046]回轉馬達11容置在下基部101中。
[0047]回轉馬達11在由外部電源(未示出)供給電力時產生旋轉驅動力。
[0048]旋轉驅動力輸出至軸12，該軸12與回轉馬達11在回轉馬達11的頂側連接。
[0049]軸12的底側的端部連接至回轉馬達11，并且軸12的頂側的端部從下基部101沿頂側方向突出。
[0050]金屬構件5與軸12的頂側的端部接合。
[0051]旋轉驅動單元10經由軸12使金屬構件5旋轉。
[0052]使金屬構件5旋轉的旋轉驅動單元10的旋轉速度為相對較低的速度，該速度例如為60rpm或更小。
[0053]金屬構件支撐單元20包括上基部201和位置調節器21。
[0054]上基部201位于暫時接合裝置1的頂側。
[0055]位置調節器21布置布置成從上基部201向底側方向延伸。
[0056]位置調節器21的底側的端部與金屬構件5的頂側的端部接觸。
[0057]位置調節器21調節金屬構件5相對于容置在壓制成形部30內側的壓制粉末構件7的位置。
[0058]壓制成形部30包括模具31、模具支撐部32和33、下沖壓部34、上沖壓部35、柱塞部36和壓力產生器37。
[0059]模具31為金屬環形構件，并且布置在下基部101與上基部201之間。
[0060]模具31布置在預定位置中，具體地，布置在壓制粉末構件7與金屬構件5通過多個模具支撐部32和33暫時接合的位置處。模具支撐部32和33形成為大致呈柱形形狀。模具支撐部32布置在下基部101的頂側，并且模具支撐部33布置在上基部201的底側。
[0061]模具31的徑向內側的內壁311形成由形成壓制粉末構件7的金屬粉末填充的填充空間。
[0062]此外，模具31具有供流體流動的流動路徑312。
[0063]用于降低模具31的溫度的冷卻流體從流體供給源(未示出)供給至流動路徑312。
[0064]下沖壓部34為布置在下基部101的頂側的大致筒狀金屬構件。
[0065]通孔342沿著暫時接合裝置1的中心軸線CA1的方向形成在下沖壓部34中。
[0066]軸12插入穿過通孔342。
[0067]下基部34的頂側的端面341形成為從徑向內端部朝向徑向外端部向底側傾斜，如圖3至圖5中所示。
[0068]上沖壓部35為布置在上基部201的底側的大致筒狀金屬構件。
[0069]上沖壓部35以能夠沿豎向方向(頂側-底側方向)往復移動的方式布置，如圖3至圖5中所示。
[0070]通孔352沿著中心軸線CA1的方向形成在上沖壓部35中。
[0071]位置調節器21插入到通孔352中。
[0072]上沖壓部35的底側中的端面351形成為從徑向內端部朝向徑向外端部向頂側傾斜，如圖3至圖5中所示。
[0073]在后文將作描述的燒結擴散接合構件的制造方法中的壓制粉末構件7的預形成中，當上沖壓部35和下沖壓部34最近時，形成壓制粉末構件的填充空間的包括中心軸線CA1的截面形狀變成梯形形狀，如圖4和圖5中所示。
[0074]此時，如圖4和圖5中所示，填充空間的截面形狀具有比沿中心軸線CA1方向的長度D1長的長度D2。長度D1為壓制粉末構件7的徑向內側的長度，該徑向內側為壓制粉末構件7與金屬構件5接觸的一側。
[0075]長度D2為壓制粉末構件7的徑向外側的長度，該徑向外側為與壓制粉末構件7和金屬構件5接觸的一側相反的一側。長度D2構造成是長度D1的1.3倍或更小。
[0076]壓力產生器37定位在上基部201的頂側。
[0077]壓力產生器37經由柱塞部36聯接至上沖壓部35。
[0078]壓力產生器37使上沖壓部35沿豎向方向移動，并且將壓力施加至對壓制粉末構件7進行壓制成形的上沖壓部35。
[0079]接下來，對根據本實施方式的燒結擴散接合構件的制造方法進行描述。
[0080]燒結擴散接合構件的制造方法的流程圖在圖2中示出。
[0081]在圖3至圖5中示出了在根據圖2中示出的流程圖制造燒結擴散接合構件期間的暫時接合裝置1的基本部分(圖1的III部分)的放大圖。
[0082]首先，在步驟(下文稱為“S”) 101中，將壓制粉末材料8與金屬構件5放置于暫時接合裝置1，該壓制粉末材料8例如為形成壓制粉末構件7的金屬粉末81 (參照圖6)或減小壓制成形期間的回彈的樹脂粉末。
[0083]此時，在壓制粉末材料8與金屬構件5之間的相對位置關系中，任一者均可以定位在內側。
[0084]在S101中，首先，將通過例如鍛壓成形并且經碳氫化合物基清洗液清洗過的金屬構件5放置于暫時接合裝置1以使之與軸12的頂側的端部連接，并且通過位置調節器21調節金屬構件5的位置。
[0085]接下來，將例如作為金屬粉末的Fe-Cu-C基金屬粉末和作為樹脂粉末的硬脂酸鋅粉末作為壓制粉末材料8填充到由金屬構件5的徑向外側的外壁6、下沖壓部34的端面341以及模具31的內壁311形成的大致環形填充空間中(圖3)。
[0086]接下來，在S102中，使壓制粉末材料8預成形。
[0087]在S102中，將壓力產生器37產生的壓力施加至上沖壓部35，將壓制粉末材料8夾置在下沖壓部34與上沖壓部35之間，并且通過第一表面壓力P1對壓制粉末材料8加壓(圖 4)。
[0088]第一表面壓力P1例如為400MPa。
[0089]由此，預成形了如下壓制粉末構件7，S卩，即使在對該壓制粉末構件7施加某種較大程度的力時，該壓制粉末構件7也能夠維持大致環形形狀而不被損壞。
[0090]接下來，在S103中，作為滑動過程，使壓制粉末構件7和金屬構件5相對于彼此滑動。
[0091]具體地，在S102中，在將第一表面壓力P1施加到壓制粉末構件7的同時驅動回轉馬達11。
[0092]金屬構件5通過由回轉馬達11產生的旋轉驅動力沿由圖5中的白色箭頭R1示出的周向方向旋轉。
[0093]此時的旋轉速度相對較慢，例如為lOrpm，并且旋轉時間為4秒。
[0094]即，金屬構件5相對于壓制粉末構件7的旋轉少于一轉。
[0095]此時，作為金屬構件5相對于壓制粉末構件7的移動距離的滑動距離構造成300mm或更小。
[0096]當金屬構件5的旋轉方向，S卩，滑動方向為沿周向方向時，能夠獲得足夠的滑動距離，并且易于獲得滑動過程的足夠的距離。
[0097]圖6中示出了當預成形的壓制粉末構件7和金屬構件5相對于彼此滑動時在壓制粉末構件7與金屬構件5之間的界面的截面圖在。
[0098]如圖6中所示，金屬構件5的外壁6相對于壓制粉末構件7旋轉，壓制粉末構件7的位置在壓制成形部30中相對固定，并且外壁6的表面通過包含在壓制粉末構件7中的金屬粉末81而變新。
[0099]具體地，諸如形成在外壁6上的氧化膜或粘附至外壁6的脫模劑之類的雜質被移除，并且具有在外壁6上形成為遵循金屬粉末81的表面形狀的波痕(waviness)。
[0100]此外，當壓制粉末構件7和金屬構件5相對于彼此滑動時，例如水的冷卻流體沿設置在模具31中的流動路徑312流動，使得模具31的與壓制粉末構件7接觸的內壁311的溫度變得比包含在壓制粉末構件7中的硬脂酸鋅的熔點低。
[0101]應該注意的是，冷卻流體的流動在圖1中由箭頭F示出。
[0102]接下來，在S104中，作為加壓過程，對壓制粉末構件7進一步加壓。
[0103]具體地，上沖壓部35通過壓力產生器37施加在壓制粉末構件7上的作為第二作用力的第二表面