掩模框架組件及其制造方法
【技術領域】
[0001]本發明的實施方式涉及用于薄膜沉積的掩模框架組件以及該掩模框架組件的制造方法。
【背景技術】
[0002]通常，作為有源發光型顯示元件，作為平坦式顯示器之一的有機發光顯示裝置不僅具有視角寬、對比度優異的優點，而且還具有能夠通過低電壓驅動、呈輕量的扁平狀并且響應速度快的優點，由此作為下一代顯示元件而備受矚目。
[0003]這種發光元件根據形成發光層的物質劃分為無機發光元件和有機發光元件，并且相比于無機發光元件，有機發光元件具有亮度、響應速度等特性優秀、能夠以彩色顯示等的優點，因此對其的開發最近廣為進行。
[0004]有機發光顯示裝置通過真空沉積法形成有機膜和/或電極。然而，隨著有機發光顯示裝置逐漸被高分辨率化，沉積工藝中所用的掩模的開放式狹縫(open slit)的寬度逐漸變窄并且其散布也需要被進一步減小。
[0005]此外，為了制造高分辨率有機發光顯示裝置，需要減少或去除陰影現象(shadoweffect) ο為此，目前在襯底與掩模緊貼的狀態下進行沉積工藝，并且正在興起用于改善襯底與掩模的附接度的技術的開發。
[0006]上述的【背景技術】是發明人為得出本發明而擁有的技術信息或者在得出本發明的過程中習得的技術信息，并不一定是在本發明的申請前已公開于一般公眾的公知技術。
【發明內容】
[0007]本發明的實施方式提供掩模框架組件及其制造方法。
[0008]根據本發明的一方面，提供掩模框架組件，所述掩模框架組件包括具有開口部和圍繞所述開口部的支承部的框架、在與所述開口部對應的位置包括沉積區域的掩模、和可旋轉地設置到所述支承部并且與所述掩模連接的位置固定部。
[0009]此外，所述掩模框架組件還可以包括供所述位置固定部的至少一部分插入并且接合到所述框架的支承件。
[0010]此外，所述位置固定部可以包括多個凸出部，其中，所述多個凸出部中的一個凸出部可以與所述掩模接合，所述多個凸出部中的另一個凸出部可以被插入到所述支承件的鎖定槽中。
[0011]此外，所述位置固定部可以包括固定到所述支承部的軸和具有多個凸出部的輪，其中，所述軸插入到所述輪中。
[0012]此外，所述凸出部可以所述軸為中心形成為放射形。
[0013]此外，所述位置固定部可以沿著所述框架布置為多個。
[0014]此外，所述支承件可以相對于所述框架進行線性運動。
[0015]此外，所述支承件可以包括形成有供所述位置固定部的至少一部分插入的鎖定槽的基體部、布置在所述基體部與所述框架之間的彈性部、和一部分插入到所述框架中并且貫通所述基體部和所述彈性部的固定部件。
[0016]此外，所述彈性部可以在其壓縮方向的相反方向上形成排斥力。
[0017]此外，如果調節所述鎖定槽的高度，則所述位置固定部可以進行旋轉以調節所述掩模的張力。
[0018]根據本發明的另一方面，提供掩模框架組件，所述掩模框架組件包括具有開口部和圍繞所述開口部的支承部的框架、在與所述開口部對應的位置包括沉積區域的掩模、可旋轉地設置到所述框架并且與所述掩模接合的位置固定部、和與所述框架接合并且通過相對于所述框架上下運動來旋轉所述位置固定部的支承件，
[0019]此外，所述位置固定部可以包括多個凸出部，其中，所述多個凸出部中的一個凸出部可以與所述掩模接合，所述多個凸出部中的另一個凸出部可以被插入到所述支承件的鎖定槽中。
[0020]此外，所述支承件可以包括形成有供所述位置固定部的一部分插入的鎖定槽的基體部、布置在所述基體部與所述框架之間的彈性部、和一部分插入到所述框架中并且貫穿所述基體部和所述彈性部的固定部件。
[0021]此外，如果調節所述鎖定槽的高度，則所述位置固定部可以進行旋轉以調節所述掩模的張力。
[0022]此外，所述彈性部可以在其壓縮方向的相反方向上形成排斥力。
[0023]此外，所述支承件可以在所述框架的外側布置成與所述位置固定部對應。
[0024]根據本發明又另一方面，提供掩模框架組件制造方法，所述方法包括將包括多個凸出部的位置固定部設置在框架的凹槽中的步驟；將所述位置固定部的所述多個凸出部中的第一凸出部與掩模的邊緣部焊接并接合的步驟；以及將所述多個凸出部中的、不同于所述第一凸出部的第二凸出部插入到支承件的鎖定槽中以固定所述位置固定部的步驟。
[0025]此外，所述方法還可以包括為了替換所述掩模，將與所述第一凸出部相鄰的第三凸出部與替換的掩模的邊緣部接合并且將與所述第二凸出部相鄰的第四凸出部插入到所述鎖定槽中以固定所述位置固定部的步驟。
[0026]此外，所述方法還可以包括使所述支承件相對于所述框架上下運動來旋轉所述位置固定部以調節所述掩模的張力的步驟。
[0027]通過權利要求范圍和發明的詳細說明，除了上述以外的其他方面、特征、優點將變得明確。
[0028]根據本發明的實施方式，掩模框架組件及其制造方法通過最小化替換掩模時所產生的之間的間隔從而可以將有機發光元件精密地形成在襯底上。
【附圖說明】
[0029]圖1是示出根據本發明的實施方式的掩模框架組件的立體圖。
[0030]圖2是沿圖1的I1-1I取得的剖視圖。
[0031]圖3是放大示出圖2的A的局部剖視圖。
[0032]圖4是示出根據本發明的另一實施方式的掩模框架組件的剖視圖。
[0033]圖5a、5b和5c是放大示出圖4的B的局部剖視圖。
[0034]圖6是示出使用根據本發明的實施方式的掩模框架組件沉積的有機發光顯示裝置的一個子像素的剖視圖。
【具體實施方式】
[0035]本發明可以實施多種變型并且可以具有多種實施方式，并且旨在附圖中示出特定實施方式并對其進行詳細說明。通過參照結合附圖詳細說明的實施方式，本發明的效果和特征以及實現其的方法將變得明確。然而，本發明并不限于下面所公開的實施方式，而是可以多種形態實現。在下面的實施方式中，“第一”、“第二”等的措辭并不具有限定的含義，而是以將一個構成要素與其他構成要素區分開的目的使用。此外，除非文中另有明確指示，否則單數的表述包括復數的表述。此外，“包括”或“具有”等的措辭是指說明書中所述記載的特征或構成要素的存在，而不是提前排除一個以上的其他特征或構成要素的附加可能性。
[0036]此外，為了說明的便利，附圖中構成要素的大小可以被夸大或被縮小。例如，為了說明的便利，附圖中所示的各構件的大小和厚度被任意示出，因此本發明并不一定限定于圖中所示。此外，當能夠以不同的方式實現某些實施方式時，特定的工藝可以按照與所說明的順序不同的順序執行。例如，連續說明的兩個工藝可以實質上同時執行，也可以按照與所說明的順序相反的順序進行。
[0037]下面，將參照附圖對本發明的實施方式進行詳細說明，并且在參照附圖進行說明時，將對相同或對應的構成要素賦予相同的附圖標記，并且將省略對其的重復描述。
[0038]圖1是示出根據本發明的實施方式的掩模框架組件100的立體圖，圖2是沿圖1的I1-1I取得的剖視圖，圖3是放大示出圖2的A的局部剖視圖。
[0039]參照圖1至圖3，掩模框架組件100可以包括框架110、掩模120和位置固定部130。
[0040]框架110可以與掩模120接合以支承掩模120。框架110可以包括可使沉積物質通過的開口部和形成于開口部的外側的支承部。框架110可以由金屬或合成樹脂等制成，并且形成為四邊形形狀并具有一個以上的開口部，但是實施方式的思想并不限于此，而是可以形成為圓形或六邊形等多種形態。但是，為了說明的便利，下文中將主要對包括四邊形形狀的支承部的框架110進行說明。
[0041]框架110是與掩模120的邊緣部123接觸的部分。框架110可以包括供位置固定部130設置的凹槽111。凹槽111可設置為多個，并且其布局可以是多種形式的。例如，可以在框架110的每條邊上各形成一個凹槽111，或者可以在框架110的每條邊上各形成多個凹槽111。
[0042]掩模120可以包括沉積區域121和形成于沉積區域121的外側的邊緣部123。沉積區域121可以包括沉積用圖案部122。沉積區域121可以