度太厚，則基體部分13有容易受收縮影響的風險。另一方面，如果基體部分13的厚度太薄，則粘合劑層12可能更容易斷裂。以上的厚度范圍是有利的，因為在該范圍內，可確保基體部分13的強度，并且消除由收縮帶來的影響。
[0032]例如，對于研磨3mX 4m的長方形玻璃的情況，測量基體部分13的頂面30 (形成末端部分14的表面)的表面積一般是30mm2或更高、優選地50mm2或更高、更優選地10mm2或更高。此外，基體部分13的頂面30的表面積一般是400mm2或更小、優選地300mm 2或更小、更優選地200_2或更小。當然，最佳范圍根據待研磨的對象和加工壓力(例如，一般研磨壓力為約50至300g/cm2)而不同。
[0033]通過選擇諸如這樣的范圍，足夠量的末端部分14可布置在基體部分13上，并且可完全確保研磨區。此外，從與厚度情況類似的角度看，如果基體部分13的表面積太大，則擔心的是，基底層11可能喪失柔韌性。另一方面，如果基體部分13的表面積太小，則研磨層12變窄，這樣會導致研磨可加工性降低。因此，在以上的表面積范圍內，可確保基底層11的研磨可加工性和柔韌性。
[0034]基體部分13的頂面30的平面形狀可適當地選自諸如三角形、矩形、六邊形等多邊形、包括橢圓形狀的圓形形狀等。在選擇這個平面形狀的過程中，當實現研磨時，考慮研磨墊I和待研磨對象伴隨著相互旋轉移動或者僅其中一個的旋轉移動的接觸，并且優選的是能夠執行各向同性研磨的形狀。從這個角度來看，圓形、正方形或其它各向同性形狀比作為基體部分13的頂面30的平面形狀的長方形形狀或其它各向同性形狀更優選。此外，通過使基體部分13的頂面30的平面形狀具有各向同性，可允許末端部分14的布置具有各向同性，并且末端部分14可以高密度布置在基體部分13上。
[0035]基體部分13的三維形狀還可以是柱狀主體或截頭形狀主體。具體地，截頭形狀的基體部分13是優選的，因為應力不易集中在成角度部分中，并且與基底層11的接觸表面積增加。
[0036]這里，將針對作為例子的基體部分13布置成方格形狀的情況，描述基體部分13的表面積的選擇。為了簡化描述，用一維寬度對大小關系的貢獻來替代二維表面對大小關系的貢獻并且進行說明。在選擇基體部分13的寬度尺寸的過程中，必須考慮待研磨對象的表面的起伏程度、待研磨對象的材料強度的程度、待研磨對象的外部形狀和尺寸、末端部分14的高度等。待研磨對象的表面起伏的節距對于小對象而言達到約I μ m，并且對于大對象而言達到約lm。因此，例如，通過組合起伏節距的寬度和基體部分13的寬度，研磨表面可更緊密地接觸待研磨對象的表面。此外，如果待研磨對象由不易變形的材料形成，則在進行研磨期間，表面的起伏不容易改變，因此，通過減小基體部分13的寬度，更容易使研磨表面緊密地接觸待研磨對象的表面。另一方面，如果待研磨對象由易變形的材料形成，則在進行研磨期間，表面的起伏容易改變，因此，通過增大基體部分13的寬度，更容易使研磨表面緊密地接觸待研磨對象的表面。
[0037]此外，待研磨小對象的直徑是例如大約20mm，并且待研磨大對象的直徑達到例如大約3mX3m，因此，優選地根據這些尺寸選擇基體部分13的寬度。在與末端14的關系中，當末端14的長寬比是高的時，進行研磨時末端部分14上的扭矩(圍繞基體部分13的根部的力的力矩)變大，因此，優選地完全確保基體部分13的寬度并且保持末端14。
[0038]通過以預定間隔設置在基底層11上的凹槽部分15來劃分相鄰的基體部分13。例如，如圖3中所示，凹槽部分15的底部部分15是基底層11上半徑為0.8mm的R形(圓形形狀)，使得基底層11暴露于底部部分的頂點部分。注意的是，如本文提及的基底11的“暴露”意味著期望的是基本上沒有妨礙基底層11的柔韌性的凹槽部分15的底部部分處的研磨材料的厚度，并且基底層11不一定必須完全暴露于凹槽部分15的底部部分。
[0039]通過形成這種類型的凹槽部分15，基體部分13的側表面具有呈現漸縮形狀的根部分。如果待被研磨墊I研磨的對象是大基底，則往往會向研磨墊I施加大負載，從而導致待研磨對象具有剛性。因此，在研磨層12中，需要關于基底層11的接合強度和減輕研磨期間添加的應力的構造。因此，通過采用漸縮形狀用于基體部分13處的側表面部分，可保持基底層11和基體部分13之間的接觸表面積，并且可確保關于基底層11的接合強度。此外，因為基體部分13的根部分沒有形成凹口，所以可減輕進行研磨期間在基體部分13的根部分中添加的應力。
[0040]除了圖3所示的倒圓形狀之外，基體部分13的漸縮形狀還可例如具有像圖4a所示的基體部分13A —樣是完全傾斜表面的側表面，并且可具有像圖4b所示的基體部分13B一樣其中只有側表面的根部分是傾斜表面的表面形狀(包括倒角表面形狀)。另外，通過這些類型的形狀，可完全保持基底層11和基體部分13之間的接觸表面積，可確保基底層11和基體部分13之間的接合強度。此外，因為基體部分13的根部分沒有形成凹口，所以可防止局部應力集中在基體部分13的根部分中。
[0041]凹槽部分15的寬度可合適地在例如大約0.5mm至3mm的范圍內選擇。如果凹槽部分15的寬度太窄，則擔心基底層11的柔韌性會降低。此外，還可能想到，當研磨待研磨對象時產生的研磨廢料可能容易堵塞凹槽部分15，從而導致研磨效率降低。另一方面，如果凹槽部分15的寬度太寬，則布置在基體部分13上的末端部分14的每單位面積的體積將變小，研磨墊I的使用壽命將減少。因此，通過在以上范圍內創建凹槽部分15的寬度，可保持研磨墊I的研磨效率并且可確保其使用壽命。
[0042]這些凹槽部分15布置在相鄰的基體部分13之間，并且在基底層11上構造一組凹槽。對于這組凹槽的形狀的要求包括例如凹槽部分15本身相互連通，并且存在相互交叉的凹槽部分15。
[0043]圖5a至圖5e示出基體部分13和14之間的各組凹槽的形狀的示例。在這個圖中，為了方便描述，用線表示凹槽部分15。如圖5a中所示，提供一組凹槽17A作為一組凹槽的構造的示例，其中，直線形狀的凹槽部分15布置成格子形狀。這組凹槽17A形成其中水平和垂直凹槽部分15正交的方格。這種構造是優異的，因為即使當實現研磨時有研磨墊I和待研磨對象的伴隨相互旋轉移動和其中僅一個的旋轉移動時，也保持研磨各向同性。凹槽部分15的交叉角度可以為大約45°至135°，類似于圖5b中示出的一組凹槽17B。另外，在這種情況下，可保持一定量的研磨各向同性。
[0044]此外，凹槽部分15的線不限于直線，如圖5c所示，還可通過布置成方格的波形線形的凹槽部分15來形成一組凹槽17C。此外，如圖5d所示，一組凹槽17D還可由通過居中成型線從中心徑向延伸的線形成，一組凹槽17E還可由通過螺旋成型線從中心徑向延伸的線形成。通過像上述凹槽一樣形成一組凹槽17，進行研磨期間產生的研磨廢料可平穩地在凹槽部分15中流動，可抑制由于研磨廢料堵塞凹槽部分15而導致研磨效率降低。
[0045]例如，末端部分14布置在基體部分13上，使得密度變成每Icm20.05至300個末端部分。在該實施例中，例如，末端部分14形成距離基底層11的高度是大約3mm的大致四棱柱形狀，并且在基體部分13上形成2X2矩陣形狀。換句話講，這種類型的構造意味著，通過多個末端部分14共享單個基體部分13來形成各個組。從平面圖來看，末端部分14的頂面(研磨表面)形成例如測量3mmX3mm的大致方形。例如，末端14的側表面還可以與基體部分13的漸縮形狀相同的角度形成漸縮形狀。
[0046]可在考慮到以下幾點的情況下，合適地變化形成在基體部分13上的末端部分14的數量。當末端部分14的數量是低的時，由于待研磨對象的表面起伏，導致研磨表面和待研磨對象可容易地在一個點或多個點接觸。因此，貼合待研磨對象的表面粗糙度往往是容易的。另一方面，如果末端部分14的數量是多個，則即使待研磨對象的表面中有起伏，由于基底層11的柔韌性，導致基體部分13和末端部分14跟蹤待研磨對象的表面的形狀，并且研磨表面和待研磨對象可容易地在多個點接觸。因此，研磨的量和研磨速度增加，并且整理的程度往往會增加。
[0047]此外，通過凹槽部分16來劃分相鄰的末端部分14。如圖2和圖3所不，凹槽部分16的底部部分在基體部分13上形成半徑為約0.8mm的倒圓形狀，使得基體部分13暴露于底部部分的頂點部分。通過以此方式采用凹槽部分16的底部部分的倒圓形狀，末端14的側表面的基體部分具有漸縮形狀。因此，確保了末端部分14和基體部分13之間的連