°范 圍內，且由此實現高收縮比、極佳耐久性W及膜特性。另外，由于未向堿性可溶樹脂組成物 中添加交聯劑，因此可確保穩定性而不受交聯劑的光學特性影響。
[00巧]在下文中詳細描述正型感光樹脂組成物的每種組分。
[007引 （A)堿性可溶樹脂
[0077] 根據一個實施例，堿性可溶樹脂為正型感光樹脂組成物的一個組成要素且包含由 W上化學式1表示的重復單元，且由此可易于調整錐度角和收縮比W及改善由其形成的感 光樹脂膜的膜特性等。
[0078] 具體地說，堿性可溶樹脂內部包含由W上化學式2表示的鍵聯基團，且所述鍵聯 基團可充當堿性可溶樹脂中的交聯劑。因此，由于聚合物樹脂在無單獨交聯劑的情況下很 好地交聯，因此可易于調整錐度角和收縮比，且可改進樹脂的穩定性等。然而，當僅在堿性 可溶樹脂的末端包含由W上化學式2表示的鍵聯基團時，堿性可溶樹脂可能不易于交聯且 可能不易于調整錐度角和收縮比。因此，所述問題可通過單獨向其中添加交聯劑解決，但幾 乎不可能確保樹脂的穩定性。
[0079] 舉例來說，W上化學式2可由W下化學式3到化學式6中的一個表示。
[0080][化學式引
[0081]
[008引 W堿性可溶樹脂的總量計，由W上化學式1表示的重復單元的含量為5重量％到 60重量％。
[0089] 堿性可溶樹脂可還包含由W下化學式7表示的重復單元、由W下化學式8表示的 重復單元或其組合。
[0090][化學式7]
[0091]
[0092] 在W上化學式7中，
[0093] L3為經取代或未經取代的C6到C30芳香族有機基團、經取代或未經取代的二價C1 到C30脂肪族有機基團或經取代或未經取代的二價C3到C30脂環族有機基團，且
[0094] L4為經取代或未經取代的C6到C30芳香族有機基團。
[0095] 舉例來說，L3可為芳香族有機基團、二價脂肪族有機基團或二價脂環族有機基團， 且可為二駿酸殘基或二駿酸衍生物殘基。確切地說，L3可為芳香族有機基團或二價脂環族 有機基團。
[0096] 二駿酸的實例包含L3(C00H)2(其中L3與W上化學式7的L3相同）。
[0097] 駿酸衍生物的實例包含L3 (C00H)2的撰基團化物衍生物或通過L3 (C00H)2與1-輕 基-1，2, 3-苯并H哇（其中L3與W上化學式7的L3相同）反應獲得的活性醋衍生物的活 性化合物。
[0098] 二駿酸衍生物的實例包含（但不限于）4,4'-氧基二苯甲醜氯、二苯氧基二撰基 二氯、雙（苯基撰基氯）諷、雙（苯基撰基氯）離、雙（苯基撰基氯）苯麗、鄰苯二甲醜二氯 (phthal〇}ddichlo;ride)、對苯二甲醜二氯（terephthal〇5ddichlo;ride)、間苯二甲醜二氯 (iso地thaloyldichlorid)、二撰基二氯、二苯氧基二甲酸醋二苯并H哇或其組合。
[0099] 舉例來說，L4可為芳香族有機基團，或衍生自芳香族二胺的殘基。
[0100] 芳香族二胺的實例可為（但不限于）由下列中選出的至少一個；3,3'-二氨 基-4,4'-二羥基聯苯、4,4'-二氨基-3,3'-二羥基聯苯、雙（3-氨基-4-輕苯基）丙 焼、雙（4-氨基-3-輕苯基）丙焼、雙（3-氨基-4-輕苯基）諷、雙（4-氨基-3-輕苯基）諷、 2, 2-雙（3-氨基-4-輕苯基）-1，1,1，3, 3, 3-六氣丙焼、2, 2-雙（4-氨基-3-輕苯基）-1，1， 1，3,3,3-六氣丙焼、2,2-雙（3-氨基-4-羥基-5-二氣甲基苯基）六氣丙焼、2,2-雙（3-氨 基-4-羥基-6-二氣甲基苯基）六氣丙焼、2, 2-雙（3-氨基-4-羥基-2-二氣甲基苯基） 六氣丙焼、2, 2-雙（4-氨基-3-羥基-5-二氣甲基苯基）六氣丙焼、2, 2-雙（4-氨基-3-輕 基-6-二氣甲基苯基）六氣丙焼、2,2-雙（4-氨基-3-羥基-2-二氣甲基苯基）六氣丙焼、2， 2-雙（3-氨基-4-羥基-5-五氣己基苯基）六氣丙焼、2-(3-氨基-4-羥基-5-二氣甲基苯 基）-2- (3-氨基-4-羥基-5-五氣己基苯基）六氣丙焼、2- (3-氨基-4-羥基-5-H氣甲基 苯基）-2- (3-羥基-4-氨基-5-二氣甲基苯基）六氣丙焼、2- (3-氨基-4-羥基-5-二氣甲 基苯基）-2- (3-羥基-4-氨基-6-H氣甲基苯基）六氣丙焼、2- (3-氨基-4-羥基-5-H氣 甲基苯基）-2- (3-羥基-4-氨基-2-二氣甲基苯基）六氣丙焼、2- (3-氨基-4-羥基-2-二 氣甲基苯基）-2- (3-羥基-4-氨基-5-H氣甲基苯基）六氣丙焼W及2- (3-氨基-4-輕 基-6-二氣甲基苯基）-2- (3-羥基-4-氨基-5-二氣甲基苯基）六氣丙焼。
[0101] [化學式引
[0102]
[0103] 在W上化學式8中，
[0104]L5為經取代或未經取代的C6到C30芳香族有機基團、經取代或未經取代的二價C1 到C30脂肪族有機基團或經取代或未經取代的二價C3到C30脂環族有機基團或有機娃焼 基團，
[0105]L6為經取代或未經取代的C6到C30芳香族有機基團、經取代或未經取代的四價C1 到C30脂肪族有機基團或經取代或未經取代的四價C3到C30脂環族有機基團，且
[0106] R4和R5獨立地為氨、團素、經取代或未經取代的C1到C20烷基或經取代或未經取 代的C6至IJC20芳基。
[0107] 舉例來說，L5可為衍生自芳香族二胺、脂環族二胺或娃二胺的殘基。在本文中，芳 香族二胺、脂環族二胺W及娃二胺可單獨使用或W-或多個的混合物形式使用。
[0108] 芳香族二胺的實例可為（但不限于）3,4'-二氨基二苯基離、4,4'-二氨基 二苯基離、3,4'-二氨基二苯基甲焼、4,4'-二氨基二苯基甲焼、4,4'-二氨基二苯基 諷、4,4'-二氨基二苯基硫、聯苯胺、間苯二胺、對苯二胺、1，5-蔡二胺、2,6-蔡二胺、雙 [4-(4-氨基苯氧基）苯基]諷、雙（3-氨基苯氧基苯基）諷、雙（4-氨基苯氧基）聯苯、雙 [4-(4-氨基苯氧基）苯基]離、1,4-雙（4-氨基苯氧基）苯或其組合，上述化合物包含經 烷基或團素取代的芳香族環。
[0109] 脂環族二胺的實例可為（但不限于）1,2-環己基二胺、1,3-環己基二胺或其組合。
[0110] 娃二胺的實例可為（但不限于）雙（4-氨基苯基）二甲基娃焼、雙（4-氨基苯基） 四甲基娃焼、雙（對-氨基苯基）四甲基二娃焼、雙（Y-氨丙基）四甲基二娃焼、1,4-雙 (y-氨丙基二甲基娃烷基）苯、雙（4-氨基了基）四甲基二娃焼、雙（y-氨丙基）四苯基 二娃焼、1,3-雙（氨丙基）四甲基二娃焼或其組合。
[0111] 舉例來說，L6可為衍生自芳香族酸二酢或脂環族酸二酢的殘基。在本文中，芳香族 酸二酢和脂環族酸二酢可單獨使用或W大于一個的混合物形式使用。
[0112] 芳香族酸二酢的實例可為（但不限于）二苯甲麗四甲酸二酢，如苯均四酸二 酢；二苯甲麗-3,3'，4,4'-四甲酸二酢等；氧二鄰苯二甲酸二酢（0巧di地thalic dianhy化ide)，如4,4'-氧二鄰苯二甲酸二酢；二鄰苯二甲酸二酢，如3,3'，4,4'-二 鄰苯二甲酸二酢；（六氣亞異丙帰基）二鄰苯二甲酸二酢（化exafluoroisoprop^edene) di地thalicdianhy化ide)，如4,4'-(六氣亞異丙帰基）二鄰苯二甲酸二酢；蔡-1，4,5， 8-四甲酸二酢；3,4,9,10-巧四甲酸二酢等。
[0113] 脂環族酸二酢的實例可為（但不限于）1，2, 3,4-環下焼四甲酸二酢、1，2, 3,4-環 戊焼四甲酸二酢、5- (2, 5-二氧四氨巧喃基）-3-甲基-環己焼-1，2-二甲酸酢、4- (2, 5-二 氧四氨巧喃-3-基）-四氨蔡-1，2-二甲酸酢（4- (2, 5-dioxotetr址y化ofuran-3-yl)-tetr alin-l, 2-dicarbo:xylicanhy化ide)、雙環辛帰-2, 3, 5,6-四甲酸二酢、雙環辛帰-1，2,4， 5-四甲酸二酢等。
[0114] 堿性可溶樹脂可還包含丙帰酸類樹脂（acirlic-basedresin)、酷酵清漆樹脂、雙 酷A樹脂、雙酷F樹脂或其組合。
[0115] 所述丙帰酸類樹脂為第一帰系（ethylenic)不飽和單體和與其可共聚合的第二 帰系不飽和單體的共聚物，且為包含至少一個丙帰酸類重復單元的樹脂。
[0116] 所述第一帰系不飽和單體為包含至少一個駿基的帰系不飽和單體。所述單體的實 例包含（甲基）丙帰酸、馬來酸、衣康酸、富馬酸或其組合。
[0117] W丙帰酸類樹脂的總量計，第一帰系不飽和單體的含量為5重量％到50重量％， 例如10重量％到40重量％。
[0118] 第二帰系不飽和單體可為芳香族己帰基化合物，如苯己帰、a-甲基苯己帰、己帰 基甲苯、己帰基予基甲離等；不飽和駿酸醋化合物，如（甲基）丙帰酸甲醋、（甲基）丙帰酸 己醋、（甲基）丙帰酸下醋、（甲基）丙帰酸2-輕己醋、（甲基）丙帰酸2-輕下醋、（甲基） 丙帰酸予醋、（甲基）丙帰酸環己醋、（甲基）丙帰酸苯醋等；不飽和駿酸氨基烷基醋化合 物，如（甲基）丙帰酸2-氨基己醋、（甲基）丙帰酸2-二甲基氨基己醋等；駿酸己帰基醋 化合物，如己酸己帰醋、苯甲酸己帰醋等；不飽和駿酸縮水甘油基醋化合物，如（甲基）丙帰 酸縮水甘油醋等；己帰基氯化合物，如（甲基）丙帰膳等；不飽和醜胺化合物，如（甲基）丙 帰醜胺等；等等，且可單獨使用或W兩個或大于兩個的混合物形式使用。
[0119] 所述丙帰酸類樹脂的特定實例可為（但不限于）丙帰酸/甲基丙帰酸予 醋化enzylmethacrylate)共聚物、甲基丙帰酸/甲基丙帰酸予醋共聚物、甲基丙帰 酸/甲基丙帰酸予醋/苯己帰共聚物、甲基丙帰酸/甲基丙帰酸予醋/甲基丙帰酸 2-輕己醋共聚物、甲基丙帰酸/甲基丙帰酸予醋/苯己帰/甲基丙帰酸2-輕己醋 (2-hy化oxyethylmethacrylate)共聚物等。該些可單獨使用或W兩個或大于兩個的混合物 形式使用。
[0120] 堿性可溶樹脂可具有1，000克/摩爾到30, 0