一種負性含氟聚碳酸酯光刻膠組合物及用于制備光學開關的制作方法

技術特征：

1.一種負性含氟聚碳酸酯光刻膠組合物，其特征在于：由含肉桂酰基的氟化聚碳酸酯和有機溶劑組成，按重量和100％計算，含肉桂酰基的氟化聚碳酸酯的含量為10～30wt％，其余為有機溶劑；

其中，含肉桂酰基的氟化聚碳酸酯的結構式如(1)所示，

m為1≤m≤27的整數，n為0≤n≤26的整數。

2.如權利要求1所述的一種負性含氟聚碳酸酯光刻膠組合物，其特征在于：有機溶劑是二氯甲烷、氯仿、四氫呋喃、苯、甲苯、丙二醇單烷基醚、丙二醇烷基醚乙酸酯、環戊酮、乙酸丁酯、甲基異丁基酮、正丁酮、2-戊酮、4-甲基-2-戊酮、環己酮、2-庚酮、γ-丁內酯、丁內酯、N,N-二甲基甲酰胺中的一種或幾種的混合。

3.如權利要求1所述的一種負性含氟聚碳酸酯光刻膠組合物，其特征在于：m為8≤m≤13的整數，n為0≤n≤3的整數。

4.如權利要求1所述的一種負性含氟聚碳酸酯光刻膠組合物，其特征在于：其數均分子量Mn為2000～10000，分散度Mw/Mn在1.0～2.0范圍內。

5.如權利要求4所述的一種負性含氟聚碳酸酯光刻膠組合物，其特征在于：數均分子量Mn為選3000～5000。

6.權利要求1～5任何一項所述的負性含氟聚碳酸酯光刻膠組合物用于制備MZI型熱-光開關。

7.權利要求1～5任何一項所述的負性含氟聚碳酸酯光刻膠組合物通過向其中加入生色團分子DMA-TCF用于制備MZI型電-光開關。