適用有機發光二極管蒸鍍制程的光罩結構的制作方法

本實用新型涉及一種光罩結構，特別涉及一種適用在有機發光二極管制程并可用以校正影像擷取模塊的定位精度的光罩結構。

背景技術：

在有機發光二極管的蒸鍍制程中，主要是將具有開口的光罩設置在基板前方，以使汽化后的發光分子通過光罩上的開口附著在基板上，為使發光分子能夠準確地附著在基板上，光罩與基板間的對位精度需要達到1微米(μm)。當欲使用影像擷取模塊進行光罩與基板間的對位時，由于影像擷取模塊與蒸鍍機臺間具有組裝誤差(即影像擷取模塊的各影像捕獲設備的設置位置以及方位并不對稱)，使得光罩與基板間的對位精度無法達到要求，進而造成產品良率降低，制造成本攀升。

技術實現要素：

因此，本實用新型的目的在于提供一種適用在有機發光二極管蒸鍍制程并可用以校正一影像擷取模塊的定位精度的光罩結構，以解決上述問題。

為達到上述目的，本實用新型公開一種光罩結構，包含有一光罩本體、一第一對位記號組、一第二對位記號組、一第三對位記號組以及一第四對位記號組，所述第一對位記號組對應一影像擷取模塊的一第一影像捕獲設備且包含一第一主要記號以及一第一輔助記號，所述第一主要記號設置在所述光罩本體上，所述第一輔助記號設置在所述光罩本體上并鄰近所述第一主要記號，所述第二對位記號組包含一第二主要記號，所述第二主要記號設置在所述光罩本體上，所述第三對位記號組包含一第三主要記號，所述第三主要記號設置在所述光罩本體上，所述第四對位記號組包含一第四主要記號，所述第四主要記號設置在所述光罩本體上，所述第一主要對位記號與所述第二主要對位記號間定義一第一側邊，所述第二主要對位記號與所述第三主要對位記號間定義一第二側邊，所述第三主要對位記號與所述第四主要對位記號間定義一第三側邊，所述第四主要對位記號與所述第一主要對位記號間定義一第四側邊，所述第一輔助對位記號與所述第一主要對位記號間定義一第一參考線，所述第一參考線與所述第四側邊間形成一第一角度，所述第一參考線的長度的公差小于一長度精度值，所述第一角度的公差小于一角度精度值。

根據本實用新型其中之一實施例，所述第一主要記號與所述第一輔助記號分別為兩圓形記號，所述第一主要記號具有一第一主要圓心以及一第一主要直徑，所述第一輔助記號具有一第一輔助圓心以及一第一輔助直徑，所述第一參考線是由所述第一主要圓心與所述第一輔助圓心所定義所述第一主要直徑的長度的公差與所述第一輔助直徑的長度的公差均小于所述第一長度經度值。

根據本實用新型其中之一實施例，所述第一主要記號為一圓形記號，所述第一輔助記號為一正方形記號，所述第一主要記號具有一第一主要圓心以及一第一主要直徑，所述第一輔助記號具有一第一輔助中心以及一第一輔助邊長，所述第一參考線是由所述第一主要圓心與所述第一輔助中心所定義，所述第一主要直徑的長度的公差與所述第一輔助邊長的長度的公差均小于所述第一長度經度值。

根據本實用新型其中之一實施例，所述第二對位記號組對應所述影像擷取模塊的一第二影像擷取模塊且還包含有一第二輔助記號，所述第二輔助記號設置在所述光罩本體上并鄰近所述第二主要記號，所述第二輔助對位記號與所述第二主要對位記號間定義一第二參考線，所述第二參考線與所述第二側邊間形成一第二角度，所述第二參考線的長度的公差小于所述長度精度值，所述第二角度的公差小于所述角度精度值。

根據本實用新型其中之一實施例，所述第二主要記號與所述第二輔助記號分別為兩圓形記號，所述第二主要記號具有一第二主要圓心以及一第二主要直徑，所述第二輔助記號具有一第二輔助圓心以及一第二輔助直徑，所述第二參考線是由所述第二主要圓心與所述第二輔助圓心所定義，所述第二主要直徑的長度的公差與所述第二輔助直徑的長度的公差均小于所述第一長度經度值。

根據本實用新型其中之一實施例，所述第二主要記號為一圓形記號，所述第二輔助記號為一正方形記號，所述第二主要記號具有一第二主要圓心以及一第二主要直徑，所述第二輔助記號具有一第二輔助中心以及一第二輔助邊長，所述第二參考線是由所述第二主要圓心與所述第二輔助中心所定義，所述第二主要直徑的長度的公差與所述第二輔助邊長的長度的公差均小于所述第一長度經度值。

根據本實用新型其中之一實施例，所述第三對位記號組對應所述影像擷取模塊的一第三影像擷取模塊且還包含有一第三輔助記號，所述第二輔助記號設置在所述光罩本體上并鄰近所述第三主要記號，所述第三輔助對位記號與所述第三主要對位記號間定義一第三參考線，所述第三參考線與所述第二側邊間形成一第三角度，所述第三參考線的長度的公差小于所述長度精度值，所述第三角度的公差小于所述角度精度值。

根據本實用新型其中之一實施例，所述第三主要記號與所述第三輔助記號分別為兩圓形記號，所述第三主要記號具有一第三主要圓心以及一第三主要直徑，所述第三輔助記號具有一第三輔助圓心以及一第三輔助直徑，所述第三參考線是由所述第三主要圓心與所述第三輔助圓心所定義，所述第三主要直徑的長度的公差與所述第三輔助直徑的長度的公差均小于所述第一長度經度值。

根據本實用新型其中之一實施例，所述第三主要記號為一圓形記號，所述第三輔助記號為一正方形記號，所述第三主要記號具有一第三主要圓心以及一第三主要直徑，所述第三輔助記號具有一第三輔助中心以及一第三輔助邊長，所述第三參考線是由所述第三主要圓心與所述第三輔助中心所定義，所述第三主要直徑的長度的公差與所述第三輔助邊長的長度的公差均小于所述第一長度經度值。

根據本實用新型其中之一實施例，所述第四對位記號組對應所述影像擷取模塊的一第四影像擷取模塊且還包含有一第四輔助記號，所述第四輔助記號設置在所述光罩本體上并鄰近所述第四主要記號，所述第四輔助對位記號與所述第四主要對位記號間定義一第四參考線，所述第四參考線與所述第四側邊間形成一第四角度，所述第四參考線的長度的公差小于所述長度精度值，所述第四角度的公差小于所述角度精度值。

根據本實用新型其中之一實施例，所述第四主要記號與所述第四輔助記號分別為兩圓形記號，所述第四主要記號具有一第四主要圓心以及一第四主要直徑，所述第四輔助記號具有一第四輔助圓心以及一第四輔助直徑，所述第四參考線是由所述第四主要圓心與所述第四輔助圓心所定義，所述第四主要直徑的長度的公差與所述第四輔助直徑的長度的公差均小于所述第一長度經度值。

根據本實用新型其中之一實施例，所述第四主要記號為一圓形記號，所述第四輔助記號為一正方形記號，所述第四主要記號具有一第四主要圓心以及一第四主要直徑，所述第四輔助記號具有一第四輔助中心以及一第四輔助邊長，所述第四參考線是由所述第四主要圓心與所述第四輔助中心所定義，所述第四主要直徑的長度的公差與所述第四輔助邊長的長度的公差均小于所述第一長度經度值。

根據本實用新型其中之一實施例，所述第一主要對位記號、所述第二主要對位記號、所述第三主要對位記號、所述第四主要對位記號、第一輔助對位記號、所述第二輔助對位記號、所述第三輔助對位記號與所述第四輔助對位記號分別以蝕刻的方式形成在所述光罩本體上。

根據本實用新型其中之一實施例，所述第一角度、所述第二角度、所述第三角度與所述第四角度均呈90度。

綜上所述，本實用新型的光罩結構利用所述第一輔助對位記號、所述第二輔助對位記號、所述第三輔助對位記號與所述第四輔助對位記號來判斷所述第一影像捕獲設備、所述第二影像捕獲設備、所述第三影像捕獲設備與所述第四影像捕獲設備相對于所述光罩結構的位置以及角度，以快速地且精準地校正所述第一影像捕獲設備、所述第二影像捕獲設備、所述第三影像捕獲設備與所述第四影像捕獲設備，進而提升利用所述第一影像捕獲設備、所述第二影像捕獲設備、所述第三影像捕獲設備與所述第四影像捕獲設備來對位光罩結構與基板的精度。有關本實用新型的前述及其他技術內容、特點與功效，在以下配合參考附圖實施例的詳細說明中，將可清楚的呈現。

附圖說明

圖1為本實用新型第一實施例機臺的示意圖。

圖2為本實用新型第一實施例光罩結構的示意圖。

圖3為本實用新型第一實施例機臺在校正影像擷取模塊時的示意圖。

圖4為本實用新型第一實施例第一影像捕獲設備所擷取的影像的示意圖。圖5為本實用新型第一實施例第二影像捕獲設備所擷取的影像的示意圖。圖6為本實用新型第一實施例第三影像捕獲設備所擷取的影像的示意圖。圖7為本實用新型第一實施例第四影像捕獲設備所擷取的影像的示意圖。圖8為本實用新型第二實施例光罩結構的示意圖。

其中，附圖標記說明如下：

1 機臺

11 殼體

12 腔室

13 影像擷取模塊

14 控制模塊

2、2’ 光罩結構

20 光罩本體

200 開口

21 第一對位記號組

211 第一主要記號

212、212’ 第一輔助記號

22 第二對位記號組

221 第二主要記號

222、222’ 第二輔助記號

23 第三對位記號組

231 第三主要記號

232、232’ 第三輔助記號

24 第四對位記號組

241 第四主要記號

242、242’ 第四輔助記號

3 基板

4 發光分子

L1 第一側邊

L2 第二側邊

L3 第三側邊

L4 第四側邊

M1 第一參考線

M2 第二參考線

M3 第三參考線

M4 第四參考線

OM1 第一主要圓心

OM2 第二主要圓心

OM3 第三主要圓心

OM4 第四主要圓心

DM1 第一主要直徑

DM2 第二主要直徑

DM3 第三主要直徑

DM4 第四主要直徑

OA1 第一輔助圓心

OA2 第二輔助圓心

OA3 第三輔助圓心

OA4 第四輔助圓心

OA1’ 第一輔助中心

OA2’ 第二輔助中心

OA3’ 第三輔助中心

OA4’ 第四輔助中心

DA1 第一輔助直徑

DA2 第二輔助直徑

DA3 第三輔助直徑

DA4 第四輔助直徑

DA1’ 第一輔助邊長

DA2’ 第二輔助邊長

DA3’ 第三輔助邊長

DA4’ 第四輔助邊長

θ1 第一角度

θ2 第二角度

θ3 第三角度

θ4 第四角度

(M1x,M1y)、(M2x,M2y)、(M3x,M3y)、(M4x,M4y)、(A1x,A1y)、(A2x,A2y)、(A3x,A3y)、(A4x,A4y)坐標

具體實施方式

以下實施例中所提到的方向用語，例如：上、下、左、右、前或后等，僅是參考附加附圖的方向。因此，使用的方向用語是用來說明并非用來限制本實用新型。請參閱圖1，圖1為本實用新型第一實施例一機臺1的示意圖。機臺1是利用一光罩結構2將一發光分子4蒸鍍于一基板3，機臺1包含有一殼體11、一腔室12、一影像擷取模塊13以及一控制模塊14，腔室12形成在殼體11內，用以容置光罩結構2與基板3，影像擷取模塊13包含有一第一影像捕獲設備131、一第二影像捕獲設備132、一第三影像捕獲設備133以及一第四影像捕獲設備134。第一影像捕獲設備131、第二影像捕獲設備132、第三影像捕獲設備133以及第四影像捕獲設備134分別安裝在殼體11上，用以進行光罩結構2與基板3的對位，控制模塊14耦接于第一影像捕獲設備131、第二影像捕獲設備132、第三影像捕獲設備133與第四影像捕獲設備134，且用以校正第一影像捕獲設備131、第二影像捕獲設備132、第三影像捕獲設備133與第四影像捕獲設備134。在本實施例中，機臺1是用在蒸鍍有機發光二極管(Organic Light-Emitting Diode,OLED)，且第一影像捕獲設備131、第二影像捕獲設備132、第三影像捕獲設備133以及第四影像捕獲設備134分別設置在殼體11的四個角落，而本實用新型不局限在此。

請參閱圖2，圖2為本實用新型第一實施例光罩結構2的示意圖。光罩結構2包含有一光罩本體20、一第一對位記號組21、一第二對位記號組22、一第三對位記號組23以及一第四對位記號組24，光罩本體20上形成有至少一開口200，以使發光分子4穿過開口200附著在基板3上，第一對位記號組21包含一第一主要記號211以及一第一輔助記號212，第一主要記號211設置在光罩本體20上，第一輔助記號212設置在光罩本體20上并鄰近第一主要記號211，第二對位記號組22包含一第二主要記號221以及一第二輔助記號222，第二主要記號221設置在光罩本體20上，第二輔助記號222設置在光罩本體20上并鄰近第二主要記號221，第三對位記號組23包含一第三主要記號231以及一第三輔助記號232，第三主要記號231設置在光罩本體20上，第三輔助記號232設置在光罩本體20上并鄰近第三主要記號231，第四對位記號組24包含一第四主要記號241以及一第四輔助記號242，第四主要記號241設置在光罩本體20上，第四輔助記號242設置在光罩本體20上并鄰近第四主要記號241。在本實施例中，第一主要對位記號211、第二主要對位記號221、第三主要對位記號231、第四主要對位記號241、第一輔助對位記號212、第二輔助對位記號222、第三輔助對位記號232與第四輔助對位記號242分別以蝕刻的方式形成在光罩本體20上。

第一主要對位記號211與第二主要對位記號221間定義一第一側邊L1，第二主要對位記號221與第三主要對位記號231間定義一第二側邊L2，第三主要對位記號231與第四主要對位記號241間定義一第三側邊L3，第四主要對位記號241與第一主要對位記號211間定義一第四側邊L4，第一輔助對位記號212與第一主要對位記號211間定義一第一參考線M1，第二輔助對位記號222與第二主要對位記號221間定義一第二參考線M2，第三輔助對位記號232與第三主要對位記號231間定義一第三參考線M3，第四輔助對位記號242與第四主要對位記號241間定義一第四參考線M4。

此實施例中，第一主要對位記號211、第二主要對位記號221、第三主要對位記號231、第四主要對位記號241、第一輔助對位記號212、第二輔助對位記號222、第三輔助對位記號232與第四輔助對位記號242為圓形記號。因此，第一主要對位記號211具有一第一主要圓心OM1以及一第一主要直徑DM1，第一輔助對位記號212具有一第一輔助圓心OA1以及一第一輔助直徑DA1，第二主要對位記號221具有一第二主要圓心OM2以及一第二主要直徑DM2，第二輔助對位記號222具有一第二輔助圓心OA2以及一第二輔助直徑DA2，第三主要對位記號231具有一第三主要圓心OM3以及一第三主要直徑DM3，第三輔助對位記號232具有一第三輔助圓心OA3以及一第三輔助直徑DA3，第四主要對位記號241具有一第四主要圓心OM4以及一第四主要直徑DM4，第四輔助對位記號242具有一第四輔助圓心OA4以及一第四輔助直徑DA4。第一主要圓心OM1與第一輔助圓心OA1間定義第一參考線M1，第一參考線M1與第四側邊L4間形成一第一角度θ1，第一角度θ1呈90度，第二主要圓心OM2與第二輔助圓心OA2間定義第二參考線M2，第二參考線M2與第二側邊L2間形成一第二角度θ2，第二角度θ2呈90度，第三主要圓心OM3與第三輔助圓心OA3間定義第三參考線M3，第三參考線M3與第二側邊L2間形成一第三角度θ3，第三角度θ3呈90度，第四主要圓心OM4與第四輔助圓心OA4間定義第四參考線M4，第四參考線M4與第四側邊L4間形成一第四角度θ4，第四角度θ4呈90度，而本實用新型不局限在此實施例。

值得注意的是，第一參考線M1、第二參考線M2、第三參考線M3、第四參考線M4、第一主要直徑DM1、第二主要直徑DM2、第三主要直徑DM3、第四主要直徑DM4、第一輔助直徑DA1、第二輔助直徑DA2、第三輔助直徑DA3與第四輔助直徑DA4的長度的公差小于一長度精度值，第一參考線M1與第四側邊L4間所夾的角度的公差小于一角度精度值，而在本實施例中，為達到有機發光二極管的蒸鍍制程所要求的精度(例如為1微米)，所述長度精度值為±0.0005公厘，且所述角度精度值±0.00015度。

請參閱圖3，圖3為本實用新型第一實施例機臺100在校正影像擷取模塊13時的示意圖。如圖3所示，當欲校正影像擷取模塊13時，首先將光罩結構2先放置在腔室12內，讓第一對位記號組21、第二對位記號組22、第三對位記號組23與第四對位記號組24分別對應第一影像捕獲設備131、第二影像捕獲設備132、第三影像捕獲設備133與第四影像捕獲設備134，接著，控制模塊104控制第一影像捕獲設備131、第二影像捕獲設備132、第三影像捕獲設備133與第四影像捕獲設備134分別擷取相對應的影像。在本實施例中，第一對位記號組21的第一主要對位記號211與第一輔助對位記號212間的距離(即第一參考線M1的線長)可優選地位在第一影像捕獲設備131的視野范圍的四分之一內，第二對位記號組22的第二主要對位記號221與第二輔助對位記號222間的距離(即第二參考線M2的線長)可優選地位在第二影像捕獲設備132的視野范圍的四分之一內，第三對位記號組23的第三主要對位記號231與第三輔助對位記號232間的距離(即第三參考線M3的線長)可優選地位在第三影像捕獲設備133的視野范圍的四分之一內，第四對位記號組24的第四主要對位記號241與第四輔助對位記號242間的距離(即第四參考線M4的線長)可優選地位在第四影像捕獲設備134的視野范圍的四分之一內，而本實用新型不局限在此。

請參閱圖4至圖7，圖4為本實用新型第一實施例第一影像捕獲設備131所擷取的影像的示意圖，圖5為本實用新型第一實施例第二影像捕獲設備132所擷取的影像的示意圖，圖6為本實用新型第一實施例第三影像捕獲設備133所擷取的影像的示意圖，圖7為本實用新型第一實施例第四影像捕獲設備134所擷取的影像的示意圖。如圖4至圖7所示，第一主要對位記號211的第一主要圓心OM1與第一輔助對位記號212的第一輔助圓心OA1相對于第一影像捕獲設備131所擷取的影像的坐標分別為(M1x,M1y)與(A1x,A1y)，第二主要對位記號221的第二主要圓心OM2與第二輔助對位記號222的第二輔助圓心OA2相對于第二影像捕獲設備132所擷取的影像的坐標分別為(M2x,M2y)與(A2x,A2y)，第三主要對位記號231的第三主要圓心OM3與第三輔助對位記號232的第三輔助圓心OA3相對于第三影像捕獲設備133所擷取的影像的坐標分別為(M3x,M3y)與(A3x,A3y)，第四主要對位記號241的第四主要圓心OM4與第四輔助對位記號242的第四輔助圓心OA4相對于第四影像捕獲設備134所擷取的影像的坐標分別為(M4x,M4y)與(A4x,A4y)，控制模塊14依據上述坐標分別調整第一影像捕獲設備131、第二影像捕獲設備132、第三影像捕獲設備133、第四影像捕獲設備134的位置以及角度，以完成影像捕獲設備相對于光罩結構2的校正。

請參閱圖8，圖8為本實用新型第二實施例一光罩結構2’的示意圖。與前述實施例光罩結構2不同的是，光罩結構2’的一第一輔助對位記號212’、一第二輔助對位記號222’、一第三輔助對位記號232’與一第四輔助對位記號242’為正方形記號，而非圓形記號。第一輔助對位記號212’具有一第一輔助中心OA1’以及一第一輔助邊長DA1’，第二輔助對位記號222’具有一第二輔助中心OA2’以及一第二輔助邊長DA2’，第三輔助對位記號232’具有一第三輔助中心OA3’以及一第三輔助邊長DA3’，第四輔助對位記號242’具有一第四輔助中心OA4’以及一第四輔助邊長DA4’，第一主要圓心OM1與第一輔助中心OA1’間定義第一參考線M1，第二主要圓心OM2與第二輔助中心OA2’間定義第二參考線M2，第三主要圓心OM3與第三輔助中心OA3’間定義第三參考線M3，第四主要圓心OM4與第四輔助中心OA4’間定義第四參考線M4，第一輔助邊長DA1’、第二輔助邊長DA2’、第三輔助邊長DA3’與第四輔助邊長DA4’的長度的公差為±0.0005公厘。而在本實施例與前述實施例中具有相同標號的組件具有相同結構與功能，在此不再贅述。

相較于現有技術，本實用新型的光罩結構利用所述第一輔助對位記號、所述第二輔助對位記號、所述第三輔助對位記號與所述第四輔助對位記號來判斷所述第一影像捕獲設備、所述第二影像捕獲設備、所述第三影像捕獲設備與所述第四影像捕獲設備相對于所述光罩結構的位置以及角度，以快速地且精準地校正所述第一影像捕獲設備、所述第二影像捕獲設備、所述第三影像捕獲設備與所述第四影像捕獲設備，進而提升利用所述第一影像捕獲設備、所述第二影像捕獲設備、所述第三影像捕獲設備與所述第四影像捕獲設備來對位光罩結構與基板的精度。

以上所述僅為本實用新型的優選實施例而已，并不用于限制本實用新型，對于本領域的技術人員來說，本實用新型可以有各種更改和變化。凡在本實用新型的精神和原則之內，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本實用新型的保護范圍之內。