輸送用的容器(FOUP)0但是,輸送對(duì)象的物品并不限定于F0UP,只要是在側(cè)面上設(shè)置開(kāi)口、具備將該開(kāi)口部開(kāi)閉的蓋體的容器,不問(wèn)其用途。
[0048](3)在上述說(shuō)明中,表示了將連動(dòng)機(jī)構(gòu)R用由卡合銷(xiāo)3Ip和形成有長(zhǎng)孔32h的連桿卡合部32t構(gòu)成的連桿機(jī)構(gòu)構(gòu)成的例子,但連動(dòng)機(jī)構(gòu)R并不限定于這樣的結(jié)構(gòu)。例如,如圖7及圖8所示,也可以是由齒輪G和與該齒輪G嚙合的齒條L構(gòu)成連動(dòng)機(jī)構(gòu)R的形態(tài)。在本例中,齒輪G被支承體41S保持,以在螺紋軸33的長(zhǎng)度方向上維持與把持部31的相對(duì)位置。蓋落下防止體42與該齒輪G以一體轉(zhuǎn)動(dòng)的方式連接。齒條L以與齒輪G嚙合的方式設(shè)在支承板12S的上表面上。通過(guò)這樣構(gòu)成,隨著沿著螺紋軸33的長(zhǎng)度方向的把持部41的移動(dòng),與轉(zhuǎn)動(dòng)的齒輪G連動(dòng),蓋落下防止體42切換為遠(yuǎn)離位置(參照?qǐng)D7)和接近位置(參照?qǐng)D8)。
[0049]此外,如圖9及圖10所示,也可以是通過(guò)第I齒輪G1、第2齒輪G2及第3齒輪G3構(gòu)成連動(dòng)機(jī)構(gòu)R的形態(tài)。在本例中,把持部51繞軸51 j轉(zhuǎn)動(dòng)自如地構(gòu)成。軸51j是在俯視觀察沿著與行進(jìn)體11的行進(jìn)方向正交的方向的軸。由此,把持部51由驅(qū)動(dòng)馬達(dá)50m向成為水平部51h朝向下方的姿勢(shì)的把持解除位置(參照?qǐng)D9)和成為水平部51h沿著水平方向的姿勢(shì)的把持位置(參照?qǐng)D10)切換自如地構(gòu)成。連動(dòng)機(jī)構(gòu)R具備與軸51 j —體轉(zhuǎn)動(dòng)的第I齒輪Gl、與蓋落下防止體52 —體轉(zhuǎn)動(dòng)的第3齒輪G3、和對(duì)第I齒輪Gl和第3齒輪G3的兩者嚙合的第2齒輪G2而構(gòu)成。隨著由驅(qū)動(dòng)馬達(dá)50m將水平部51h移動(dòng)操作到把持解除位置,蓋落下防止體52被切換到遠(yuǎn)離位置(參照?qǐng)D9)。此外,隨著由驅(qū)動(dòng)馬達(dá)50m將水平部51h移動(dòng)操作到把持位置,蓋落下防止體52被切換到接近位置(參照?qǐng)D10)。
[0050](4)在上述說(shuō)明中,作為輸送源及輸送目標(biāo)的物品交接部位,例示了半導(dǎo)體的處理裝置中的交接用載置臺(tái)。但是,并不限定于這樣的結(jié)構(gòu),例如也可以將保管設(shè)備的入出庫(kù)口或臨時(shí)放置部等作為輸送源或輸送目標(biāo)的物品交接部位。
[0051]附圖標(biāo)記說(shuō)明 11行進(jìn)體
30升降體
30m、50m把持驅(qū)動(dòng)部
31、41、51把持部 31p、32t連桿機(jī)構(gòu)
32、42、52蓋落下防止體 B容器
Bt蓋體 R連動(dòng)機(jī)構(gòu) M移動(dòng)操作部。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種物品輸送車(chē),以由容器構(gòu)成的物品為輸送對(duì)象,所述容器拆裝自如地具備將形成在容器的側(cè)面上的開(kāi)口自如開(kāi)閉的蓋體,所述物品輸送車(chē)具備: 行進(jìn)體,沿著行進(jìn)軌道行進(jìn); 一對(duì)把持部,連結(jié)在上述行進(jìn)體上,把持輸送對(duì)象的物品的上端部; 把持驅(qū)動(dòng)部,驅(qū)動(dòng)上述一對(duì)把持部;和 移動(dòng)操作部,將上述一對(duì)把持部及上述把持驅(qū)動(dòng)部在交接用位置與行進(jìn)用位置之間進(jìn)行位置切換; 這里, 上述交接用位置是從上述行進(jìn)體遠(yuǎn)離的位置; 上述行進(jìn)用位置是接近于上述行進(jìn)體的位置; 上述行進(jìn)體以上述一對(duì)把持部位于上述行進(jìn)用位置的狀態(tài)行進(jìn); 上述把持驅(qū)動(dòng)部構(gòu)成為,在上述交接用位置,將上述一對(duì)把持部向把持位置和把持解除位置切換,在所述把持位置,上述一對(duì)把持部相互接近而把持上述容器的上端部,在所述把持解除位置,上述一對(duì)把持部相互遠(yuǎn)離; 該物品輸送車(chē)的特征在于, 具備: 蓋落下防止體,防止上述蓋體的落下;和 連動(dòng)機(jī)構(gòu),切換上述蓋落下防止體的位置; 上述蓋落下防止體向接近位置和遠(yuǎn)離位置切換自如,在所述接近位置,上述蓋落下防止體在上述蓋體的外表面?zhèn)冉咏谏鲜錾w體而防止上述蓋體的落下,在所述遠(yuǎn)離位置,上述蓋落下防止體從上述蓋體遠(yuǎn)離而容許上述蓋體的拆裝; 上述連動(dòng)機(jī)構(gòu)隨著上述一對(duì)把持部被上述把持驅(qū)動(dòng)部從上述把持位置切換為上述把持解除位置,將上述蓋落下防止體從上述接近位置向上述遠(yuǎn)離位置切換,并且,隨著上述一對(duì)把持部被上述把持驅(qū)動(dòng)部從上述把持解除位置切換為上述把持位置,將上述蓋落下防止體從上述遠(yuǎn)離位置向上述接近位置切換。2.如權(quán)利要求1所述的物品輸送車(chē),其特征在于, 還具備升降體,所述升降體相對(duì)于上述行進(jìn)體上升移動(dòng)及下降移動(dòng)自如; 在上述升降體上,設(shè)有上述把持部、上述把持驅(qū)動(dòng)部、上述連動(dòng)機(jī)構(gòu)及上述蓋落下防止體。3.如權(quán)利要求2所述的物品輸送車(chē),其特征在于, 上述蓋落下防止體構(gòu)成為,在上述接近位置,上述蓋落下防止體的至少一部分接近于將上述容器的開(kāi)口用上述蓋體閉塞的情況下的上述蓋體的上端部。4.如權(quán)利要求1所述的物品輸送車(chē),其特征在于, 上述把持部構(gòu)成為,在上述容器的蓋體位于相對(duì)于上述行進(jìn)體的行進(jìn)方向在俯視觀察正交的方向的一側(cè)的狀態(tài)下把持上述容器的上端部; 上述蓋落下防止體由板狀體構(gòu)成,并且沿著上述行進(jìn)體的行進(jìn)方向向上述接近位置和上述遠(yuǎn)離位置切換自如地構(gòu)成,所述板狀體在俯視觀察在與上述行進(jìn)體的行進(jìn)方向正交的方向上薄。5.如權(quán)利要求2所述的物品輸送車(chē),其特征在于, 上述把持部構(gòu)成為,在上述容器的蓋體位于相對(duì)于上述行進(jìn)體的行進(jìn)方向在俯視觀察正交的方向的一側(cè)的狀態(tài)下把持上述容器的上端部; 上述蓋落下防止體由板狀體構(gòu)成,并且沿著上述行進(jìn)體的行進(jìn)方向向上述接近位置和上述遠(yuǎn)離位置切換自如地構(gòu)成,所述板狀體在俯視觀察在與上述行進(jìn)體的行進(jìn)方向正交的方向上薄。6.如權(quán)利要求3所述的物品輸送車(chē),其特征在于, 上述把持部構(gòu)成為,在上述容器的蓋體位于相對(duì)于上述行進(jìn)體的行進(jìn)方向在俯視觀察正交的方向的一側(cè)的狀態(tài)下把持上述容器的上端部; 上述蓋落下防止體由板狀體構(gòu)成,并且沿著上述行進(jìn)體的行進(jìn)方向向上述接近位置和上述遠(yuǎn)離位置切換自如地構(gòu)成,所述板狀體在俯視觀察與上述行進(jìn)體的行進(jìn)方向正交的方向上薄。7.如權(quán)利要求1?6中任一項(xiàng)所述的物品輸送車(chē),其特征在于, 上述把持部構(gòu)成為,通過(guò)滑動(dòng)移動(dòng)被位置切換為上述把持位置和上述把持解除位置; 上述蓋落下防止體構(gòu)成為,能夠繞水平軸心轉(zhuǎn)動(dòng)而將姿勢(shì)切換為上述接近位置和上述遠(yuǎn)離位置; 上述連動(dòng)機(jī)構(gòu)由連桿機(jī)構(gòu)構(gòu)成,所述連桿機(jī)構(gòu)將上述把持部的滑動(dòng)移動(dòng)變換為上述蓋落下防止體的轉(zhuǎn)動(dòng)移動(dòng)。
【專利摘要】本發(fā)明提供一種在能夠防止蓋體從由把持部把持的容器的落下的同時(shí)、能夠抑制裝置的大型化的物品輸送車(chē)。設(shè)有:落下防止體(32),向在蓋體(Bt)的外表面?zhèn)冉咏谏w體(Bt)而防止蓋體(Bt)的落下的接近位置、和從蓋體(Bt)遠(yuǎn)離而容許蓋體(Bt)的拆裝的遠(yuǎn)離位置切換自如;連動(dòng)機(jī)構(gòu)(R),隨著一對(duì)把持部(31)被把持驅(qū)動(dòng)部(30m)從把持位置切換為把持解除位置,將蓋落下防止體(32)從接近位置向遠(yuǎn)離位置切換,并且隨著一對(duì)把持部(31)被把持驅(qū)動(dòng)部(30m)從把持解除位置切換為把持位置,將蓋落下防止體(32)從遠(yuǎn)離位置向接近位置切換。
【IPC分類】B61B3/02, B65G35/00
【公開(kāi)號(hào)】CN104973391
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201510153659
【發(fā)明人】和田吉成
【申請(qǐng)人】株式會(huì)社大福
【公開(kāi)日】2015年10月14日
【申請(qǐng)日】2015年4月2日
【公告號(hào)】US20150287623