子電池。在使用可再充電電池的實施方案中，可使用來自（例如)壁式 插座或光伏裝置或陣列的電力來對所述可再充電電池充電。替代地，所述可再充電電池可 無線充電。電力供應器50也可為可再生能源、電容器或太陽能電池(包含塑料太陽能電池或 太陽能電池涂料）。電力供應器50也能夠從壁式插座接收電力。
[0107] 在一些實施方案中，控制可編程性駐留于可位于電子顯示系統的若干位置中的驅 動器控制器29中。在一些其它實施方案中，控制可編程性駐留于陣列驅動器22中。上文所描 述的優化可實施于任何數目個硬件及/或軟件組件及各種配置中。
[0108] 如本文所使用，稱作一系列項目中的"至少一者"的短語指包含單一成員的項目的 任何組合。作為一實例，"a、b或C中的至少一者"既定涵蓋:a、b、c、a及b、a及c、b及C及a、b及 Co
[0109] 結合本文所掲示的實施方案所描述的各種說明性邏輯、邏輯塊、模塊、電路及算法 過程可實施為電子硬件、計算機軟件或兩者的組合。已依據功能性而大體上描述硬件及軟 件的可互換性，且已在上文所描述的各種說明性組件、塊、模塊、電路及過程中說明硬件及 軟件的可互換性。此功能性是否實施于硬件或軟件中取決于強加于整體系統的特定應用及 設計約束條件。
[0110] 可用經設計W執行本文所描述的功能的通用單忍片或多忍片處理器、數字信號處 理器(DSP)、專用集成電路(ASIC)、現場可編程口陣列(FPGA)或其它可編程邏輯裝置、離散 口或晶體管邏輯、離散硬件組件或其任何組合來實施或執行用于實施結合本文所掲示的方 面所描述的各種說明性邏輯、邏輯塊、模塊及電路的硬件及數據處理設備。通用處理器可為 微處理器或任何常規處理器、控制器、微控制器或狀態機。處理器也可實施為計算裝置的組 合，例如DSP及微處理器的組合、多個微處理器、結合DSP核屯、的一或多個微處理器、或任何 其它此類配置。在一些實施方案中，特定過程及方法可由特定于給定功能的電路執行。
[0111] 在一或多個方面中，所描述的功能可實施于硬件、數字電子電路、計算機軟件、固 件(包含本說明書中所掲示的結構及其結構等效物)或其任何組合中。本說明書中所描述的 標的物的實施方案也可實施為編碼于計算機存儲媒體上W由數據處理設備執行或控制數 據處理設備的操作的一或多個計算機程序，即，計算機程序指令的一或多個模塊。
[0112] 如果功能實施于軟件中，則功能可存儲于計算機可讀媒體上的一或多個指令或代 碼上或作為計算機可讀媒體上的一或多個指令或代碼而傳輸。本文所掲示的方法或算法的 過程可實施于可駐留于計算機可讀媒體上的處理器可執行軟件模塊中。計算機可讀媒體包 含計算機存儲媒體及通信媒體兩者，所述通信媒體包含能夠將計算機程序從一個位置轉移 到另一位置的任何媒體。存儲媒體可為可由計算機存取的任何可用媒體。舉例來說(且不限 于），此些計算機可讀媒體可包含341、1?01、66?1?01^0-1?01或其它光盤存儲裝置、磁盤存儲 裝置或其它磁性存儲裝置、或可用于存儲呈指令或數據結構的形式的所要程序代碼且可由 計算機存取任何其它媒體。此外，任何連接可適當地稱作計算機可讀媒體。如本文所使用， 磁盤及光盤包含壓縮光盤(CD)、激光光盤、光學光盤、數字多功能光盤(DVD)、軟磁盤及藍光 光盤，其中磁盤通常磁性地復制數據，而光盤利用激光來光學地復制數據。W上各者的組合 也應包含于計算機可讀媒體的范圍內。此外，方法或算法的操作可作為代碼及指令的一者 或任何組合或集合駐留于可并入到計算機程序產品中的機器可讀媒體及計算機可讀媒體 上。
[0113] 所屬領域的技術人員易于了解本發明中所描述的實施方案的各種修改，且可在不 脫離本發明的精神或范圍的情況下將本文所界定的一般原理應用于其它實施方案。因此， 權利要求書并非既定受限于本文所展示的實施方案，而是應被賦予與本文所掲示的此掲示 內容、原理及新穎特征一致的最寬范圍。
[0114] 此外，所屬領域的一般技術人員將易于了解，術語"上部"及"下部"有時用于使描 述圖式便利，且指示對應于適當定向頁上的圖的定向的相對位置，且可能不反映所實施的 任何裝置的適當定向。
[0115] 本說明書在單獨實施方案的上下文中所描述的某些特征也可組合地實施于單一 實施方案中。相反地，單一實施方案的上下文中所描述的各種特征也可單獨地或W任何適 合子組合方式實施于多個實施方案中。而且，雖然特征在上文中可描述為W某些組合起作 用且甚至最初如此主張，但在一些情況中來自主張組合的一或多個特征可從所述組合除 去，且所述主張組合可針對子組合或子組合的變動。
[0116] 類似地，雖然圖式中已按特定順序描繪操作，但此不應被理解為需要：W所展示的 特定順序或依循序順序執行此些操作;或執行所有說明的操作W實現所要結果。此外，圖式 可示意性描繪呈流程圖的形式的一或多個實例性過程。然而，圖中未描繪的其它操作可并 入于圖中已示意性說明的實例性過程中。例如，可在所說明操作中的任一者之前、之后、同 時地或之間執行一或多個額外操作。在某些情況中，多任務處理及并行處理可為有利的。而 且，上文所描述的實施方案中的各種系統組件的分開不應被理解為所有實施方案中需要此 分開，且應了解，所描述的程序組件及系統一般可一起集成于單一軟件產品中或封裝到多 個軟件產品中。此外，其它實施方案在所附權利要求書的范圍內。在一些情況中，權利要求 書中所列舉的動作可W不同順序執行且仍實現所要結果。
【主權項】
1. 一種設備，其包括： 襯底； 機電系統EMS光調制組件，其定位于所述襯底與耦合到所述襯底的相對表面之間； 懸置電極，其耦合到所述EMS光調制組件且懸置于所述襯底與所述相對表面之間；及 延伸高度電極，其定位成緊鄰于所述懸置電極，從所述襯底向上延伸到超過所述懸置 電極的高度的高度； 其中所述懸置電極及所述延伸高度電極經配置以相對于所述襯底橫向移動所述EMS光 調制組件。2. 根據權利要求1所述的設備，其中所述EMS光調制組件是微機電系統MEMS快門。3. 根據權利要求1所述的設備，其中所述延伸高度電極從所述襯底向上延伸到所述相 對表面的高度。4. 根據權利要求1所述的設備，其包括安置于所述襯底上的界定第一光圈的光阻斷層， 其中所述相對表面界定定位成實質上與所述第一光圈對準的第二光圈，且所述懸置電極及 所述延伸高度電極經配置以通過所述第一光圈及所述第二光圈將所述EMS光調制組件移動 到光學路徑中及從光學路徑移動出。5. 根據權利要求5所述的設備，其中所述相對表面經由錨固件耦合到所述襯底。6. 根據權利要求6所述的設備，其中將所述相對表面耦合到所述襯底的所述錨固件將 所述懸置電極支撐于所述襯底與所述相對表面之間。7. 根據權利要求7所述的設備，其中所述延伸高度電極與所述相對表面電隔離。8. 根據權利要求1所述的設備，其中所述延伸高度電極包含與所述相對表面的部分共 面的上部平面部分。9. 根據權利要求1所述的設備，其包括相對于所述EMS光調制組件定位成與所述相對表 面相對且與所述相對表面間隔開的第二襯底。10. 根據權利要求1所述的設備，其中所述延伸高度電極緊鄰于所述懸置電極的至少大 部分長度。11. 根據權利要求1所述的設備，其進一步包括： 顯示器； 處理器，其經配置以與所述顯示器通信，所述處理器經配置以處理圖像數據;及 存儲器裝置，其經配置以與所述處理器通信。12. 根據權利要求11所述的設備，其進一步包括： 驅動器電路，其經配置以將至少一個信號發送到所述顯示器;及 控制器，其經配置以將所述圖像數據的至少一部分發送到所述驅動器電路。13. 根據權利要求11所述的設備，其進一步包括： 圖像源模塊，其經配置以將所述圖像數據發送到所述處理器，其中所述圖像源模塊包 括接收器、收發器及發射器中的至少一者。14. 根據權利要求11所述的設備，其進一步包括： 輸入裝置，其經配置以接收輸入數據且將所述輸入數據傳送到所述處理器。15. -種形成顯示設備的方法，其包括： 在形成于襯底上的第一模具上制造多個顯示元件； 在所述所制造的顯示元件上沉積第一犧牲材料層； 圖案化所述第一犧牲材料層以產生用于多個懸置電極及多個延伸高度電極的部分的 第二模具； 在所述第一犧牲材料層上沉積第一結構材料層，使得所述所沉積的第一結構材料層涂 覆所述第二模具的表面； 圖案化所述第一結構材料層以界定： 對應于相應顯示元件的所述第一結構材料層中的多個光圈以形成抬升光圈層； 所述多個懸置電極;及 從所述襯底向上延伸到超過所述懸置電極的高度的高度的所述多個延伸高度電極;及 移除所述第一模具及所述第一犧牲材料層。16. 根據權利要求15所述的方法，其中圖案化所述第一犧牲材料層進一步包含：圖案化 所述第一犧牲材料層以暴露沉積于其上可形成所述多個延伸高度電極的所述襯底上的光 阻斷層的部分。17. 根據權利要求16所述的方法，其中在所述第一犧牲材料層上沉積所述結構材料層 進一步包含:沉積所述結構材料，使得所述所沉積的結構材料部分沉積于所述光阻斷層的 所述暴露部分上。18. 根據權利要求17所述的方法，其進一步包括： 圖案化所述結構材料層，使得所述多個延伸高度電極與所述抬升光圈層分開。19. 根據權利要求15所述的方法，其中所述延伸高度電極的一部分在與所述抬升光圈 層共面的平面中延伸且與所述抬升光圈層分開達約3微米到約5微米范圍內的距離。20. 根據權利要求15所述的方法，其進一步包括： 在沉積所述第一結構材料層之前，在所述第一模具上沉積第二結構材料層以形成所述 多個延伸高度電極的底部部分，其中沉積所述第一結構材料層包括在所述第二結構材料層 上沉積所述第一結構材料層。21. -種設備，其包括： 光調制裝置，其懸置于第一襯底與第二襯底之間處于對應于針對平移移動所配置的平 面的高度處； 第一致動裝置，其用于將靜電吸引力施加到大約處于針對平移移動所配置的所述平面 的所述高度處的所述光調制裝置； 第二致動裝置，其用于跨所述第一襯底與所述第二襯底之間的實質上整個距離將靜電 吸引力施加到所述光調制裝置。22. 根據權利要求21所述的設備，其中所述第二致動裝置包含用于阻斷正交于針對平 移移動所配置的所述平面所導引的光的光阻斷裝置。
【專利摘要】本發明提供用于并入有延伸高度致動器的MEMS顯示器的系統、方法及設備。光調制組件可定位于襯底與耦合到所述襯底的相對表面之間。懸置電極可耦合到所述光調制組件且懸置于所述襯底與所述相對表面之間。延伸高度電極可定位成緊鄰于所述懸置電極，且可從所述襯底向上延伸到超過所述懸置電極的高度的高度。所述懸置電極及所述延伸高度電極可經配置以相對于所述襯底橫向移動所述光調制組件。
【IPC分類】G02B26/02, B81B3/00
【公開號】CN105452934
【申請號】CN201480043879
【發明人】泰勒·A·杜恩, 蒂莫西·J·布羅斯尼漢
【申請人】皮克斯特隆尼斯有限公司
【公開日】2016年3月30日
【申請日】2014年7月28日
【公告號】US20150055205, WO2015026490A1