的噴嘴121b、122b、123b在洗滌待除塵組件20，內罩141與第一導引件104之間的灰塵可通過通孔141a來到內罩141與外罩142之間的空間，接著再由集塵管145將灰塵吸除。
[0049]請繼續參考圖7至圖9，第一除塵裝置120可還包括第三靜電消除器134。第三靜電消除器134設置于罩體140的一側。更詳細而言，第三靜電消除器134設置于外罩142遠離內罩141的一側，且第三靜電消除器134在第一導引平臺100的正投影與第一導引件104至少部分重迭。也就是說，待除塵組件20在進入第一除塵裝置120之前或離開第一除塵裝置120之后，勢必會從第三靜電消除器134與第一導引件104之間通過。以圖7的實施方式為例，待除塵組件20在進入第一除塵裝置120之前會從第三靜電消除器134底下通過，使得待除塵組件20可在去除靜電的情況下進入第一除塵裝置120中，以免待除塵組件20上的靜電吸附灰塵而影響除塵效果。
[0050]請繼續參考圖7至圖9，第一除塵裝置120可還包括第四靜電消除器136。第四靜電消除器136與第三靜電消除器134分別設置于