一種矯頑力可調稀土?過渡合金薄膜的制備方法與流程

技術特征：

1.一種矯頑力可調稀土-過渡合金薄膜的制備方法，其特征在于：包括以下步驟：

(1)將多片呈等腰三角形的純度≥99.9％的稀土貼片均勻對稱貼在純度≥99.9％的的鐵鈷合金靶上，形成濺射用的復合鑲嵌靶，所述稀土貼片為Tb貼片或者Dy貼片，所述稀土貼片的頂角為15～40°，所述稀土貼片的腰長為所述鐵鈷合金靶的半徑長度的70～90％；

(2)將所述復合鑲嵌靶作為磁控濺射的靶材，安裝固定在磁控濺射室的濺射靶座上；

(3)將清洗烘干后的基片安置固定于磁控濺射室的基片臺上，調整靶基距為4～8cm；

(4)將濺射真空室抽真空達到真空度1×10^-5Pa以下，通入純度≥99.99％的氬氣作為工作氣體，控制氬氣的進氣流量在25～100sccm范圍內；

(5)在濺射工作氣壓0.2～1.0Pa的條件下，對所述復合鑲嵌靶預濺射10～30min；

(6)調節基片臺每分鐘旋轉5～15圈，打開基片臺和濺射靶座之間的擋板，以1.5～5W/cm²的濺射功率密度濺射所述復合鑲嵌靶，濺射時間為1～20min，得到20～400nm厚的稀土-過渡合金薄膜。

2.根據權利要求1所述的一種矯頑力可調稀土-過渡合金薄膜的制備方法，其特征在于：所述稀土貼片的數量為3～6片，各片所述稀土貼片以所述鐵鈷合金靶的圓心為中心點分布在所述鐵鈷合金靶上。