正型感光樹脂組成物、感光樹脂膜及使用此膜的顯示裝置的制造方法
【專利說明】
[000。 交叉引用
[0002] 本發明主張2014年4月10日在韓國知識產權局提交的韓國專利申請案第 10-2014-0043252號的優先權和權益，其全部掲示內容W引用的方式并入本文中。
技術領域
[0003] 本發明涉及一種正型感光樹脂組成物、一種感光樹脂膜W及一種使用所述感光樹 脂膜的顯示裝置。
【背景技術】
[0004] 半導體裝置的常規表面保護層和層間絕緣層包含聚醜亞胺樹脂或聚苯并惡哇樹 脂作為堿性可溶樹脂（a化alisolubleresin),所述堿性可溶樹脂具有極佳耐熱性、電特 性、機械特性等。所述樹脂最近已用于感光聚醜亞胺前體或聚苯并惡哇前體組成物的形式， 且因此易于涂布。組成物涂布在半導體或顯示器的襯底上，通過紫外線扣V)圖案化，顯影 且熱亞胺化（imidize)W形成表面保護層、層間絕緣膜等。
[0005] 堿性可溶樹脂組成物可作為正型涂覆，其中對曝光部分進行顯影和溶解，和作為 負型涂覆，其中對曝光部分進行固化和維持。正型堿性可溶樹脂組成物可使用無毒堿性水 溶液作為顯影溶液，但就加工特性或在熱固化后降低收縮比來說，可能具有在顯影后在熱 固化期間無法獲得所需錐度角（taperedangle)的問題。
[0006] 為解決該個問題，可向其中添加交聯劑，但交聯劑改變光學特性，且因此難W確保 穩定性。
[0007] 因此，已持續努力開發無需使用交聯劑等而具有所需錐度角和高收縮比的堿性可 溶樹脂組成物。
【發明內容】
[0008] 本發明一個實施例提供一種可具有高收縮比和極佳耐久性的正型感光樹脂組成 物。
[0009] 另一實施例提供一種使用正型感光樹脂組成物制造的感光樹脂膜。
[0010] 又一實施例提供一種包含感光樹脂膜的顯示裝置。
[0011] 本發明一個實施例提供一種正型感光樹脂組成物，包含（A)包含由W下化學式1 表示的重復單元的堿性可溶樹脂；炬）感光二氮釀化合物；W及（C)溶劑。
[001引[化學式^
[0013]
[0014] 在W上化學式1中，
[0015]。由W下化學式2表示。
[001引[化學式引
[0017]
[0018] 在W上化學式2中，
[0019] Ri到R3獨立地為氨、團素、經取代或未經取代的C1到C20烷基或經取代或未經取 代的C6至IJC20芳基。
[0020] Ri和R2彼此稠合W形成環，且 [00川n為1到10范圍內的整數。
[0022] 在W上化學式1中，
[0023] L2為經取代或未經取代的C6到C30芳香族有機基團。
[0024] W上化學式2可由W下化學式3到化學式6中的一個表示。
[002引[化學式引
[0026]
[0033] W堿性可溶樹脂的總量計，由W上化學式1表示的重復單元的含量為5重量％到 60重量％。
[0034]堿性可溶樹脂可還包含由W下化學式7表示的重復單元、由W下化學式8表示的 重復單元或其組合。
[00對[化學式7]
[0036]
[0039] 在W上化學式7和化學式8中，
[0040] L3為經取代或未經取代的C6到C30芳香族有機基團、經取代或未經取代的二價C1 到C30脂肪族有機基團或經取代或未經取代的二價C3到C30脂環族有機基團，
[0041]L4為經取代或未經取代的C6到C30芳香族有機基團，
[0042]L5為經取代或未經取代的C6到C30芳香族有機基團、經取代或未經取代的二價C1 到C30脂肪族有機基團或經取代或未經取代的二價C3到C30脂環族有機基團或有機娃焼 基團，
[0043]L6為經取代或未經取代的C6到C30芳香族有機基團、經取代或未經取代的四價C1 到C30脂肪族有機基團或經取代或未經取代的四價C3到C30脂環族有機基團，且
[0044] R4和R5獨立地為氨、團素、經取代或未經取代的C1到C20烷基或經取代或未經取 代的C6至IJC20芳基。
[0045] 堿性可溶樹脂可還包含丙帰酸類樹脂、酷酵清漆樹脂、雙酷A樹脂、雙酷F樹脂或 其組合。
[0046] 堿性可溶樹脂可具有1，000克/摩爾到30, 000克/摩爾的重量平均分子量。
[0047] 正型感光樹脂組成物可還包含由娃焼類偶合劑、表面活性劑、勻化劑、潛伏熱酸產 生劑W及其組合中選出的添加劑。
[0048]W100重量份的堿性可溶樹脂（A)計，正型感光樹脂組成物可包含5重量份到100 重量份的感光二氮釀化合物炬）和200重量份到900重量份的溶劑（C)。
[0049] 本發明另一實施例提供一種使用正型感光樹脂組成物制造的感光樹脂膜。
[0050] 本發明又一實施例提供一種包含感光樹脂膜的顯示裝置。
[0051] 本發明的其它實施例包含在W下【具體實施方式】中。
[0052] 具有高收縮比、極佳耐久性等的感光樹脂組成物可通過使用包含特定鍵聯基團作 為重復單元的堿性可溶樹脂提供，且由所述感光樹脂組成物形成的感光樹脂膜可有效涂覆 到顯示裝置上。
【具體實施方式】
[0053] 在W下本發明【具體實施方式】中，下文現將更充分地描述本發明，其中描述本發明 的一些但并非所有實施例。實際上，本發明可W許多不同形式實施且不應理解為限于本文 所陳述的實施例；確切地說，提供該些實施例W使得本發明將滿足可應用的法定要求。
[0054] 如本文所用，當不另外提供具體定義時，術語"經取代"是指經至少一個由下列中 選出的取代基取代的基團：團素（F、C1、化或U、羥基、硝基、氯基、氨基（畑2、NH(R2w)或 not)佑°2)，其中R2w、RwiW及R2"2獨立地為C1到CIO烷基）、甲脈基、脫基、蹤基、駿基、經 取代或未經取代的C1到C30烷基、經取代或未經取代的C2到C30帰基、經取代或未經取代 的C2到C30快基、經取代或未經取代的C1到C30烷氧基、經取代或未經取代的C6到C30 芳基、經取代或未經取代的C3到C30環烷基、經取代或未經取代的C2到C30雜芳基W及經 取代或未經取代的C2到C30雜環烷基，取代本發明的官能團。
[0055] 如本文所用，當不另外提供具體定義時，術語"烷基"是指C1到C30烷基且確切地 說C1到C20烷基，術語"環烷基"是指C3到C30環烷基且確切地說C3到C20環烷基，術語 "烷氧基"是指C1到C30烷氧基且特定目之C1到C1 8烷氧基，術語"芳基"是指C6到C30 芳基且確切地說C6到C20芳基，術語"帰基"是指C2到C30帰基且確切地說C2到C18帰 基，術語"亞烷基"是指C1到C30亞烷基，且確切地說C1到C18亞烷基，且術語"亞芳基"是 指C6到C30亞芳基且確切地說C6到C16亞芳基。
[0056] 如本文所用，當不另外提供具體定義時，術語"脂肪族有機基團"是指C1到C30焼 基、C2到C30帰基、C2到C30快基、C1到C30亞烷基、C2到C30亞帰基或C2到C30亞快基， 確切地說C1到C15烷基、C2到C15帰基、C2到C15快基、C1到C15亞烷基、C2到C15亞帰 基或C2到C15亞快基，術語"脂環族有機基團"是指C3到C30環烷基、C3到C30環帰基、C3 到C30環快基、C3到C30亞環烷基、C3到C30亞環帰基或C3到C30亞環快基，且確切地說 C3到C15環烷基、C3到C15環帰基、C3到C15環快基、C3到C15亞環烷基、C3到C15亞環 帰基或C3到C15亞環快基，術語"芳香族有機基團"是指C6到C30芳基或C6到C30亞芳 基，且確切地說C6到C16芳基或C6到C16亞芳基，且術語"雜環基"是指C2到C30雜環焼 基、C2到C30亞雜環烷基、C2到C30雜環帰基、C2到C30亞雜環帰基、C2到C30雜環快基、 C2到C30亞雜環快基、C2到C30雜芳基或C2到C30亞雜芳基，其在一個環中包含1個到3 個由0、S、N、P、SiW及其組合中選出的雜原子，且確切地說C2到C15雜環烷基、C2到C15 亞雜環烷基、C2到C15雜環帰基、C2到C15亞雜環帰基、C2到C15雜環快基、C2到C15亞 雜環快基、C2到C15雜芳基或C2到C15亞雜芳基，其在環中包含1個到3個由0、S、N、P、 SiW及其組合中選出的雜原子。
[0057] 如本文所用，當不另外提供具體定義時，術語"氣烷基"、"氣亞烷基"、"氣亞環烷基 (fiuorocycloaA^enegroup)"、"氣亞芳基"、"氣烷氧基"W及"氣醇基"是指在烷基、亞焼 基、亞環烷基、亞芳基、烷氧基W及醇基中包含氣原子的取代基。
[0058] 如本文所用，除非另外提供具體定義，否則當化學鍵在應明示位置處而未繪出時， 氨鍵結在所述位置處。
[0059] 如本文所使用，當不另外提供定義時，術語"組合"是指混合或共聚。
[0060] 此外，"* "是指相同或不同原子或化學式之間的鍵聯部分。
[0061] 一個實施例提供一種正型感光樹脂組成物，其包含（A)包含由W下化學式1表示 的重復單元的堿性可溶樹脂；炬）感光二氮釀（diazoquinone)化合物；W及（C)溶劑。
[0062][化學式1]
[0063]
[0064] 在W上化學式1中，
[0065]。由W下化學式2表示。
[006引[化學式引
[0067]
[006引在W上化學式2中，
[0069] Ri到R3獨立地為氨、團素、經取代或未經取代的C1到C20烷基或經取代或未經取 代的C6至IJC20芳基，
[0070] Ri和R2彼此稠合W形成環，且 [ocm]n為1到10范圍內的整數。
[0072] 在W上化學式1中，
[0073]L2為經取代或未經取代的C6到C30芳香族有機基團。
[0074] 由W上化學式2表示的鍵聯基團可在顯影后在固化堿性可溶樹脂組成物（例如正 型感光樹脂組成物）期間促進聚合物樹脂中的交聯反應且將錐度角調整到35°到45