開口部31d以及第二臂部26的開口部34d被蓋部件32自上側封閉。蓋部件32以形成有散熱片32a的面朝向下側的方式固定。即，在蓋部件32的下表面形成有散熱片32a，在臂7的內部的上表面形成有散熱用的散熱片32a。
[0085 ](冷卻機構的結構、溫度傳感器的結構以及罩蓋部件的結構)
[0086]如上所述，機器人I搬運高溫的基板2。因此，臂6、7的溫度因來自基板2的輻射熱、或來自設置機器人I的真空室的壁面的輻射熱等而上升。本實施方式中的機器人I具有用于將溫度上升的臂6、7的內部冷卻的冷卻機構。并且，機器人I具有:溫度傳感器80，其用于測定第一臂部20、25以及第二臂部21、26的內部溫度；以及罩蓋部件81?85，其用于抑制輻射熱向臂6、7以及臂支承部8傳遞。
[0087]本實施方式中的機器人I具有如下部件作為用于將臂6、7的內部冷卻的冷卻機構:空氣配管87，其用于將馬達35冷卻并向第一臂部20的內部供給冷卻用空氣;空氣配管88，其用于向第二臂部21的內部供給冷卻用空氣；空氣配管89，其用于將馬達65冷卻且向第一臂部25的內部供給冷卻用空氣;空氣配管90，其用于向第二臂部26的內部供給冷卻用空氣；以及多個風扇(送風機)91，其配置在臂6、7的內部。
[0088]空氣配管87?90例如是由鋁合金或銅合金等金屬形成的金屬管。空氣配管87?90的基端連接于配置在主體部9的殼體13的內部的電磁閥(省略圖示)。在本實施方式中，連接空氣配管87?90各自的基端的四個電磁閥配置在殼體13的內部，能夠對空氣配管87?90中的每一空氣配管進行冷卻用空氣的供給量的調整。四個電磁閥經由規定的配管連接于配置在殼體13的內部或外部的壓縮空氣的供給裝置(省略圖示)。
[0089]空氣配管87、88以通過旋轉軸14的內周側以及開口部15f的方式，自殼體13的內部向臂6引繞。空氣配管87的末端側被卷繞至馬達35的外周面。成為冷卻用空氣的供給口的空氣配管87的末端配置在第一臂部20的基端側的內部，自空氣配管87向第一臂部20的基端側的內部供給冷卻用空氣。空氣配管88以通過開口部15e、31g以及形成于減速機37的軸中心的貫通孔的方式，在第一臂部20以及第二臂部21的內部引繞。成為冷卻用空氣的供給口的空氣配管88的末端配置在第二臂部21的末端側的內部，自空氣配管88向第二臂部21的末端側的內部供給冷卻用空氣。
[0090]空氣配管89、90以通過旋轉軸14的內周側以及開口部15f的方式，自殼體13的內部向臂7引繞。空氣配管89的末端側被卷繞至馬達65的外周面。成為冷卻用空氣的供給口的空氣配管89的末端配置在第一臂部25的基端側的內部，自空氣配管89向第一臂部25的基端側的內部供給冷卻用空氣。空氣配管90以通過開口部15e、31g、旋轉軸69的內周側以及形成于減速機67的軸中心的貫通孔的方式，在第一臂部25以及第二臂部26的內部引繞。成為冷卻用空氣的供給口的空氣配管90的末端配置在第二臂部26的末端側的內部，自空氣配管90向第二臂部26的末端側的內部供給冷卻用空氣。
[0091]溫度傳感器80配置在第一臂部20、25以及第二臂部21、26各自的內部。在第一臂部20的內部，溫度傳感器80配置在馬達35的附近以及關節部22的附近。在第二臂部21的內部，溫度傳感器80配置在關節部23的附近。在第一臂部25的內部，溫度傳感器80配置在馬達65的附近以及關節部27的附近。在第二臂部26的內部，溫度傳感器80配置在關節部28的附近。
[0092]如上所述，在本實施方式中，能夠對空氣配管87?90中的每一空氣配管進行冷卻用空氣的供給量的調整，從而能夠將第一臂部20、25以及第二臂部21、26各自的內部個別地冷卻。并且，在本實施方式中，根據溫度傳感器80所得的檢測結果，將第一臂部20、25以及第二臂部21、26各自的內部個別地冷卻。即，在本實施方式中，根據溫度傳感器80所得的檢測結果，通過調整分別自空氣配管87?90供給的冷卻用空氣的供給量，將第一臂部20、25以及第二臂部21、26各自的內部個別地冷卻。
[0093]風扇91配置在第一臂部20、25以及第二臂部21、26各自的內部。并且，風扇91以朝向上側輸送冷卻用空氣的方式配置。本實施方式中的風扇91配置在蓋部件32的下側，朝向形成于蓋部件32的多個散熱片32a輸送冷卻用空氣。并且，風扇91例如根據溫度傳感器80所得的檢測結果旋轉或停止。
[0094]罩蓋部件81?85由導熱率比支承部主體15、臂部主體31、34以及蓋部件16、32、33低的材料形成。并且，罩蓋部件81?85由輻射熱的反射率較高的材料形成。例如，罩蓋部件81?85由較薄的不銹鋼板形成。罩蓋部件81覆蓋第一臂部20的除與臂支承部8重疊的部分以外的部分的大致整個上表面、下表面以及側面。罩蓋部件82覆蓋第二臂部21的大致整個上表面、下表面以及側面。罩蓋部件83覆蓋第一臂部25的除與臂支承部8重疊的部分以外的部分的大致整個上表面、下表面以及側面。罩蓋部件84覆蓋第二臂部26的大致整個上表面、下表面以及側面。罩蓋部件85覆蓋第一臂部20、25的與臂支承部8重疊的部分、以及臂支承部8的大致整個上表面、下表面以及側面。
[0095](本實施方式的主要效果)
[0096]如以上所做的說明，在本實施方式中，減速機37的殼體60隔著磁性流體密封件39的殼體40固定于第二臂部21的基端側，構成減速機37的輸入軸58、輸出軸59以及軸承等部件與構成磁性流體密封件39的內周側部件41以及軸承密封部42等部件保持于第二臂部21。并且，在本實施方式中，減速機38的殼體63隔著磁性流體密封件43的殼體44固定有第二臂部21的末端側，構成減速機38的輸入軸61、輸出軸62以及軸承等部件與構成磁性流體密封件43的內周側部件45以及軸承密封部46等部件保持于第二臂部21。因此，在本實施方式中，若將固定內周側部件41與第一臂部20的螺釘、以及固定內周側部件45與手4的基部11的螺釘卸下，且將傳動帶50卸下，則能夠將減速機37、38以及磁性流體密封件39、43與第二臂部21一體地卸下。
[0097]同樣在本實施方式中，減速機67的殼體60隔著磁性流體密封件39的殼體40固定于第二臂部26的基端側，構成減速機67的輸入軸58、輸出軸59以及軸承等部件與構成磁性流體密封件39的內周側部件41以及軸承密封部42等部件保持于第二臂部26。并且，旋轉軸69固定于減速機67的輸入軸58的下端，且保持軸承保持部件74以及軸承75的間隔部件73固定于內周側部件41，旋轉軸69、間隔部件73、軸承保持部件74以及軸承75保持于第二臂部26。并且，在本實施方式中，減速機68的殼體63隔著磁性流體密封件43的殼體44固定有第二臂部26的末端側，構成減速機68的輸入軸61、輸出軸62以及軸承等部件與構成磁性流體密封件43的內周側部件45以及軸承密封部46等部件保持于第二臂部26。因此，在本實施方式中，若將固定間隔部件73與第一臂部25的螺釘、以及固定內周側部件45與手5的基部11的螺釘卸下，且將傳動帶71卸下，則能夠將減速機67、68、磁性流體密封件39、43、旋轉軸69、間隔部件73、軸承保持部件74以及軸承75與第二臂部26—體地卸下。
[0098]因此，在本實施方式中，在進行機器人I的檢修時，能夠將減速機37、38以及磁性流體密封件39、43與第二臂部21—體地更換，且能夠將減速機67、68、磁性流體密封件39、43、旋轉軸69、間隔部件73、軸承保持部件74以及軸承75與第二臂部26—體地更換。即，在本實施方式中，在進行機器人I的檢修時，通過更換配置在比第一臂部20、25靠臂6、7的末端側的位置的第二臂部21、26，即使不更換固定于臂支承部8的第一臂部20、25，也能夠更換減速機37、38、67、68、磁性流體密封件39、43、間隔部件73、軸承保持部件74以及軸承75。其結果是，在本實施方式中，能夠低成本且容易地進行機器人I的檢修。
[0099]在本實施方式中，在臂6、7的內部配置有朝向上側輸送空氣的風扇91。因此，在本實施方式中，在搬運高溫的基板2時，能夠將臂6、7的上表面側部分冷卻而抑制臂6、7的上表面側部分的溫度上升，從而能夠使臂6、7的上表面側部分的溫度接近于臂6、7的下表面側部分的溫度。因此，在本實施方式中，能夠使臂6、7的上表面側部分的熱變形量接近于下表面側部分的熱變形量，而能夠抑制末端側下降的臂6、7的熱變形。其結果是，在本實施方式中，即使在搬運高溫的基板2的情況下，也能夠通過手4、5恰當地搬運基板2。
[0100]并且，在本實施方式中，在臂6、7的內部的上表面形成有散熱用的散熱片32a，風扇91朝向散熱片32a輸送冷卻用空氣。因此，在本實施方式中，能夠有效地將臂6、7的上表面側部分冷卻，從而能夠有效地抑制臂6、7的上表面側部分的溫度上升。
[0101](其他實施方式)
[0102]上述的實施方式是本發明的優選的實施方式的一例，但并不限于此，能夠在不變更本發明的主旨的范圍內實施各種變化。
[0103]在上述的實施方式中，分體地形成的第一臂部20、25的基端側固定于臂支承部8。除此以外，例如第一臂部20、第一臂部25以及臂支承部8也能夠一體地形成。并且，也可以如圖14所示，將第一臂部20的基端側以及第一臂部25的基端側分別能夠旋轉地連接于主體部9。在該情況下，在第一臂部20的內部配置馬達35，在第一臂部25的內部配置馬達65。并且，在上述的實施方式中，機器人I具有兩條臂6、7，但機器人I也可以如圖15所示，僅具有一條臂6。在該情況下，將第一臂部20的基端側能夠旋轉地連接于主體部9。另外，在圖14、圖15中，對與上述的實施方式的結構共通的結構標注相同的符號。
[0104]在上述的實施方式中，臂6、7由第一臂部20、25與第二臂部21、26這兩個臂部構成，但臂6、7也可以由三個以上的臂部構成。例如，臂6、7也可以由第一臂部20、25、第二臂部21、26以及第三臂部這三個臂部構成。在該情況下，將第三臂部的基端側能夠旋轉地連接于第二臂部21、26的末端側，將手4、5能夠旋轉地連接于第三臂部的末端側。并且，在該情況下，將第二臂部21、26與第三臂部連接為能夠旋轉的關節部與關節部23、28同樣地具有減速機38,68,減速機38、68的殼體63隔著磁性流體密封件43的殼體44固定于第二臂部21、26。
[0105]在該情況下，能夠將減速機37、38以及磁性流體密封件39、43與第二臂部21—體地更換，且能夠將減速機67、68、磁性流體密封件39、43、旋轉軸69、間隔部件73、軸承保持部件74以及軸承75與第二臂部26—體地更換，因此能夠獲得與上述的實施方式相同的效