技術總結
本發明涉及一種電弧氣相沉積源，包括：帶有導電陶瓷靶板（1）的陰極，陽極（21），電壓源（23），其與靶板（1）和陽極（21）連接，使得靶板（1）能夠相對于陽極（21）置于負電勢上，用于點燃電弧的點燃裝置（20）。靶板（1）與冷卻板（10）大面積地熱學地并且優選通過接合連接來有效連接，并且設置有用于強制陰極斑點移動的裝置。
技術研發人員：M.萊希塔勒
受保護的技術使用者：歐瑞康表面解決方案股份公司，普費菲孔
文檔號碼：201610725648
技術研發日：2011.04.13
技術公布日：2017.02.22