1.一種電弧氣相沉積源，包括：
－ 帶有導電陶瓷靶板（1）的陰極，
－ 陽極（21），
－ 電壓源（23），其與靶板（1）和陽極（21）連接，使得靶板（1）能夠相對于陽極（21）置于負電勢上，
－ 用于點燃電弧的點燃裝置（20），
其特征在于，
靶板（1）與冷卻板（10）大面積地熱學地并且優選通過接合連接來有效連接，
并且設置有用于強制陰極斑點移動的裝置。
2.根據權利要求1所述的電弧氣相沉積源，其特征在于，用于強制移動的裝置設計為使得甚至在靶板中存在微裂縫的情況下陰極斑點也能夠保持移動。
3.根據上述權利要求之一所述的電弧氣相沉積源，其特征在于，用于強制陰極斑點移動的裝置在氣相沉積表面上、即在陰極斑點在靶板的表面上能夠到達的所有部位上基本相同地作用。
4.根據權利要求3所述的電弧氣相沉積源，其特征在于，用于強制陰極斑點移動的裝置包括磁性裝置，所述磁性裝置導致陰極斑點的基本上均勻的移動。
5.根據權利要求4所述的電弧氣相沉積源，其特征在于，所述磁性裝置被構成為，使得該磁性裝置導致在氣相沉積表面上的基本上均勻的磁場，該磁場的磁力線基本上垂直于氣相沉積表面取向或者可替換地在整個氣相沉積表面上以相對于氣相沉積表面上的法線的大于45o的角度取向。
6.根據上述權利要求之一所述的電弧氣相沉積源，其特征在于，用于強制移動的裝置在冷卻板側包括內部永磁體和外部永磁體環，所述外部永磁體環相對于內部永磁體極性相反地取向，使得在靶板（1）的要氣相沉積的表面（2）上建立磁場分布，并且用于強制移動的裝置包括在要氣相沉積的表面（2）的中央區域（6）上的屏蔽裝置（3），其中屏蔽裝置（3）的表面與電壓源（23）至少基本上電絕緣，并且由此在氣相沉積源運行時在該區域中沒有電子補給可用。
7.根據權利要求5所述的電弧氣相沉積源，其特征在于，屏蔽裝置（3）由電絕緣材料構成，優選由氧化鋁或者氮化硼構成，或者具有氧化鋁或者氮化硼表面。
8.一種用于將襯底涂層的涂層設備，具有至少一個根據上述權利要求之一所述的電弧氣相沉積源。
9.一種用于將襯底涂層的方法，其特征在于，為了涂層使用根據權利要求8所述的涂層設備。