1.一種適用有機發光二極管蒸鍍制程的光罩結構,其特征在于,包含有:
一光罩本體;
一第一對位記號組,對應一影像擷取模塊的一第一影像捕獲設備且包含:
一第一主要記號,設置在所述光罩本體上;以及
一第一輔助記號,設置在所述光罩本體上并鄰近所述第一主要記號;
一第二對位記號組,包含一第二主要記號,所述第二主要記號設置在所述光罩本體上;
一第三對位記號組,包含一第三主要記號,所述第三主要記號設置在所述光罩本體上;以及
一第四對位記號組,包含一第四主要記號,所述第四主要記號設置在所述光罩本體上;
其中,所述第一主要對位記號與所述第二主要對位記號間定義一第一側邊,所述第二主要對位記號與所述第三主要對位記號間定義一第二側邊,所述第三主要對位記號與所述第四主要對位記號間定義一第三側邊,所述第四主要對位記號與所述第一主要對位記號間定義一第四側邊,所述第一輔助對位記號與所述第一主要對位記號間定義一第一參考線,所述第一參考線與所述第四側邊間形成一第一角度,所述第一參考線的長度的公差小于一長度精度值,所述第一角度的公差小于一角度精度值。
2.如權利要求1所述的光罩結構,其特征在于,所述第一主要記號與所述第一輔助記號分別為兩圓形記號,所述第一主要記號具有一第一主要圓心以及一第一主要直徑,所述第一輔助記號具有一第一輔助圓心以及一第一輔助直徑,所述第一參考線是由所述第一主要圓心與所述第一輔助圓心所定義,所述第一主要直徑的長度的公差與所述第一輔助直徑的長度的公差均小于所述長度精度值。
3.如權利要求1所述的光罩結構,其特征在于,所述第一主要記號為一圓形記號,所述第一輔助記號為一正方形記號,所述第一主要記號具有一第一主要圓心以及一第一主要直徑,所述第一輔助記號具有一第一輔助中心以及一第一輔助邊長,所述第一參考線是由所述第一主要圓心與所述第一輔助中心所定義,所述第一主要直徑的長度的公差與所述第一輔助邊長的長度的公差均小于所述長度精度值。
4.如權利要求1所述的光罩結構,其特征在于,所述第二對位記號組對應所述影像擷取模塊的一第二影像擷取模塊且還包含有一第二輔助記號,所述第二輔助記號設置在所述光罩本體上并鄰近所述第二主要記號,所述第二輔助對位記號與所述第二主要對位記號間定義一第二參考線,所述第二參考線與所述第二側邊間形成一第二角度,所述第二參考線的長度的公差小于所述長度精度值,所述第二角度的公差小于所述角度精度值。
5.如權利要求4所述的光罩結構,其特征在于,所述第二主要記號與所述第二輔助記號分別為兩圓形記號,所述第二主要記號具有一第二主要圓心以及一第二主要直徑,所述第二輔助記號具有一第二輔助圓心以及一第二輔助直徑,所述第二參考線是由所述第二主要圓心與所述第二輔助圓心所定義,所述第二主要直徑的長度的公差與所述第二輔助直徑的長度的公差均小于所述長度精度值。
6.如權利要求4所述的光罩結構,其特征在于,所述第二主要記號為一圓形記號,所述第二輔助記號為一正方形記號,所述第二主要記號具有一第二主要圓心以及一第二主要直徑,所述第二輔助記號具有一第二輔助中心以及一第二輔助邊長,所述第二參考線是由所述第二主要圓心與所述第二輔助中心所定義,所述第二主要直徑的長度的公差與所述第二輔助邊長的長度的公差均小于所述長度精度值。
7.如權利要求4所述的光罩結構,其特征在于,所述第三對位記號組對應所述影像擷取模塊的一第三影像擷取模塊且還包含有一第三輔助記號,所述第三輔助記號設置在所述光罩本體上并鄰近所述第三主要記號,所述第三輔助對位記號與所述第三主要對位記號間定義一第三參考線,所述第三參考線與所述第二側邊間形成一第三角度,所述第三參考線的長度的公差小于所述長度精度值,所述第三角度的公差小于所述角度精度值。
8.如權利要求7所述的光罩結構,其特征在于,所述第三主要記號與所述第三輔助記號分別為兩圓形記號,所述第三主要記號具有一第三主要圓心以及一第三主要直徑,所述第三輔助記號具有一第三輔助圓心以及一第三輔助直徑,所述第三參考線是由所述第三主要圓心與所述第三輔助圓心所定義,所述第三主要直徑的長度的公差與所述第三輔助直徑的長度的公差均小于所述長度精度值。
9.如權利要求7所述的光罩結構,其特征在于,所述第三主要記號為一圓形記號,所述第三輔助記號為一正方形記號,所述第三主要記號具有一第三主要圓心以及一第三主要直徑,所述第三輔助記號具有一第三輔助中心以及一第三輔助邊長,所述第三參考線是由所述第三主要圓心與所述第三輔助中心所定義,所述第三主要直徑的長度的公差與所述第三輔助邊長的長度的公差均小于所述長度精度值。
10.如權利要求7所述的光罩結構,其特征在于,所述第四對位記號組對應所述影像擷取模塊的一第四影像擷取模塊且還包含有一第四輔助記號,所述第四輔助記號設置在所述光罩本體上并鄰近所述第四主要記號,所述第四輔助對位記號與所述第四主要對位記號間定義一第四參考線,所述第四參考線與所述第四側邊間形成一第四角度,所述第四參考線的長度的公差小于所述長度精度值,所述第四角度的公差小于所述角度精度值。
11.如權利要求10所述的光罩結構,其特征在于,所述第四主要記號與所述第四輔助記號分別為兩圓形記號,所述第四主要記號具有一第四主要圓心以及一第四主要直徑,所述第四輔助記號具有一第四輔助圓心以及一第四輔助直徑,所述第四參考線是由所述第四主要圓心與所述第四輔助圓心所定義,所述第四主要直徑的長度的公差與所述第四輔助直徑的長度的公差均小于所述長度精度值。
12.如權利要求10所述的光罩結構,其特征在于,所述第四主要記號為一圓形記號,所述第四輔助記號為一正方形記號,所述第四主要記號具有一第四主要圓心以及一第四主要直徑,所述第四輔助記號具有一第四輔助中心以及一第四輔助邊長,所述第四參考線是由所述第四主要圓心與所述第四輔助中心所定義,所述第四主要直徑的長度的公差與所述第四輔助邊長的長度的公差均小于所述長度精度值。
13.如權利要求10所述的光罩結構,其特征在于,所述第一主要對位記號、所述第二主要對位記號、所述第三主要對位記號、所述第四主要對位記號、第一輔助對位記號、所述第二輔助對位記號、所述第三輔助對位記號與所述第四輔助對位記號分別以蝕刻的方式形成在所述光罩本體上。
14.如權利要求10所述的光罩結構,其特征在于,所述第一角度、所述第二角度、所述第三角度與所述第四角度均呈90度。