21定位，減少所述拋光片21的偏移，避免拋光片21與凹槽13側壁接觸而造成凹槽13側壁損傷；而且，在加強拋光片21定位的同時提高拋光片21的移動穩定性，便于使用者發力，提高拋光凹槽底部的便捷性。
[0047]此外，所述清潔頭部20采用彈性材料制成，且尺寸大于或等于所述凹槽13的尺寸，從而可起到在對凹槽底部拋光的同時清洗所述凹槽13的側壁的功效。
[0048]結合參考圖3和圖4，本實施例中，所述拋光片21貼附在所述圓柱狀的清潔頭部20的側壁，所述拋光片21的結構與所述圓柱狀清潔頭部結構相匹配。
[0049]所述拋光片21的具體結構包括:所述拋光片21為矩形結構，且長度方向平行于圓柱狀清潔頭部21的軸向，所述拋光片21與所述清潔頭部20的貼合面沿所述拋光片21的寬度方向(即凹槽13的寬度方向)呈中間下凹的圓弧形結構，從而提高所述拋光條21貼附在清潔頭的側壁上的穩定性；而所述拋光片21與所述凹槽13底部14的接觸面呈中間凸起的環形結構，使得所述拋光片21盡可能與所述凹槽13的底部14貼合，提高拋光效果。
[0050]本實施例中，拋光片21的寬度d3小于所述凹槽13的底部14的寬度d7，從而在拋光過程中，所述拋光片21貼合在所述凹槽13的底部14，同時避免所述拋光片21觸及到凹槽13的側壁，從而減少凹槽13側壁的損傷，進而避免凹槽I側壁被拓寬造成凹槽不同部位寬度差異的缺陷，提高了后續使用過程中，密封條裝入凹槽13后的穩定性，進而提高密封條后續使用過程中的密封性。
[0051]可選地，本實施例中，所述凹槽13的寬度d7與所述拋光片21的寬度d3的差值小于或等于0.5mm,即d7-d3 ( 0.5mm,從而避免拋光過程中所述拋光片21與凹槽13側壁相接觸而造成的凹槽13側壁損傷，同時還可提高拋光片21覆蓋所述凹槽13的底部14的面積，以提聞拋光的效率。
[0052]在靶材制備領域，背板背部的所述凹槽13多為首尾相接的圓環形結構，在對凹槽的底部進行拋光的過程中，清潔頭部20的頂部容易觸及所述凹槽的側壁。本實施例中，所述清潔頭部20的頂端未貼附拋光片而是僅貼附于所述清潔頭部20的側壁，這樣可有效避免拋光過程中拋光片21觸及凹槽13側壁而造成凹槽13被擴寬的缺陷。為此，僅在所述清潔頭部20的側壁貼附所述拋光片21可有效提高拋光的安全性。
[0053]可選地，本實施例中，所述拋光片21的長為4?6_(即，所述拋光片沿所述清潔頭部20的軸向上的長度)，從而在使用過程中，降低安裝拋光片21的清潔頭部20面積過大而增加清潔頭部20移動難度的問題，還可以減小由此造成的拋光片21容易觸及凹槽13側壁造成缺陷的問題，從而提高拋光片21移動靈活性。
[0054]具體地，所述拋光片21為砂紙。在所述砂紙表面設有磨砂顆粒，用于增加拋光片21與凹槽13的底部14的摩擦力，以提高拋光效率。當然所述拋光片21還可為其他的材料，只要能實現靶材底部拋光目的的材料均在本發明的保護范圍內，且具體材料并不限定本發明的保護范圍。
[0055]值得注意的是，所述拋光裝置還可包括與清潔頭部20相連并固定在一起的手柄30手持等部件，拋光過程中，可通過手柄30將所述清潔頭部20嵌入所述凹槽13中，方便操作。但是本發明對是否設置所述手柄30并不做限制。
[0056]實施例2
[0057]參考圖5和圖6所示，為本發明另一實施例凹槽底部拋光裝置的結構示意圖。
[0058]本實施例的凹槽底部拋光裝置與實施例1中的凹槽底部拋光裝置技術方案的相同之處不再贅述，不同之處在于:
[0059]本實施例中，所述清潔頭部40為立方柱狀，所述拋光片41貼附在所述立方柱狀的一側壁表面上，為平整的平面結構。且，所述拋光片41的寬度d5小于凹槽底面的寬度。
[0060]本實施例中，所述清潔頭部40的寬度d2大于凹槽的寬度，使得所述清潔頭部嵌入凹槽后，所述清潔頭部40的側壁抵住凹槽側壁，以加強拋光片41定位。
[0061]本實施例中，貼附在立方柱狀清潔頭部40側壁的所述拋光片41為平面結構，從而便于拋光底部為平面的凹槽。
[0062]值得注意的是，除上述兩個實施例提供的圓柱狀以及立方柱狀的清潔頭部外，本發明的清潔頭部還可為多邊形立柱或是其他結構，所述清潔頭部的結構并不限定本發明的保護范圍。
[0063]本發明還提供了一種以上述凹槽底部拋光裝置對諸如靶材組件背板上的凹槽進行拋光的凹槽底部拋光的方法。
[0064]所述凹槽底部拋光的方法包括:
[0065]提供本發明所提供的凹槽底部拋光裝置；
[0066]將上述凹槽底部拋光裝置的清潔頭部嵌于凹槽內，且將使得清潔頭部上的拋光片表面與凹槽底部貼合的同時不與所述凹槽側壁接觸；
[0067]之后，沿著所述凹槽延伸方向移動所述清潔頭，使得所述拋光片與凹槽底部產生摩擦，以對所述凹槽底部進行拋光。
[0068]本實施例提供給的凹槽底部拋光的方法中，采用的拋光裝置的清潔頭部所安裝的拋光片的寬度小于所述凹槽寬度，從而避免拋光時拋光片和凹槽側壁發生磨擦而致使凹槽側壁局部受損且被拓寬的問題，進而可以減少凹槽不同部位寬度差異的缺陷；并降低密封條嵌入凹槽后凹槽局部寬度差異而導致的密封條表面平整度的差異，這樣可以降低及密封條出現局部脫落的概率，進而提高密封條裝入凹槽后的穩定性，以及密封條后續使用過程中的密封性。
[0069]雖然本發明披露如上，但本發明并非限定于此。任何本領域技術人員，在不脫離本發明的精神和范圍內，均可作各種更動與修改，因此本發明的保護范圍應當以權利要求所限定的范圍為準。
【主權項】
1.一種凹槽底部拋光裝置，用于對凹槽底部進行拋光處理，其特征在于，包括: 清潔頭部，用于在拋光處理過程中置于所述凹槽內； 裝在所述清潔頭部上的拋光片，所述拋光片的寬度小于或等于所述凹槽的寬度，用于對凹槽底部進行拋光。2.如權利要求1所述的凹槽底部拋光裝置，其特征在于，所述清潔頭部呈柱狀結構，所述拋光片貼在所述柱狀結構的側壁。3.如權利要求2所述的凹槽底部拋光裝置，其特征在于，所述拋光片為圓柱狀或是立方柱狀。4.如權利要求1所述的凹槽底部拋光裝置，其特征在于，所述清潔頭部采用彈性材料制成。5.如權利要求4所述的凹槽底部拋光裝置，其特征在于，所述清潔頭部的材料為棉花或是橡膠。6.如權利要求4所述的凹槽底部拋光裝置，其特征在于，所述清潔頭部的尺寸大于或等于所述凹槽尺寸，且能夠嵌于所述凹槽內。7.如權利要求1所述的凹槽底部拋光裝置，其特征在于，所述拋光片為砂紙。8.如權利要求1所述的凹槽底部拋光裝置，其特征在于，所述凹槽為圓環形凹槽。9.如權利要求1所述的凹槽底部拋光裝置，其特征在于，所述拋光片為平整的平面； 或是沿著凹槽的寬度方向，所述拋光片與凹槽底部的接觸面呈中間凸起的環形結構。10.一種凹槽底部拋光的方法，其特征在于，包括: 提供如權利要求1?9任一項權利要求所述的凹槽底部拋光裝置； 將所述清潔頭部嵌于所述凹槽內，且將使得所述拋光片表面與凹槽底部貼合的同時不與所述凹槽側壁接觸； 沿著所述凹槽延伸方向移動所述清潔頭部，使得所述拋光片與凹槽底部產生摩擦，以對所述凹槽底部進行拋光。
【專利摘要】本發明提供了一種凹槽底部拋光裝置及方法，所述凹槽底部拋光裝置包括：清潔頭部；和裝在所述清潔頭部上的拋光片，所述拋光片的寬度小于所述凹槽寬度。使用時，所述清潔頭部置于所述凹槽內，且所述拋光片與所述凹槽的底部相接觸，基于所述拋光片的寬度小于所述凹槽寬度，從而避免采用拋光片對凹槽底部進行拋光時，拋光片容易和凹槽側壁發生磨擦而致使凹槽側壁局部受損且被拓寬的問題，進而減少造成凹槽不同部位寬度差異的缺陷，并降低在密封條嵌入凹槽后凹槽局部寬度差異而導致的密封條各部位表面平整度的差異，進而減小了密封條以及出現局部脫落的概率。
【IPC分類】B24D15/02
【公開號】CN105437095
【申請號】CN201410370595
【發明人】姚力軍, 相原俊夫, 大巖一彥, 潘杰, 王學澤, 鐘偉攀
【申請人】寧波江豐電子材料股份有限公司
【公開日】2016年3月30日
【申請日】2014年7月30日