技術特征:
技術總結
本發明公開了一種連續制備大顆粒硅溶膠的方法,該方法通過不斷地滴加堿性溶液與硅酸前驅體,以達到連續進料、連續出料、二氧化硅顆粒連續生長的目的;而且該硅溶膠具有除鉀或鈉離子外其他所有金屬雜質含量低的品質,而鉀離子對大多數電子產品的拋光基本無影響。連續法制備硅溶膠,可以在有限的空間與時間內連續地生產出所需要粒徑的大顆粒硅溶膠,與間隙法相比,生產效率大大提高。
技術研發人員:王宇湖;余佳佳
受保護的技術使用者:蘇州納迪微電子有限公司
技術研發日:2017.06.23
技術公布日:2017.09.15